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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 m=&j2~<i I(fq4$ 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） 9g3J{pKcZ 6Q]c]cCu 所需工具：Grating Toolbox Basic h?wNmLre ra \Moy 相关Tutorials：G.001; G.014 b #h?O} 建模任务 Q+/:5Z
C jbQ2 G|:Q 理想平面波照射 $Xf1|!W%a% nOxCni~ T [KXxn>n  b9uo 6u4s EL+6u>\- k t ZUZNKODW 镀膜倾斜光栅 %=x|.e@J 目标平面 *<*{gO?Q4 O[Xl*9P 周期：10um usi v`.
厚度：10um M0 `nr}g 倾斜角度：20度 fII; t-(x d =%:rLm$ 光栅的参数 /sY(/ J E Q+|8|V} w —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 BCB"& :} LO@.aJp p
—填充因子 2—后面的介质 !x oN%5 ! —膜层厚度 3—膜层材料 Q g=k@ —光栅厚度 kYBTmz} z NVx`'Il8
" ?(GMe>  `j*&F8}
Ms 5m.lX Z; shFMu 设置层数和转折点 Bb[%?~
E! Lv@JfN"O BQWEC,*N  2 设置层数和转折点以确定膜层 lTe}[@( o Xwoi ! P_+S;(QQ~d 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 ]#]m_+} Z 2UY0:y e \Ku=a{Ne 实现可编程光栅 JDv7jy B e+'&+ #.p^ S0\pw  8[(eV.
,I q+ v ~rE U83 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） .>>@q!!s!  kXS_:f;M Et@= <g 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） *v3/8enf Mj |)KDL `+$'bNPn& Sr~zN:wn  [oOZ6\?HB S!8eY `C. 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 3:jKuOX  E ^L h4H~;Wl0 2 双击Data Series Diagram e:{v.C0ez Vnuz!
6. 采样结果 +<6L>ZAL  G T#hqt'1x
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. +B^ / =3P e/lfT?J\
QQ：2987619807
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