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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    6350
    光币
    25895
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： =)(sN"%  
     PtwE[YDu  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计；  ,`)!K}2  
     d|w% F=  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 gey`HhZp)  
     lRX*\ M\`  
    结构设计 [gQ*y~N  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 &3'II:x(  
     bY&s $Ry3"  
    mf^(Tq[  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 mS0*%[S {  
     KKl8tI\u~  
         J*A<F'^F1  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 @ 4j#X  
     iVREkZ2SC  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 %dKUB4  
    >& \QLo[5  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 `4g m'C  
     6ZR'1_i6i=  
    r8}GiP0|  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 }I9\=jT  
    l%rwJLN1  
    X+ h|sy  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 jx+%X\zokA  
     uJ{N?  
    )1Z*kY?f!  
    Y_xPr%%A  
    导出加工数据 [x'xbQLGd  
     vn KKK.E  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) /`Yp]l  
     w f,7  
    3z!\Z[  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 ZH~T'Bg  
     { P&l`  
    5NZob<<  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 k]] (I<2  
           '/Hx0]V  
    )?:V5UO\  
    XA-DJ  
    "'~'xaU!=a  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 W52AX.Nm  
    % tN{  
    R]0awV1b  
    ?A3pXa  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 o=X6PoJ N_  
     +>@<'YI<  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 "Rf8#\Y/<  
    p%jl-CC1  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 7xb z)FI  
    !=V>DgmW  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 %}MZWf{  
    SYOND>E  
    Ayadvi(@P  
    导出加工数据列表 l(-6pP5`  
     xVao3+r  
    \`-/\N  
    8&7LF  
    导入加工数据 P%]li`56-c  
     T9osueh4  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI Hc ]/0:  
     ]!E|5=q  
    #(mm6dj  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) BQ2EDy=}6  
     CLg;  
    `7zz&f9dDX  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) }eXzs_  
     {.GC7dx  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 5 P9hm[  
     E5w. wx  
    ,^3eMn  
    s? @{  
    "2o,XF  
    dq%7A=-  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 [ Lt1OdGl  
    *-(J$4RNz  
    *z!!zRh3x  
    6) 导入完成，观察3D视图 qsk8#  
     ( {ads_l  
    -x=abyD  
    Q/o !&&  
    3/RmJ `c{  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 $m]~d6  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
    3
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 10-14
    谢谢指导，非常感谢 r e.chQ6  
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