摘要 1-PoZ[p-R
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对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 Dk='+\
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建模任务 9<vWcq*4
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1阶的参数优化 :aG#~-Q
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结果-容差分析 k"N(o(
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结果-容差分析 unJ R=~E
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在VirtualLab Fusion中查看 N-g8}03
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VirtualLab Fusion的工作流程 &vovA} F
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•构造光栅结构 O,<IGO
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] ZvGgmLN
- 倾斜光栅的高级配置[用例] j,d*?'X
•分析光栅衍射效率 CAT.4GM
- 光栅级次分析器[用例] 5/QRL\
•使用参数优化优化光栅参数 f1PN|
•使用参数运行进行容差分析 &/A8-:m
- 参数运行文档的用法[用例] zKFp5H1!%+
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VirtualLab Fusion技术 Ro=AADv@
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