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白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 ;YB8X&H$ dg-pwWqN >?5`FC X6PfOep 2. 建模任务 8.@yD^' ~"(1~7_
wvfCj6}S& u931^~Ci 3. 干涉条纹的变化 :=* -x {^~{X$YI
1oC/W?l^ <1ai0] 4. 走进VirtualLab Fusion 0 X@5W$x q.*qZ\;K
:x_l"y" E;N+B34 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 4;_.|!LN d;f,vN(
]O 2_&cs *H;&hq 6. VirtualLab Fusion 技术 E-r/$&D5mP B]jh$@
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