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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    5910
    光币
    23703
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： X_GR{z%  
     iU3)4(R  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； 7Gb1[3  
     AoB~ZWq  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 gZ%wm Y  
     #U45;idp  
    结构设计 os6p1"_\f  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 m8'B7|s  
     37GJ}%Qs  
    8Q&.S)hrN  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 ?O(KmDH  
     kXimJL_<g  
         mi9BC9W(  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 8:^`rw4a0  
     Q WVH4rg  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 "^E/N},%u5  
    ?mKj+ Bk2  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 +p6cG\Gp  
     EH))%LY1y  
    k$ k /U  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 \l!^6G|c  
    59K%bz5t  
    1,@-y#V_  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 xxxM  
     HDqPqrWm  
    YI05?J}  
    M`IiK+IoU  
    导出加工数据 KWtLrZ(j  
     Ei!t#'*D<  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) O%?TxzX;  
     %gj's-!!  
    `k y>M-  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 v~^c-]4I  
     FlJ(V  
    i!8 o(!I  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 7tWt3  
           Fx#0 :p  
    0l-m:6  
    V_Z~$  
    86Q\G.h7  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 }G^Bc4@b  
    \2cbZQx  
    !wH7;tU  
    2q}M1-^  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 Cb}hE ro  
     g7*cwu  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 &t)dE7u5  
    tln*Baq  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 }`k >6B  
    &1O[N*$e  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 g1U   
    :$Lu V5  
    tBEZ4 W>67  
    导出加工数据列表 >XzCHtEP  
     =6j4_+5mnH  
    b|U48j1A  
    "0Xa?z8"  
    导入加工数据 gb 6 gIFq;  
     RFF&-M]  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI ;{b 1'  
     m~s.al(G91  
    {XYv &K  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) TTjj.fq6  
     ^bpxhf x  
    yjCY2T E  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) $<^4G  
    pQ0yZpN%;  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 vn;_|NeSf  
     )W^Wqa8mG|  
    3UeG>5R  
    "B`yk/GM]  
    G'c!82;,?  
    ahgm*Cpc  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 xR5jy|2JJ  
    2^ 'X  
    X$,#OR  
    6) 导入完成，观察3D视图 /7Z0|Zw]  
     [~$Ji&Dd  
    @+A`n21,O  
    (:3rANY|  
    S9X~<!]  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    10
    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 SPA_a\6_  
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