摘要
0F sz _n_lO8mK 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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建模任务
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参数优化 X>2_G ol! D61CO -E(D 
< i* v ex7zg! 结果-容差分析
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eIK8J,- I\P hgFt@O 在
VirtualLab Fusion中查看
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(;P)oB"`C vL@N21 u VirtualLab Fusion的工作流程
KZzOs9 s :j9{n ,F •构造光栅结构
q17c)]<" - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
)Y R Vy - 倾斜光栅的高级配置[用例]
]
o tjoM •分析光栅衍射效率
z$oA6qB) - 光栅级次分析器[用例]
I Bb3A •使用参数优化优化光栅参数
LU~U> •使用参数运行进行
容差分析 [ jve
|-v= - 参数运行文档的用法[用例]
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:pcK ww|V G`PSb<h\oc VirtualLab Fusion技术
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