摘要
U6.aoqb% M$K% e 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
h@%Xy(/m' J M`w6} 
aXe&c^AR [ws
_ g,/ 建模任务
Vl_6nY; &da=hc,>% 
5 ^{~xOM5 (' &lAn 1阶的
参数优化 ,.)wCZ,wca m\>gOTpA4 
dseI~} S!?T0c?> 结果-容差分析
Wb}-H -O 2C
S9 v 
LHY7_"u# p $Tk;;wm 结果-容差分析
yY$^
R|t k z=ho~ @ 
s$fM,l: !
j^jC| 在
VirtualLab Fusion中查看
O,%UNjx9K 5EtR >Pc 
w{tA{ { ?b_E \8'q] VirtualLab Fusion的工作流程
fN2Sio: 1H-Wk •构造光栅结构
<#0i*PM_ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
Dl>tF?= - 倾斜光栅的高级配置[用例]
S* l/
Sa@ •分析光栅衍射效率
nlv,j& - 光栅级次分析器[用例]
2IYzc3Z{9 •使用参数优化优化光栅参数
2|k$Vfz •使用参数运行进行
容差分析 =z}PR1X! - 参数运行文档的用法[用例]
MZ3 8=nJ a
4?A 5 
W* LC3B^ [#KY.n VirtualLab Fusion技术
&[yC M! 5 3pW:` 
