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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： l1M %   
     R^p'gQc$   
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； K'6NW:zp~  
     xmM!SY>  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 Mzg zOM  
     $yn7XonS  
    结构设计 pftnF OLO  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 S^8C\ E  
     -n:~m p  
    gR\z#Sg  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 yv;KKQ   
     +nIjW;RU  
         `MLOf  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 >fq]c  
     6*aU^#Hz6  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 w=QlQ\  
    )K}-z+$)k  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 cb3Q{.-.#  
     GXnrVI  
    ez-jVi-Fi  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 j&N {j_ M  
    ^\f1zg9I  
    tH)fu%:p  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 u*S-Pji,x  
     {aVRvZH4  
    @* <`*W  
    j[RY  
    导出加工数据 n~Yr`5+Z  
     '>^!a!<G  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) =j"bLX6;  
     U^;|as  
    B'v~0Kau  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 )Tl]1^  
     *'n L[]  
    <~Oy3#{  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 Yh["IhjR  
           h J H  
    }Pm; xHnf&  
     3+/^  
    7PW7&]-WQ  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 _u9bZ'  
    KIGMWS^^  
    d6XdN  
    m7|S'{+!  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 d6f T  
     |Kq<}R  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 ]p@q.P  
    6W/uoH=;  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 %D49A-R  
    M#.dF{ %%  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 [85b+SKW  
    z^o7&\:  
    HLX  #RQ  
    导出加工数据列表 mM2DZ^"j(  
     " V4@nv  
    ;3\'}2^|l  
    "uP~hFA7M  
    导入加工数据 5p>rQq0  
     c{3P|O&.  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI 2t;3_C  
     7po;*?Ox  
    b=kY9!GN,v  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) +O4//FC-"  
     T[- %b9h>  
    gbu*6&j9  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) juA}7   
    .umN>/o[  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 ?!u9=??  
     z .+J\  
    i8!err._  
    Gce[RB:  
    }vd72P B  
    ' L-h2  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 l% p4.CX  
    g: YUuZ  
    {8556>\~  
    6) 导入完成，观察3D视图 kbSl.V%)  
      ]l}bk]  
    &MBm1T|Y  
    7#j9"*  
    "iJAM`Hi  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 Lr Kx  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
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    光券
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    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 qc3?Aplj  
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