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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
    25360
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： L Z}m;  
     7* R %zJ  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； C 8KV<k  
     %:N;+1  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 t03T1.:(Mg  
     UK5u"@T  
    结构设计 9c{T|+ ]  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 oer3DD(  
     3FG'A[x3O  
    6%Pvh- ~_  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 e/b | sl  
     p]rV\,Yss  
         3?Fe( !@  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 G * =>  
     3}5Ya\x  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 *r)dtI*  
    KM9H<;A  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 I#/"6%e  
     GG %*d]  
    x}~Z[bx  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 3,0b<vfSv  
    [&sabM`Ul  
    H"c2kno9  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 M^{=&  
     Uc9hv?  
    C6A!JegU  
    yp]z@SYA@  
    导出加工数据 Q})&c.L  
     0IyT(1hS  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) r0s(MyI  
     DfX~}km  
    }b^x#HC  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 1L%$\0B4hm  
     #xw3a<z?u  
    gI00@p:m  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 q;.LK8M  
           ,V[|c$  
    S 59^$  
     \|C*b<  
    U~w8yMxX  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 O~|Y#T  
    aH\A  
    NH4T*R)Vz  
    MS\?+8|SV(  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 @M6F?;  
     j>G|Xv  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 xy4P_  
    v oO7W"  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 N%9?8X[5  
    K%UjPzPWw  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 nF]zd%h  
    EFv^uve  
    #u3E{NB  
    导出加工数据列表 Bm  4$  
     Sa@T#%oU  
    N]-skz<v  
    OHt^e7\  
    导入加工数据 LTuT"}dT[  
     m#<Jr:-  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI _k#GjAPM  
     sl:1P^b  
    @sUec  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) ^].U?t.n)  
     TW}].A_-  
    @}pcj2K#  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) hV&"  
    _{n4jdw%(  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 ,y@WFRsx  
     &?5me:aU  
    'K\H$<CJ  
    S VypR LVB  
    o#>Mf464I  
    K"ly\$F  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 ~[=d{M!$W  
    m'M5O@?  
    6 X'#F,M  
    6) 导入完成，观察3D视图 O* lE0~rJ  
     v]rbm}uU9  
    J:OP*/@='  
    *=tA},`\7  
    !s:_>P`MQ  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 XA;f.u  
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