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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    7172
    光币
    30001
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介: l~{T#Q  
    :z124Zf  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计; Xr)g  
    )w@y(;WJ  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 x"!#_0TT}  
    Qv=Bq{N  
    结构设计 2}@*Ki7  
    1) 点击 ,打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 cnYYs d{  
    E =  ^-Z  
    rl41# 6  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布,默认为振幅视图. 点击,将默认的振幅视图转换为相位视图,点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 yOM -;h  
    qG*_w RF  
         WT1q15U(=  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 '9Qd.q7s|b  
    GMyoSe%1/  
    目标(Target)标签,可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 -MsuBf  
    81cv:|"  
    光学设置(Optical Setup)标签,在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate),并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium),同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长(Wavelength)。 H8x:D3C0  
    +Hi{ /{k0N  
    d`<#}-nh  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签,在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None),以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面,并选择像素化的高度轮廓(最临近点插值)[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 wfWS-pQ  
    ?n73J wH  
    s+Cl  
    4) 完成结构设计,在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 8L@UB6b\  
    64;oB_  
    dUUPhk0  
    kKNk2!z`M  
    导出加工数据 sCL/pb]  
    :v''"+\  
    1) 在LPD中双击生成的元件,可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component,简称DIC)的形式保存的,而高度轮廓以取样光学界面(Sampled interface)的形式保存,点击编辑(Edit) =/M$ <+  
    XC 57];-  
    Qdh"X^^  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口,在结构(Structure)标签上,选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值,并进行3D预览 W[@"H1bVH  
    rZb_1E<  
    R,fMZHAG  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中,点击鼠标右键,选择精度(Accuracy),将界面取样精度设置为5,提高取样光学界面的显示精度 0 [*nAo  
           {8ld:ZP  
    F9ZOSL 8Q  
    EgkZ$ah  
    2OA8 R}  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签,将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8,通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 LAOdH/*:  
    /QM0.{Ypl  
    HFpjNR  
    xuw//F  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 _D!M nTK  
    Sj,4=a  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 qYQUr8{  
    zDKLo 3:  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 O1l4gduN|i  
    *S,v$ VX  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置,并点击Export导出加工数据 =<Zwv\U  
    (e>RNn\  
    ?tW%"S^D  
    导出加工数据列表 rHA/  
    9Ba|J"?Y k  
    weTK#O0@v  
    a @yE:HU  
    导入加工数据 dw=Xjyk?h  
    @$K![]oD  
    1) 点击 ,新建一个LPD,在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件,以下简称SOI Oi+Qy[y2  
    WW,r9D:/  
    ;+aDjO2(  
    2) 双击SOI,进入其编辑窗口,点击加载(Load) b tr x?k(  
    bw<~R2[  
    ]JhDRJ\  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) )x9nED{  
    _Ct@1}aa4x  
    4) 点击编辑(Edit),进入取样光学界面编辑窗口,导入加工数据 64IeCAMVo  
    {H~8'K-  
    H >@JfYZ0  
    a78;\{&L'  
    n57c^/A*  
    Wb*T   
    5) 打开文件夹中的.xml文件,导入加工文件 & y 2GQJE  
    q? gQ  
    TZ`]#^kU  
    6) 导入完成,观察3D视图 : .UX[!^  
    o} bj!h]N  
    +9=p*3cnp  
    :IOn`mRYu  
    oIu,rjb  
    QQ:2987619807
     
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    离线wx349643041
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 {0m[:af&  
    离线无损的
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    光币
    5
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导,非常感谢 3YZ3fhpw