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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    6511
    光币
    26700
    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介：  8"%RCE  
     K*q[(,9  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； .f:n\eT):  
     1|{bDlmt  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 '$G"[ljr  
     FS6<V0pil  
    结构设计 ~gE:-  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 ~ Vw9  
     :Zt2'vcGpf  
    !z 53OT!  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 08s_v=cF  
     iCj2"T4TN  
         W=JAq%yd<  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 BHA923p?  
     ;{#^MD MB  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 <q (z>*-e  
    0* ;O?T  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 b| M3 `  
     mO*^1  
     Es5f*P0  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 x YfD()w<I  
    2f>PO +4S{  
    fB1TFtAh  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 fX~'Zk\u  
     >j*;vG5T  
    `'I{U5;e  
    2S"Nf8>zp  
    导出加工数据 \f:z+F!6R  
     |4(~%| 8{  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) ^EELaG  
     '3 33Ctxy  
    .IarkeCtb  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 6$U]9D  
     =,y |00l  
    =(v^5  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 #KxbM-1=  
           h RC  
    = ?D(g  
    8:=n*  
    {-3LIO  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 xu5ia|gYz7  
    =Prb'8 W  
    #LlUxHv #  
    M`YWn ;  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 6W[}$#w  
     Sr?#wev]rn  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 7?j;7.i s(  
    r3E!dTDWq  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 Fm\"{)V:b  
    E 99hlY~1:  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 5r~# 0Zf*  
    6!x&LoM  
    ^G&3sF}  
    导出加工数据列表 ~Q {QM:k  
     N6K* d` o  
    +T/FeVQ  
    :Z`:nq.a  
    导入加工数据 dzLQI}89+k  
     m>USD? i  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI o#) {1<0vg  
     CTX9zrY*T  
    qm/Q65>E  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) ZkL8e  
     :B3[:MpL}  
    )?+$x[f!*  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) P-F)%T[  
    [Wd-Zn%  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 ;!:U((wv  
     vEf4HZ&w  
    +$4(zP s@  
    Xq'cA9v=$J  
    !It`+0S b  
    )u))n#P  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 b0 iSn#$  
    ^ ,m< 9  
    DPi_O{W>  
    6) 导入完成，观察3D视图 QXCH(5as  
     fYKOJ5f  
    COH<Tj  
    :0Z^uuk`gq  
    oFjIA!  
    QQ：2987619807
     
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    光券
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    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 U,nEbKJgk  
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 C8F7bG8c  
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