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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    技术专家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： 'u3+k.  
     t3GK{X  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； o 4b{>x  
     RE.@ +A  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 S!q}Pn  
     ZWa#}VS}-n  
    结构设计 WsV3>=@f  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 ;:|KfXiC8  
     2Y4&Sba^Y  
    btF%}<o)  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 1ZL_;k  
     cLU*Tx\  
         0l6iv[qu5w  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 SNU bY6  
     cP2R2 4th  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 yy } 0_  
    z`5I 1#PVA  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 ,jnRt%W  
     /a(zLHyz)  
    2SJh6U  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 nwo!A3w:  
    f`,Hr?H  
    \!QF9dP4  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 D%idlL2%J  
     N ACY;XQ%  
    5tU"|10m3  
    \Ep/'Tj&  
    导出加工数据 O|RO j  
     lDU:EJ&DHE  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) 8-5 jr_*  
     #Q@6:bBzv  
    a1`cI5n  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 DP_Pqn8p&M  
     62x< rph  
    L||yQH7n  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 |<|,RI?  
           'TrrOq4  
    R$fIb}PDr  
    Gr@{p"./z  
    >ij4z N  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 W>s'4C`  
    G`#gV"PlC  
     DiQkT R  
    e-cb?.WU?  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 pInWKj[y1  
     _*$B|%k   
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 .r|vz6tU?  
    ')<FLCFwT  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 fF>qU-  
    6J-}&U  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 $ XsQ e  
    7 3z Y^ x  
    e6i./bf3  
    导出加工数据列表 [E~,>Q  
     -mHhB(Td'  
    ,N7l/6  
    <Ihed |  
    导入加工数据 8*#][ wC2  
     : |*,Lwvd  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI P>T*:!s;  
     @!a]qAt  
    /N]Ow  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) } o"_#\6  
     Z^`=!n-V  
    V=4u7!ha  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) ?3TK7]1V:  
    fI d)  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 HA.NZkq.tV  
     gqdB!l4  
    u4#~ i0@  
    ~:}XVt0%8  
    \m~\,em  
    y5Wqu9C\Io  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 ckjVa\  
    ;Q>3N(  
    aHPSnB&  
    6) 导入完成，观察3D视图 fpK0MS]=b  
     )Kk(P/s  
    ~2A$R'xb  
    8@W/43K8-  
    dI ZTLb"a  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 jRdhLs,M9  
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