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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    在线infotek
     
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    光币
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介: c_.4~>qw  
    7D)i]68E  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计; Zd[6-/-:  
    /m+\oZ ]d  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 oxgh;v*  
    ;,jms~ik  
    结构设计 H83/X,"!w  
    1) 点击 ,打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 <S`N9a  
    8>~\R=SC  
    kX:d?*{KB  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布,默认为振幅视图. 点击,将默认的振幅视图转换为相位视图,点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 [n9X5qG~  
    6 2#dSd}HG  
         @m(ja@YC  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口  N'e3<  
    @G>Q(a*,  
    目标(Target)标签,可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 -PH!U Hg  
    i slg5  
    光学设置(Optical Setup)标签,在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate),并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium),同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长(Wavelength)。 j= Ebk;6p  
    !S}4b   
    q8e34Ly7  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签,在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None),以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面,并选择像素化的高度轮廓(最临近点插值)[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 n*GsM6Y&  
    ;chz};zY  
    M?zwXmTVW0  
    4) 完成结构设计,在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 VsMTzGr  
    f<aJiVP  
    2K&5Kt/  
    L]|[AyNu  
    导出加工数据 3Zeh$DZ  
    y72=d?]W  
    1) 在LPD中双击生成的元件,可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component,简称DIC)的形式保存的,而高度轮廓以取样光学界面(Sampled interface)的形式保存,点击编辑(Edit) 6 P6Pl&  
    %N }0,a0  
    v08Xe*gNU  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口,在结构(Structure)标签上,选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值,并进行3D预览 )=c/{  
    f)/5%W7n}  
    5 U{}A\q  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中,点击鼠标右键,选择精度(Accuracy),将界面取样精度设置为5,提高取样光学界面的显示精度 1'>wrGr  
           b )mU9   
    r @ IyK%  
    ,8MUTXd@ V  
    yw9)^JU8"  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签,将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8,通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 o?l9$"\sqb  
    BVk&TGa;[$  
    ",gWO 8T  
    BLs kUrPF  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 iO_6>&(  
    %qf ?_2v  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 0X"D!G):  
    "TboIABp:H  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 LmQS;/:  
    _9Zwg+oO[  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置,并点击Export导出加工数据 pa@@S $(  
    a*gzVE7W#n  
    Z} Ld!Byz  
    导出加工数据列表 y6*9, CF  
    vUU)zZB ~  
    } JePEmj  
    !.nyIA(  
    导入加工数据 sF`ELrR \  
    p#eai  
    1) 点击 ,新建一个LPD,在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件,以下简称SOI Anu`F%OzB  
    qfQg?Mr  
    %kRQ9I".  
    2) 双击SOI,进入其编辑窗口,点击加载(Load) /) Pf ]  
    >w~Hq9  
    hkhk,bhI  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) ogrh"  
    oju}0h'1  
    4) 点击编辑(Edit),进入取样光学界面编辑窗口,导入加工数据 l&f"qF?  
    7;T6hKWV[  
    L(bYG0ZI5C  
    C;C= g1I}  
    T3W?-,  
    Bi'qy]%  
    5) 打开文件夹中的.xml文件,导入加工文件 Av#_cL  
    a2MFZe  
    Hmi]qK[F  
    6) 导入完成,观察3D视图 >*A"tk#oR  
    K~ 6[zJ4  
    uFzvb0O`O  
    5#|f:M]Bo|  
    eiJ 13`T  
    QQ:2987619807
     
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    离线wx349643041
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    光币
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 aOj(=s  
    离线无损的
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    光币
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    光券
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    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导,非常感谢 VOj{&O2c