摘要
pUbf]3 t i/UDda"E 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
2kukQj(n 4-j3&( HK}br!? ].ZfTrM] 设计任务
@ ;T|`Y=7 RHO| g0 aE aU_f/ M9[52D!{ 光栅特性与参数的严格分析
YA+jLy6ZL 8w4-Ud*$i 不同光栅周期的衍射效率
@QOlo-u LAs#g||M /%&Kbd =n@"lY u[ 考虑光栅周期的选择
R:N4_4& C~ srS2v\1: Q[PVkZ 偏振相关衍射特性
+lYo5\1= @FNaCmBX xE>jlr? Fw{:fFZC[ 偏振相关衍射特性
y~ 2C2'7 F#b^l} zv%]j0 ? mYUR(*[ 偏振相关衍射特性
1R-1#<a>& "FD`1
lL\%eQ *r)/Vx`S 基于参数优化的光栅设计
zG\& ZU ,r5'nDV=d 具有固定周期的二维参数优化
(r6'q0[ fk*I}pDx k`we_$/Gw 二维参数优化 - 设计#1
isBtJ7 \Sc 1
b&<De QG1+*J76b@ gPE`mE 二维参数优化 - 设计#2
6y+_ x' {<}9r6k;f 60\`TsFobT 2`'g
9R 制造
公差分析 - 设计#2
z@<OR$/`L |l-~,eRvi5 WWEZTFL:j 1G'D' 不同光栅周期的
三维参数优化
@D[tljc^ G'U ! # }/bxe0px ]Y3NmL 制造公差分析
P:#KBF;a mOC<a7# @?2ES@G+Ji u<['9U 走进
VirtualLab Fusion
H:#sf][&,L 39qIoaHT {Mpx33 sRI0; VirtualLab Fusion 工作流程
6!Q,XHs JT p+&NS 1j*E/L n\i~H VirtualLab Fusion技术
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