摘要
7Fy^K;V" ^~BJu#uVyy 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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&-cI| \Z+v\5nmO 建模任务
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@~63%6r#4M zLxWyPM0; 1阶的
参数优化 W_sDF; JP +IS$Un
;quGy3 `gss(o1} 结果-容差分析
v(: VUo]H k*M{?4
k*!J,/=k B;K{Vo:C 结果-容差分析
'HqAm$V+ 1H[lf
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/`s^.Xh Oi7=z?+j 在
VirtualLab Fusion中查看
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hu VirtualLab Fusion的工作流程
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W1E •构造光栅结构
a:;*"p[R - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
M1ayAXO - 倾斜光栅的高级配置[用例]
{M%"z,GL7J •分析光栅衍射效率
VX>_Sps - 光栅级次分析器[用例]
)(ma •使用参数优化优化光栅参数
3Q;^X(Ml* •使用参数运行进行
容差分析 ]&r/H17 - 参数运行文档的用法[用例]
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jr9ZRHCU +s S*EvF VirtualLab Fusion技术
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