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白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 mv/'H^"[_ H~i+:X=I yc8iT` RgHPYf{ 2. 建模任务 8Focs p2
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W#P)v{K Uq<c+4)5 3. 干涉条纹的变化 o|>2X[T W2O
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:@y!5[88! M n`gd# 4. 走进VirtualLab Fusion |_&vW\ *NS:X7p!V
{CG%$rh w=vK{h#8 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 1&uk |