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白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 :1*q}R Eep~3U 1`hmD1d 7e NLs
2. 建模任务 LN z @%lkRU)
&9Y ^/W 6a*?m{ 3. 干涉条纹的变化 Pj-.oS2dA mkE_ a>
jz,K> C/$bgK[ev 4. 走进VirtualLab Fusion l4s*+H$vd? ?"F9~vx&G
(k^%j Z";&1cK 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 QdIx@[+WOq \gsJ1@
zG0]!A a(J@]X>' 6. VirtualLab Fusion 技术 ~8 B] (ZPl~ZO
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