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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    5797
    光币
    23137
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： w:t~M[kTW  
     jr=9.=jI8k  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； jE*{^+n  
     N d].(_  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 >Zb!?ntN`t  
     eFG/!b<17  
    结构设计 {DRk{>K,  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 gJQ#j~'  
     6KMO*v  
    o-\h;aQJ  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 WC#6(H5t$  
     #EH=tJgO|J  
         YO$Ig:a#  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 o{PG& }K  
     i#'K7XM2  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 [d`E9&Hv3  
    -c_l nK  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 csy6_q(  
     ]SQ+r*a  
    K!6T8^JH  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 B[N]=V  
    > Vm}u`x  
    TxJk.c  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 _4by3?<c  
     _%e8GWf  
    Db|f"3rq?  
    LCivZ0?|X  
    导出加工数据 # EvRm  
     vNSUrf,r  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) 0>28o.  
     ^B<-.(F  
    GHsDZ(d3.  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 UD-+BUV  
     r8EJ@pOF2w  
    >V"{]v  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 YK/? mj1x  
           y\??cjWb]  
    W`[VLi}fe  
    2u]G]: ml  
    Y/sav;  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 j9fBl:Fr  
    f Fi=/}  
    tK3$,9+  
    W>jKWi,{  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 fEBi'Ad  
     *$A`+D9  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 5gf ~/Zr  
    C?H~L  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 T\gs  
    .q 2r!B  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 >g$iO`2  
    I#OZ:g^  
    :W)lt28_  
    导出加工数据列表 (-S^L'v62v  
     kX L0  
    - |p eD L  
    =X'[r  
    导入加工数据 k+"];  
     oXZWg~&l^  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI o33t~@RX  
     vv)q&,<c  
    z?DCQ  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) lf-.c$.>  
     :}NheRi  
    y(DT ^>0  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) AJ\gDjj<  
    ~7b#B XzP  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 _n:RA)4*  
     :Quep-:fy<  
    Ar)EbGId  
    qlM<X?  
    ~C{:G;Iy0  
    {+lU4u  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 ,|*Gr"Q=  
    Tv#d>ZSD  
    ]\rQ{No  
    6) 导入完成，观察3D视图 *$O5.`]  
     |dxWO  
    %oqKpD+  
    ASdW!4.p  
    Yz;7g8HI  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 8d$|JN;)  
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