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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    7172
    光币
    30001
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： .H9!UQ&It  
     egKYlfe"  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； $k}+,tHtJO  
     b$g.">:$  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 & yw-y4 =  
     6I 2`m(5  
    结构设计 48w3gye  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 SkN^ytKE  
     -Xx,"[sN\w  
    X/'B*y'=U  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 R'&^)_  
     .8g&V|  
         r`6XF  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 V8&%fxn+  
     NW^}u~-f  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 W5sVQ`S-  
    w)3LYF  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 l *pCG`@J#  
     c-`&e-~XKL  
    RkC?(p  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 92eS*x2@  
    ]_5C5m  
    9KCnitU  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 NcqE)"yObo  
     /l@7MxE  
    zoO>N'b3)  
    iSHNt0Nl  
    导出加工数据 "PnYa)?1  
     $D8KEkW  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) IzkZ^;(N  
     LvE|K&R|  
    '(I"54W  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 %!LrC!6P4  
     } %rF}>$A  
    wG19NX(  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 ])0&el3-  
           ^Fy) oWS  
    7dN]OUdi  
    ]+ug:E{7  
    D3BX[  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 :|P"`j  
    hnH:G`[F  
    o"TEmZUP  
    k' pu%nWN  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 C+O`3wPZp  
     >q4nQ/eP  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 vy6NH5Q  
    (\#j3Y)r  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 Hm1C|Qb  
    T?E2;j0h'#  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 m[]p IXc(  
    sK}Ru?a)  
    Hq6VwQu?  
    导出加工数据列表 Mx0c # d.  
     AaKILIIQZ  
     Zna }h{  
    G74<sD  
    导入加工数据 v]Pw]m5=U  
     K\=bpc"Fy  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI Ab8~'<F$B  
     F1gDeLmJ  
    Cg8{NNeD  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) W=PDOzB>K  
     ApjLY58=  
    $F;$-2  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) 4hZ-^AL"(  
    '^lrGO6 z7  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 v;jrAND  
     nr-VzF7zu  
    es&+5  
    ~"+[VE5  
    5#q ^lL  
    Q Gn4AW_  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 q>!T*BQ  
    9]7+fu  
    f}nGWV%,  
    6) 导入完成，观察3D视图 <f8@Qij  
     z[ IG+2  
    /O/u5P{J  
    iTqv=  
    N~Ax78TX  
    QQ：2987619807
     
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    实习生
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    光券
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    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 ft:/-$&H  
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 ~EE*/vX  
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