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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    6080
    光币
    24553
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： < )dqv0=  
     |L@&plyB-  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； o_.f7|U!  
     oTtJ]`T  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 =i4%KF9 x  
     :7,j%ELic  
    结构设计 $Z{ap  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 Ej\M e  
     Y ,Iv<Hg  
    m#\I&(l+  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 (;9-8Y&_d  
     KI@OEy  
         }#u.Of`6"  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 i#&iT P`  
     A#yZh\#  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 B_gzpS]  
    1BA/$8G  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 Ft&ARTsa*  
     G`/5=  
    TpB4VNi/<  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 qhdY<[6  
    5^,"Ve|  
    6n|R<DO%\  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 SBf8Ipe  
     x1@`\r#0  
    5f~49(v]  
    Oc Gg'R7  
    导出加工数据 LpQ=Y]{j  
     wWVLwp4-  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) vKcZgIR  
     jkVX>*.|oy  
    \ah.@s  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 TFQX}kr]  
     8_d>=*(  
    ^&!S nM  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 K P1;u#v  
           [Yq*DkW  
    kH.W17D~  
    !`A]YcQ  
    &y} ]^wB  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 0qCx.<"p8#  
    qg`8f?  
    ^Fn~@'  
    F[ '<;}  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 ?o D]J  
     &OM e'P  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 $:RP tG  
    !,(6uO%  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 # :)yh]MP  
    r(VGdG  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 !wU~;sL8C3  
    tO@n3"O  
    fF|m~#y  
    导出加工数据列表 ,. K}uW  
     Rxf.@E  
    k"L?("~   
    !eC]=PoY  
    导入加工数据 Qy!;RaA3T  
     s"xiGp9  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI <5xlP:Cx  
     O0~Qh0~l  
    ;bMmJ>[l-  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) 4g "_E  
     hmG^l4B.T  
    *#| lhf'  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) |EjMpRNE  
    4#fgUlV  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 /7o{%~O  
     Jg2*$gL;_  
    &~ .n}h&  
    B7u4e8(E*  
    =iFI@2  
     9EU0R H  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 u]uUm1Er  
    YM`I&!n  
    )_H>d<di  
    6) 导入完成，观察3D视图 EqjaD/6Y`  
     "?f_U/+D<  
    I&s!}$cD  
    ]tnf< 5x  
    l.Yq4qW  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 6qYK"^+xu  
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