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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    6613
    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： a/wg%cWG_  
     0r_3:#Nn  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； 1U)U{i7j  
     V;pR w`  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 WswM5RN  
     2ezk<R5q+  
    结构设计 CMhl*dH  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 g5& ZXA  
     v[Mh[CyB  
    ahh&h1q7|  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 oV/:T\Qn=  
     AU$<W"%R  
         eoj(zY3  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 m|uVmg!*  
     m~I@ q [  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 + *W%4e  
    po! [Nd&"  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 QBYY1)6S,  
     `w8Ejm?n  
    R+*-i+]Q#7  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 gB<1;_KW  
    <)$e*HrI  
    Nf5zQ@o_y  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 X :#}E7]j  
     <@S'vcO  
    m@i](1*T|  
    +xL' LC x  
    导出加工数据 h wi!C}  
     BCmKzv  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) lNLa:j  
     <YM!K8hu$  
    5_\1f|,  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 Pk3b#$+E  
     wzj :PS  
    Q<Q?#v7NX  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 'WNq/z"X  
           \zJb}NbnT  
    dDbH+kqO  
    'F%h]4|1  
    3o2x&v  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 >:bXw#w]  
    =B{B ?B"r  
    -]Ny-[P  
    s7(1|}jh  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 !lL~#l:F  
     gXj3=N(l  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 `.g'bZ<v/  
    Q5&|1m Pb  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 Z817f]l  
    6T5\zInd  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 l h?[wc  
    0Of6$`  
    uovSe4q5q  
    导出加工数据列表 ro+8d  
     N(kSE^skOa  
    gg.lajX  
    BZa`:ah~x  
    导入加工数据 Mn 8| K nh  
     0Q~\1D 9g  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI GM Y[Gd  
     bt"5.nm  
    19:1n]*X<  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) ;> %wf3e  
     tmQ,>   
    -nZDFC8y$  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) (~NR."s;  
    GBTwQYF  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 ` Nv1sA#C  
     1XpqnyL&  
    H~?7 : K  
    ?r}2JHvN  
    g^{a;=  
    \.?' y71  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 \D-X _.v  
    5~OKKSUmT  
    v=daafO  
    6) 导入完成，观察3D视图 zhe~kI  
     .dn#TtQv  
    gX`C76P!  
    s w50lId  
    k_nQmU>  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 T#KVN{O  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 !,~C  
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