摘要 DV(^h$1_
ZS@Cd9*
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 IG1+_-H:
(q!tI*}
:6 ?&L
RSLMO8
建模任务 &xlz80%
S"iz
fQ@
FL+^r6DQ
%Bo/vB'
1阶的参数优化 _
FcfNF
6Hz45
_N 5$>2
g_\U-pzr
结果-容差分析 jj,Y:
gOpGwpYZ,
LY%`O#i.
w1-/U+0o
结果-容差分析 2-9'zN0u
URq{#,~CT
6@TGa%:G
*_puW
x
在VirtualLab Fusion中查看 iol.RszlZ|
^w eU\
R&13P&:g
RzG<&a3B3s
VirtualLab Fusion的工作流程 xeqAFq=9?
&<Bx1\ ~V
•构造光栅结构 8v7;{4^
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] Zs
_Jn
- 倾斜光栅的高级配置[用例] ?d)I!x,;;
•分析光栅衍射效率 ~l~ai>/
- 光栅级次分析器[用例] Z[Gs/D
•使用参数优化优化光栅参数 t =ErJ
•使用参数运行进行容差分析 4@D 8{?$~Q
- 参数运行文档的用法[用例] fHek!Jv.
A+Nf]([
+@wa?"
A ^YHtJ
VirtualLab Fusion技术 z\Vu`Yz
XOQj?Q7)U