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白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 EFT02#F_f hBY h90] $.x?in|_ ;)bF#@Q 2. 建模任务 BSq;RG( 2)j#O
eiNk]KXAYX 4.Jaw+ 3. 干涉条纹的变化 ,co9f.(w VE S4x%r=
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D+vl%(g 4. 走进VirtualLab Fusion vY+_tpuEH "8j;k5<
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6. VirtualLab Fusion 技术 {0Ol/N;|D 1SJHX1CxX
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