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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    5925
    光币
    23778
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： sb*G!8j  
     q`7PhA  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； tw/dD +  
     #q$HQ&k  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 SHgN~ Um  
     FVbb2Y?R  
    结构设计 pE0Sw}A:9  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 _6hQ %hv8  
     #p&qUw  
    BwpqNQN  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 @*XV`_!h  
     ?e4YGOe.  
         An0|[uWH  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 -d/ =5yxL  
     +@f26O7$*  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 G>}255qY  
    Mb}QD~=M  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 o:'MpKm  
     ET*SB  
    I$G['` XX/  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 V2EUW!gn 2  
    K@]4g49A/j  
    J*A,o~U|  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 \*?~Yj #  
     _;y9$"A  
    VCkq"f7c w  
    Q3~H{)[Kq  
    导出加工数据 >Cp0.A:UC#  
     &r /Mi%  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) eo?bL$A[s  
     _|2:_N=   
    O0v}43J [  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 ]F~dlH1Wp  
     ?l{nk5,?-Y  
    RtS+<^2a;  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 !;A\.~-!G  
           M7~2iU<#  
    PC8Q"O  
    ^^$s%{ep"  
    cuI TY^6  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 lUZ+YD4  
    JH9J5%sp  
    FVKTbvYn  
    bAqA1y3=  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 gr2U6gi  
     Zu[su>\  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 </z Eg3F\  
    \M^bD4';>  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 p6V0`5@t  
    d7upz]K9g  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 "KpGlY?^  
    /([kh~a  
    _B<X`L =  
    导出加工数据列表 J ZS:MFA  
     \R_C&=  
    x 9fip-  
    a;+9mDXx:  
    导入加工数据 ;A*]l' [-  
     a1lh-2x X  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI d$!RZHo10V  
     NXrlk  
    *GPiOA a  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) }Sv:`9=  
     $U~]=.n  
    0GeTS Fj  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) 8l`*]1.W<  
    VTE .^EK!  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 %h!B^{0  
     U Cjld  
    I efn$  
    Wne@<+mX  
    6i/(5 nQ  
    5\ nAeP  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 |CyE5i0  
    sPIn|d  
    a:w#s}bL  
    6) 导入完成，观察3D视图 @o`AmC . 8  
     =Xr.'(U  
    NgPk&niM  
    ?Ir:g=RP*  
    InI$:kJ  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 ,ig/s2ZG6X  
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