摘要
" n\!y~: OhTO*C8 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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参数优化 8_uDxd 1^,r S
<D=%55 <I>q1m?KN 结果-容差分析
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VirtualLab Fusion中查看
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yTcFb h m"B kOA VirtualLab Fusion的工作流程
^a(q7ZfY ?gkK*\x2 •构造光栅结构
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- 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
)yK!EK\ - 倾斜光栅的高级配置[用例]
#*~ ( •分析光栅衍射效率
0+L5k!1D - 光栅级次分析器[用例]
HiWZ?G •使用参数优化优化光栅参数
2q#$?qs_b •使用参数运行进行
容差分析 J@$>d - 参数运行文档的用法[用例]
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=gj]R snK/,lm. VirtualLab Fusion技术
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