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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    6794
    光币
    28119
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： oe 6-F)+  
     T@Izf X7  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； :?g+\:`/0j  
     xRXvTNEg  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 uyB2   
     GP hhg  
    结构设计 &;P\e  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 'r%(,=L  
     l/zv >  
    >Jx=k"Kv+  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 C`kqsK   
     ,pGA|ob  
         sRT H_]c  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 _",(!(  
     `P !idg*  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 *9kg \#  
    O)VcW/  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 *P`wuXn}  
     xi "3NF%=  
    l:UKU!  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 n~|?)EL  
    3Q=\W<Wu  
    ut560,h~  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 S!=R\_{u$  
     {fHor  
    Er j{_i?R?  
    r.zgLZ}3&V  
    导出加工数据 # M/n\em"X  
     *(q?O_3,b  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) E\s1p: %  
     5yoi;$~}_0  
    ( s4W&  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 @- |G_BZ  
     JXe~ 9/!  
    $G"\@YC<  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 o(Z~J}l({  
           mKO~`Wq%@  
    L f"!:]  
    *.>@  
    <af# C2`B  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 !fn%Q'S  
    +39uKOrZ  
    mL`8COA  
    K\U`gTGc  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 i]k)wr(  
     LS<+V+o2%  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 *m<[ sS  
    =oL:|$Pj  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 GyQFR?  
    Q2m[XcnX  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 TA*}p=?6?!  
    b=MW;]F  
    MW rhVn{R  
    导出加工数据列表 Lr*PbjQDIY  
     <H60rON  
    ^il$t]X5-  
    hjg1By(  
    导入加工数据 |f$+|9Q?  
     6z U  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI V>)/z|[  
     #`|Nm3b  
    }WC[ <AqI  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) y<- ]'Yts  
     v\?J=|S+  
    o;Z"I&  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) A)n_ST0  
    .cs x"JC  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 "]]LQb$  
     =h-E N_[  
    =T2SJ)  
    |Ol29C$@|  
    _dk[k@5W{'  
    sd%)g<t  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 d9TTAaf  
    (jU_lsG  
    Ss 5@n  
    6) 导入完成，观察3D视图 `H:`JBe=+[  
     8o|C43Q_  
    }1 qQ7}v  
    >uYQt ~s  
    cb)7$S  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 hE=xS:6  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
    5
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 Co(N8>1  
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