摘要 3U!=R-
Oi@|4mo
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 eZhF<<Y
Qs#;sy
W@~
i]@k'2N
wQ9@
l
建模任务 |]Hr"saO0
v:w^$]4
^LXsU]
R
\PG_i' R
1阶的参数优化 *]Cyc<
Be^"sC
E]a;Ydf~
xwHE,ykE
结果-容差分析 @~5Fcfmm
$S2
/*
A9J{>f
0G Q8}r
结果-容差分析 -QBM^L
LN5q_ZvR
nYvkeT
d@b2XCh<K
在VirtualLab Fusion中查看 B|M@o^Tf
Dk2Zl
jJ'NYG
X%B$*y5
VirtualLab Fusion的工作流程 ?=-/5A4K
x'6i9]+r
•构造光栅结构 bwszfPM
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] W?ghG
- 倾斜光栅的高级配置[用例] W(-son~I
•分析光栅衍射效率 y~M6
- 光栅级次分析器[用例] Y 9st3
•使用参数优化优化光栅参数 +;oR_]l
•使用参数运行进行容差分析 uGYH4
- 参数运行文档的用法[用例] ~xws5n}F
&arJe!K
,KPrUM}
_t4(H))]vG
VirtualLab Fusion技术 ;l < amB
z-sq9Qp&x