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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    6243
    光币
    25360
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： t}v2$<!I  
     ?ER-25S  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； Q'k\8'x  
     pV6d Id  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 i,13b e  
     &a/__c/l  
    结构设计 [D5t{[i  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 |QV!-LK  
     ~gz^Cdh  
    #W.vX?-'0  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 {0! ~C=P  
     `mye}L2I  
         Qu,8t 8  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 a[lY S{  
     O D Ur  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 .^$YfTabq  
    yr#5k`&\_  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 JT fd#g?I  
     \5Vde%!$Z  
    lTU$0CG  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 = 8gHS[  
    i{D=l7j|w  
    kE TT4U  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 `OymAyEYQ  
     lnE+Au'  
    86f2'o+  
    #_mi `7!B#  
    导出加工数据 X7L8h'(@  
     (H oqR  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) TpA\9N#$  
     T32BnmB{  
    .qk]$LJF7  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 EQqx+J&!  
     <8UYhGK  
    %+ZJhHT  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 Og;-B0,A  
           %3HVFhl  
    G8W#<1LE  
    T]Nu)  
    iR$<$P5  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 &'l>rD^o  
    zi~5l#I  
    KRJLxNr  
    `>DP,D)w(  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 @pGZLq  
     D@EO=08<b  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 #k3t3az2{  
    !L5jj#0  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 vd`}/~o  
    RFh"&0[  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 B12$I:x`  
    ? muzU.h"z  
    \.XLcz  
    导出加工数据列表 ?=GXqbS"  
     5 ,0d  
    +.RKi !  
    crO@?m1  
    导入加工数据 _md=Q$9!m  
     PNW \*;j  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI m~Ld~I"  
     QrApxiw  
    7=@jARW&  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) I *c;H I  
     61U<5:#l  
    rzp +:  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) z9W`FBg  
    5q@LxDy,b  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 zU6a't P  
     [nxE)D  
    @eqeN9e  
    K; FW  
    > Oh?%%6  
    ozsxXBh-`'  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 3p?KU-  
    xr0haN\p"  
    8\<jyJ  
    6) 导入完成，观察3D视图 GFSt<k)  
     9iN.3/T8  
    wwKh CmH  
    f[gqT yiP  
    2?Ye*-  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 HEK-L)S. *  
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