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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    7172
    光币
    30001
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： kx|me~I  
     n=f`AmF;  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； yJnPD/i  
     _ymJ~MK  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 _FL<egK  
     sS C?io  
    结构设计 98BYtxa  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 3H1Pp*PH  
     y7CWBTH0>  
    (l Lu?NpIi  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 i4hJE  
     Q 2*/`L}m\  
         E::L?#V  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 0r1g$mKb  
     Oz :D.V 3~  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 JYPxd~T/-  
    R"NGJu9  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 SV&kWbS  
     P?uf?{  
    Y mq3ty]Pe  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 <#>Oy&E  
    DYX-5~;!  
    YZ0en1ly  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 i#k-)N _$  
     ]x2Jpk99a  
    pP3U,n   
    ,NDh@VYe  
    导出加工数据 3Q",9(D  
      for {  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) 6{Ks`Af  
     TfL4_IAG.  
    T0r<O_ubOA  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 kg:l:C)Tq  
     ai4PM b$p  
    [KMS<4t'  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 N3Z iGD  
           t')h{2&&!2  
    2sUbiDe-  
    sv' Gt1&"Z  
    _D-5}a"  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 D%A@lMru  
    d4J<,  
    zHV|-R  
    >=Jsv  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 P&mtA2  
     !Vb,zQ  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 q8/ihA6:  
    >&1um5K  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 >{QdMn  
    %bXsGPB  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 m`c#:s'_  
    [yC"el6PM  
    o_O+u%y  
    导出加工数据列表 c#  xO<  
     PRwu  
    !_dR'  
    Y#`Lcg+r,  
    导入加工数据 }'TTtV:Q  
     !y%+GwoW  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI x<@kjfm5  
     y^G>{?Tha  
    #d% vT!Bz~  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) UQ~4c,  
     /$Z m~Mp  
    =-qf;5[|  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) gD6tHg>_  
    b_l3+'#ofM  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 ]H+{eJB7O  
     5z~\5x  
    Px#$uU  
    {`F1u?l  
    61Bhm:O5W  
    69/?7r  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 )v1CC..  
    .'/l'>  
    &bLC(e ]  
    6) 导入完成，观察3D视图 sB6dp D  
     ^df x~C  
    +]c}rWm  
    5B{k\H;  
    3Z1OX]R  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 x2k*| =$  
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    离线无损的
    实习生
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    5
    光币
    5
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 TJOvyz`t  
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