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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    7297
    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： =F^->e0N  
     z[0LU]b<  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； Q KcF1?  
     3isXgp8  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 VOowA^  
     xVh\GU855  
    结构设计 ]ut-wqb{p  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 5'{qEZs^QU  
     4z-,M7iP  
    >[E|p6jgT  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 %%-U .   
     <'o'H  
         Z;"4$@|qE  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 :?&WKW  
     7(+OsE  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 a@S4IoBg%  
    ~Uwr68 9N  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 \Z6gXO_  
     gN!E*@7  
    5m%baf2_  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 Nw3I   
    mER8> <  
    :xAe<Pq  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 5 vu_D^Q  
     \KnD"0KW   
    gn[$;*932z  
    fn?6%q,!ls  
    导出加工数据 {g:/ BFLr#  
     0c\|S>g [  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) gv Rc:5B[  
      Vgru, '  
    HhY2`P8  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 ?V\9,BTb)  
     bH WvKv+  
    ;+TF3av0zq  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 ~\@<8@N2a6  
           tmY-m,U  
    } {gWTp  
    Fl'xmz^  
     z7.C\l  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 ` HE:D2b  
    Y+"hu2aPkY  
    ^b|Nw:  
    Z.Y;[Y  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 @L>NN>?SGQ  
     }JpslY*aS  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 (fk, 80  
    GHgEbiY:  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 ) R a/  
    cJ(zidf_$  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 2t`9_zqLw  
    amk42  
    M5ySs\O4  
    导出加工数据列表 Er)_[^) HG  
     -RqAT1  
    zQ6 -2 A  
    $v bAcWj  
    导入加工数据 M-qxD"VtV=  
     +VpE-X=T  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI X^_+%U  
     Bg+]_:<U  
    L ugk`NUvF  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) j@?[vi  
     tx1m36a"  
    "JUQ)> !?  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface)  eS@!\H x  
    zs]/Y2  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 :Z]+Z_9p  
     E[Ws} n.  
    MCrO]N($b  
    }$k`[ivBx(  
    6q uWO2x  
    a_iQlsU  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 [|;Zxb:  
    @01D1A  
    []N$;~R7  
    6) 导入完成，观察3D视图 `@.s!L(V  
     *ZSp9g"Z  
    /%q9hI   
    !wb~A0m  
    ^(m6g&$(  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 I7z]%Z  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
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    光券
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    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 ~S_IU">E  
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