[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 Hc>yZ:c;  
c;"e&tW  
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 L"
dN $ A  
T{^mh(3/"  

图片:1-1ZR3110153312.png

9Xa.%vw>  
j5:4/vD  
建模任务 xYv;l\20.  
2 yANf  

图片:1-1ZR31102241U.png

{ ?jXPf  
#W8?E_iu  
1阶的参数优化 V3cKdlu Na  
o^(I+<el  

图片:1-1ZR3110300146.png

l
(_|CkcZ  
`kvIw,c.  
结果-容差分析 2p;I<C:Eo  
A_E2v{*n  

图片:1-1ZR311033c64.png

g
|3bM  
 *BM#fe  
结果-容差分析 S},Cz  
^J hs/HV  

图片:1-1ZR3110400923.png

O#[bNLV  
rA?<\*  
在VirtualLab Fusion中查看 x;bA\b  
pT~3< ,  

图片:1-1ZR31104205S.png

`'XN2-M8  
{`M\}(E  
VirtualLab Fusion的工作流程 d*6/1vyjT  

w[3a^  
•构造光栅结构 D~i5E9s5  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] l8+)Xk>  
- 倾斜光栅的高级配置[用例] ',]Aj!q  
•分析光栅衍射效率 VKYljY0#  
- 光栅级次分析器[用例] 0$-|Th:o  
•使用参数优化优化光栅参数 8:S+*J[gSn  
•使用参数运行进行容差分析 < -W8  
- 参数运行文档的用法[用例] z<fd!g+^  
I;wxgWOP  

图片:1-1ZR3110443116.png

(vD==n9Hd  
9__Q-J  
VirtualLab Fusion技术 IOC$jab@  
PbS1`8|4  

图片:1-1ZR3110554J9.png