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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    7172
    光币
    30001
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： RE72%w(oM  
     RN0@Q~oTI  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； q&h&GZ  
     wgK:^D P  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 ~v 2E<S3  
     liW0v!jBo  
    结构设计 ohHKZZ  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 Fu*~{n  
     Q1fJ`A=  
    9Ytf7NpR  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 Q0)6 2[cMm  
     %"2 ;i@  
         $nB4Ie!WcR  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 _E[zYSo`  
     *CHLs^)   
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 +ht -Bl  
    v-;j44sB  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 2qY`*Y.2  
     }n+#o!uEf  
    2]Nc@wX`p  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 [ 7W@/qqv  
    Hshm;\'  
    [NE:$@  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 \ /3Xb  
     '%@fW:r~  
    IXp(Aeb  
    01n5]^.p  
    导出加工数据 B'( /W@  
     uqaP\  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) Q+ r4  
     @Sxb}XI!f  
    7!0~sf9A  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览  ~yQby&s  
     c2aX_ "  
    1+1Z]!nG#!  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 [89qg+z  
           H 1`}3}"  
    qJ).;S{AAt  
    $q_e~+SXT  
    v7?sXW  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 ZJCD)?]=3  
    >k gL N  
    vs3px1Xe#  
    [42vO  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 l+e L:C!  
     5$kv,%ah  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 DA)mkp  
    Z83A1`!.|  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 qJY'"_Q{  
    g<,kV(_7  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 k 7 !{p  
    ig Mm.1>  
    H5@N<v5 u  
    导出加工数据列表 n9.` 5BH7/  
     ?W  l=F/  
    [nQ<pTg~r  
    qA4w*{JN  
    导入加工数据 K OZHz`1!  
     a@[y)xa$Z  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI f0S&_gt  
     4%h@K(iN  
    gwvy$H   
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) `^t0379e  
     Im9^mVe  
    p=T,JAIt  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) %<x2=#0  
    KMsm2~P  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 AL #w  
     `mU'{  
    wyqXD.o f  
    xngK_n  
    1:I47/  
    7r=BGoA2E  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 a0y7a/@c  
    AplXl=  
    mz\d>0F U.  
    6) 导入完成，观察3D视图 S<Zb>9pl  
     p#:.,;  
    ht8%A 1|  
    ]V!q"|  
    $xT'cl/IH  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 A!}Wpw%(/  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
    5
    光券
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    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 e=KA|"v xh  
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