[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 I]R9HGJNlJ  
W`M
6J}oG  
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 G\=_e8(  
| -+zofx  

图片:1-1ZR3110153312.png

!^WHZv4  
4h8*mMghs  
建模任务 wL3,g2-L  
<a|@t@R  

图片:1-1ZR31102241U.png

3^wC<ZXcD  
ER^QV(IvP8  
1阶的参数优化 o
pp!0:jS*  
q3h'l,  

图片:1-1ZR3110300146.png

F!yV8XQ  
"=A>}q@;H  
结果-容差分析 "9XfQ"P  
5=L} \ankn  

图片:1-1ZR311033c64.png

~L{l+jK$p  
] fwZAU  
结果-容差分析 !SxG(*u  
0L#/lDNk  

图片:1-1ZR3110400923.png

8-Me.2K  
LFf`K)q  
在VirtualLab Fusion中查看 M%`\P\A  
)D/ 6%]O  

图片:1-1ZR31104205S.png

:]WqfR)#  

&<]<a_pw  
VirtualLab Fusion的工作流程 F)Oe9x\/  
:O-1rD  
•构造光栅结构 F9flSeN  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] %J~WC$=Qv  
- 倾斜光栅的高级配置[用例] 27A!\pn  
•分析光栅衍射效率 %d;ezY'2  
- 光栅级次分析器[用例] <1"+,}'x  
•使用参数优化优化光栅参数 gfgn68k  
•使用参数运行进行容差分析 {whvTN1#dh  
- 参数运行文档的用法[用例] Or0O/\D)  
:iUF7P1I  

图片:1-1ZR3110443116.png

09h.1/  
W?Ww2Lo%Y  
VirtualLab Fusion技术 =,V|OfW  
!{%&=tIZ  

图片:1-1ZR3110554J9.png