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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： <coCu0  
     cOgtBEhn  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； i5"q1dRQ  
     Sx"I]N  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 4{g|$@s(  
     !/zj7z !  
    结构设计 \#r_H9&s6  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 :JIPF=]fc  
     hzb|:  
    #w@Pa L iS  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 {@%(0d{n}  
     5XHkRcESZ  
         3lN+fQ>)S  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 "-?Y UY`  
     R.T-Ptene  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 @k,(i=**  
    K;y\ &'E  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 I>#ChV)(#  
     PEIr-qs%D  
    :nUsC+oBS  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值  F`.7_D  
    @\8gzvkt  
    V2%wb\_z  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 x^2/jUc#B  
     TWEqv<c  
    1I_q3{  
    &X,)+ b=  
    导出加工数据 _ n4ma  
     ~HRWKPb  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) ix@rq#  
     R7c)C8/~  
    em!R9J.  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览  89=JC[c  
     k.[) R@0%  
    L6=RD<~C  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 Q8cPKDB  
           J4c4Os>3  
    x>" JWD  
    A!Ct,%   
    @M^Qh Hs  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 gD+t'qg$  
    n12c075  
    |Umfq:W`y_  
    @/NZ>.  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 Le:mMd= G  
     =1OAy`8  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 A<CXdt+t  
    u4M2Ec  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 =&:f+!1$  
    aC Lg~g4  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 a{Hb7&  
    lrX0c$)  
    Il`k]XM  
    导出加工数据列表 R{KIkv  
     :`^3MMLO  
    .C;_4jE  
    [xp,&  
    导入加工数据 po2[uJ  
     <6O _t,K]  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI  ; zE5(3x  
     P:, x?T?J^  
    QT= ,En  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) PWN'.HQ  
     x gT~b9  
    ;!JX-Jq  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) =_m9so  
    DMcxa.Sd!  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 d:<H?~  
     jy(+ 0F  
    ;y~{+{{Ow  
    7Cd_zZ  
    Ph+X{|  
    v]{uxlh  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 ta4JWllf  
    G]mWaA  
    Vl 19Md  
    6) 导入完成，观察3D视图 8 ih;#I=q  
     b WbXh$  
    WfDX"rA  
    p>:ef<.i  
    M. )}e7  
    QQ：2987619807
     
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    实习生
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    光券
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    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 iz Ph1YA  
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 _i3i HR?  
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