摘要
wSR|uh \`k=9{R. 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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jOhAXe;~X{ 2a@X-Di 建模任务
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7w73,r/D8A FBE|pG7 1阶的
参数优化 dv.
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~&:-c v fw %p_Cm 结果-容差分析
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(j>`+F5f B7Ket8<J 结果-容差分析
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bB@=J~l4 smCACQ$( 在
VirtualLab Fusion中查看
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xxGm T.& O+!4KNN.- VirtualLab Fusion的工作流程
05F/&+V !>(uhuTBF •构造光栅结构
hw"2'{"II - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
]MCH]/ - 倾斜光栅的高级配置[用例]
gLMb,buqC •分析光栅衍射效率
Lginps[la - 光栅级次分析器[用例]
14&| (M •使用参数优化优化光栅参数
J@_M%eN •使用参数运行进行
容差分析
:%sG'_d - 参数运行文档的用法[用例]
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+At[[ 2Ys=/mh VirtualLab Fusion技术
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