摘要
9o)sSaTx= 2~`lvx 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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+0,'B5 (E z@bq*':~J 结果-容差分析
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ar&j1"" W4OL{p-\/ 在
VirtualLab Fusion中查看
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+ 6noQYe PpXzWWU": VirtualLab Fusion的工作流程
%fbV\@jDCX `!Z0;qk •构造光栅结构
<bSG|VqnH - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
jF$bCbAUce - 倾斜光栅的高级配置[用例]
DB~3(r?K •分析光栅衍射效率
^"dVz. - 光栅级次分析器[用例]
lF[m*}l •使用参数优化优化光栅参数
eeVDU$*e= •使用参数运行进行
容差分析 pwF+ZNo - 参数运行文档的用法[用例]
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s^ VirtualLab Fusion技术
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