摘要
25NTtj:X Nk#[~$Q-1 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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C2X$ bX" [>IV#6 $ 结果-容差分析
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_~QiQDq bjO?k54I 在
VirtualLab Fusion中查看
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(9]8r2|. c:d.mkF\ VirtualLab Fusion的工作流程
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iV •构造光栅结构
M ^89]woC - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
GJ9'i-\*\ - 倾斜光栅的高级配置[用例]
aVE/qXB •分析光栅衍射效率
6T9?C|q - 光栅级次分析器[用例]
xlP0?Y1Bl •使用参数优化优化光栅参数
}!`_Bz: •使用参数运行进行
容差分析 I(5sKU3< - 参数运行文档的用法[用例]
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kMz*10$gn =$wQA VirtualLab Fusion技术
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