摘要
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8N1tZ{` ;dRTr * 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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1{_tV^3 @ ;Y?7|G97*S 建模任务
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!vr">@}K RSG4A>%!mI 1阶的
参数优化 w?Nvm?_] pTOS} A[dh 
2[[ pd&MJZ @'?<9 2A 结果-容差分析
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L= Dd` E$ q/4 结果-容差分析
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Z=z'j8z3 Za jQ B 在
VirtualLab Fusion中查看
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*6: 
)$P!7$C- 58mzh82 + VirtualLab Fusion的工作流程
3VCyq7 B^ }pu2/44=W •构造光栅结构
)U>q>< - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
J *.Nf)i - 倾斜光栅的高级配置[用例]
1MRt_*N4 •分析光栅衍射效率
16ke CG\ - 光栅级次分析器[用例]
P{)&#HXUVb •使用参数优化优化光栅参数
/cJ$`
pN •使用参数运行进行
容差分析 _Jj|g9b - 参数运行文档的用法[用例]
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U/&?r Y^| ykRKZYfsw( VirtualLab Fusion技术
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