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白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 Lj-{t% } GfQ^@Tl \Em-.%c V'$oTZ` 2. 建模任务 ees^O{ 8 OUKj@~T
t)`+d=P \Qb>: 3. 干涉条纹的变化 t-a`.y GHqBnE{B
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nEuct4BcL} A1Ibx|K 6. VirtualLab Fusion 技术 gx&\Kw6HM .2{ 6h
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