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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    6080
    光币
    24553
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： 1_5]3+r_U-  
     ;I]$N]8YI  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； U9x6\Iy  
     -02.n}u>  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 <4jqF 4 W  
     diD[/&k#kh  
    结构设计 .t$1B5  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 `0Xs!f  
     b2UqN]{  
    epxbTJfc  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 [Ee <SB{  
     <Eh_  
         }/}eZCaG  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 @8U8>'zDE  
     oU)3du   
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 pu Z0_1uN  
    "~6IjW*/  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 {i/7Nx  
     O*m9qF<  
    VVHL@  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 j&"GE':Y  
    =iE)vY,?"}  
    f- ~]  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 %(izKJl q  
     </23*n]  
    }Ih5`$   
    30Udba+{]p  
    导出加工数据 o~ReeZ7)Zg  
     c->?'h23)  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) - e_B  
     Zxn>]Z_  
    lfyij[6q+  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 pzcof#2  
     BD&AtOj[,  
    vfOG(EkG.?  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 s+&iH  
           (]sk3 A  
    ad`=A V]  
    YbP}d&L  
    06>+loBG  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 HC(o;,spO  
    eNFZD1mS  
    7WEoyd  
    P B"nf|pm  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 ]vq=~x  
     2GJp`2(%dA  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 hXQo>t-$  
    wo_iCjmK  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 s^ K:cz  
    Z]=9=S| .4  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 .oz(,$CS"  
    oL*ZfF3  
    `&g1`vg  
    导出加工数据列表 a'B 5m]%  
     \zV'YeG  
    );L+)UV  
    mM-7 j z  
    导入加工数据 <k 7q 9"\4  
     'T*h0xX  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI Qd"u$~ qC  
     zH1ChgF=}  
    ?CZ*MMV  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) TPWqiA?3Cp  
     "Sd2VSLg  
    }R)A%FKi@  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) `&>CK`%Xu  
    }7Y @u@R  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 x<h-F  
     }d16xp  
    7.7Z|lJ  
    l5,}yTUta  
    T``~YoIdz  
    yNN_}9  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 <PXnR\  
    02~GT_)$^  
    za [;d4<}k  
    6) 导入完成，观察3D视图 D8wZC'7  
     1iIag}?p  
    r_e]sOCb  
    p$bR M`R&s  
    If%**o  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 XyE%<]  
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