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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    5797
    光币
    23137
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： o(eh.  
     H?wf%0  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； Tl L\&n.$  
     2U& +K2  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 g>;"Fymc'  
     ~ugH2jiB  
    结构设计 ?e2G{0V  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 `2hLs _  
     46gDoSS  
    [ @9a  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 ,jdTe?[*^  
     %hi]oz  
          I|. <  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 ', P_a,\  
     [E)&dl_k  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 ?$.x%G+  
    Qt.|YB8  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 .$a|&P=S  
     9gac7(2`)  
    2)9XTY 6$  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 @nOuFX4  
    (&Mv!6]  
    mNKcaM?h  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 )0zg1z  
     cp2a @  
    g1I8_!}~  
    ta0;:o?/d  
    导出加工数据 d#|%h] 6  
     JfRqOEP4Y  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) {hVc,\A  
     X3HJ3F;==  
    m'WGK`WIm  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 %e+{wU}w?2  
     !*PX -  
    ~(]'ah,  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 8 @r>`c  
           <vd}oiB@  
    T'a&  
    Daq lL  
    m O"Rq5  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 _7<G6q2(  
    F%$l cQ04%  
    <`Qb b=*  
    uTvf[%EHW  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 m@"p#pt(_  
     wcW7k(+0  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 }ISR +./+  
    kW& zkE{  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 nPhREn!  
    (@Eb+8Zd  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 qdo_YPG  
    >nO[5  
    ]L?WC  
    导出加工数据列表 I5E+=.T*ar  
     c*",AZ>U  
    WnhH]WY  
    |nY+Nen7  
    导入加工数据 5hfx2 O)  
     {BZ0x2  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI U04)XfO;]  
     XsX];I{E,  
    [6)vD@  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) xP &@|Ag  
     3935cxT1U  
    P_(< ?0l  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) 5uU{!JuSa  
    rd^j<  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 NN~PWy1opa  
     zLg_0r*h1  
    tD])&0"(  
    ~zDFL15w  
    a> S -50  
    %:y"o_X_  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 OT#foP   
    |sBL(9  
    ]0g1P-&,U  
    6) 导入完成，观察3D视图 5"w%  
     n"<'F4r  
    #-/_J?  
    aZCxyoh+  
    a KIS%M#Y  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    10
    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导  9 'IDbe{  
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