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白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 EY':m_7W 9MVW~V 5WY..60K, SI U"cO4 2. 建模任务 JQ!D8Ut s\_
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#r 3. 干涉条纹的变化 WC0@g5;1[ Bx;bc
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oljl&tuQy buq3t+0 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 pJ 1GB TAIcp*)ZM
W%@6D|^ }>fL{};Z" 6. VirtualLab Fusion 技术 |{<g-) 8g^OXZ
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