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    • Zemax光学设计从入门到精通 光学设计仿真实验指导 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    6655
    光币
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： YGNX+6Lz  
     t,H,*2  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； g$:2c7uL  
     \myj Y  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 Qr0GxGWU  
     OrH&dY  
    结构设计 CtE".UlCA  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 S^n:O  
     M 35}5+  
    Pjx9@i  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 GRs;-Jt  
     d }]b  
         -OziUM1qs  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 iCc \p2p  
     fG.w;Aemv5  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 'N}Wo}1r  
    B(>_.x#kv  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 WUxr@0  
     ) ejvT-  
    0~-+5V  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 D@3|nS  
    ^ZV xBQKg  
    U?}Maf  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 k%LE"Q  
     &hF>}O  
    } K Ou  
    0!?f9kJq  
    导出加工数据 l@GpVdrv  
     ck^Z,AKL+  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) [0rG"$(0Y  
     =CJs&Qa2  
    qVY\5`f@  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 H37Z\xS  
     t?{ B*  
    wUSWB{y  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 Kp99y  
           2L\h+)  
    x r=f9?%R  
    :3G9YjzC}  
    &iSQ2a!l8b  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 zb3ir|  
    Isi ,Tl ^  
    \Z~m6;  
    |g9^]bT  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 (z.Vwl5  
     :@p`E}1r{  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 Eod2vr =Q  
    @e slF  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 |n~v_V2.0  
    InDR\=o  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 "C.$qk]  
    =GpLlJ`-  
    .5T7O_%FP  
    导出加工数据列表 *r_.o;6  
     E6G^?k~q  
    BE U[M  
    FJD*A`a  
    导入加工数据 fY `A  
     #2dmki"~(  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI Fb*;5VNU.  
     [;b9'7j'  
    |[V(u  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) IEA[]eik>  
     v:+se6HY?p  
    ?oF@q :W  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) NT nn!k  
    MRa>@Jn??A  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 ''(T3;^ +  
     H#ihU3q  
    CUtk4;^y#  
    OO@$jXZB  
    v14[G@V~\  
    bv] ZUF0  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 9DT}sCLz:B  
    q}8R>`Z{  
    (2{1m#o  
    6) 导入完成，观察3D视图 ~jPe9  
     _Ih~'Y Fd  
    1-,l|K  
    FYi<+]HZ  
    ~p8!Kb6  
    QQ：2987619807
     
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    实习生
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    光券
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    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 mT9TSW}  
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 SAqX[c  
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