摘要
#_Tceq5 FC)aR[ 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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[81k4kU 1Z*-@%RX 建模任务
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参数优化 U?@UIhtM| l tQ:c
Q=>@:1= O5e9vQH 结果-容差分析
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O </< scrNnO[3j 结果-容差分析
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VirtualLab Fusion中查看
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L5PN]<~T DJ=miJI' VirtualLab Fusion的工作流程
pn'*w1i y37n~~% •构造光栅结构
nCYicB - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
%tmK6cY4Y - 倾斜光栅的高级配置[用例]
PcJ,Y\"[ •分析光栅衍射效率
C8aYg - 光栅级次分析器[用例]
8m-ryr) •使用参数优化优化光栅参数
m"jqHGFV •使用参数运行进行
容差分析 ESb - 参数运行文档的用法[用例]
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a^~l[HSF gK`6NUj VirtualLab Fusion技术
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