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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    6794
    光币
    28119
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： nit7|T@^  
     e!'u{>u  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； |H@p^.;  
     ="E V@H?U  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 1<e%)? G  
     BVeNK=7m%  
    结构设计 Jtk(yp{Zz  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 Lxrn#Z eM  
     =%G[vm/-)  
    |:BYOxAYZ8  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 IV*$U7~  
     '" yl>"  
         Uwa1)Lwn  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 .q}k  
     Rj= Om  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 W}3vY]  
    g+*[CKO{  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 F\72^,0  
     >*CK@"o  
    W<l(C!{  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 ZK*aVYnu  
    l))IO`s=_  
    !7?wd^C'f  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 N Q=YTRU  
     G"w Q(6J@  
    `^{P,N>X  
    Lcm!e  
    导出加工数据 X|G+N(`|(  
     5)6%D  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) (P8oXb+%  
     *h9vMks o  
    i(rY'o2 BN  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 xc?<:h"  
     w7u >|x!  
    `h6W@ROb  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 =Y[Ae7e  
           E~^'w.1  
    3J<,2  
    g.s oN qt=  
    Df^S77&c!  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 bux-t3g7+  
    L~~Yh{<  
    >j3N-;o@?  
    ? Y* PVx9Y  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 o5R40["  
     @Iu-F4YT  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 :_ox8xS4  
    _#B/# ^a  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 W^f#xrq>  
    SGm? "esEt  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 Nig-D>OS  
    AF6'JxG7  
    #J_i 5KmXJ  
    导出加工数据列表 Y2EN!{YU  
     = @o}  
    Q2Rj0E`  
    v'tk: Hm1  
    导入加工数据 |#6Lcz7[  
     z^.0eP8\j  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI X Rn=;gK%J  
     ev $eM  
    Q #gHD  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) -s"lW 7N^  
     8vK&d>  
    PQ>JoRs  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) "Cb<~Dy  
    HJmO+  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 hLRQ)  
     xJCpWU3wM  
    >Fz$DKr[  
    #ZA YP  
    UZ#2*PH2E  
    7_,gAE:kG  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 b3+PC$z2h  
    j7&l&)5  
    2B7&Ll\>  
    6) 导入完成，观察3D视图 L@XeAEIq  
     uc_ X;M;  
    D 3PF(Wx  
    sXu]k#I^"  
    /V&Y@j  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 ,v"A}g0"  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
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    光券
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    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 _bX)fnUu  
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