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白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 {Z$Aw4a"d mhVSZhx| rry 33 Fd0R?d 2. 建模任务 3!#d& Kc0KCBd8]; +1_NB;,e wOn.m 3. 干涉条纹的变化 va| 1N/& ss.wX~I 6 fL=2a \&"gCv# 4. 走进VirtualLab Fusion 4OC^IS y&UcTE2;%( w8c71C 8|HuxE 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 e'p'{]r<w /0@'8f\I 3N[t2Y1r R>yoMk/u 6. VirtualLab Fusion 技术 T5Yu+>3 j0>Q:hn }[\l$sS
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