摘要
: 'd76pM- L2 CW'Hd 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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_YH<YOrMh -l-AToO4 结果-容差分析
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VirtualLab Fusion中查看
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9I+ VirtualLab Fusion的工作流程
'rS'B.D )UR1E ?' •构造光栅结构
PqT" jOF]n - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
`a O.=:O_ - 倾斜光栅的高级配置[用例]
7'_nc!ME •分析光栅衍射效率
G$cxDGo - 光栅级次分析器[用例]
5Xwk*@t2a •使用参数优化优化光栅参数
r~)VGdB+ •使用参数运行进行
容差分析 X!T|0 7#c - 参数运行文档的用法[用例]
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R `;o!B}[ M} O[`Fx{W VirtualLab Fusion技术
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