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白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 m];]7uB5= .RE:;<|w \<.+rqa! vV6<^W:9F 2. 建模任务 R}'bP 3("_Z% k\wW##=v `
w=>I 3. 干涉条纹的变化 nx@=>E+a "K ~ vmi+_] 2I%MAb&1@ 4. 走进VirtualLab Fusion D~biKrg?= W_||6LbZy qUh2hz: KmMzH`t}` 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 @"hb) 8ng fg
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