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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    6080
    光币
    24553
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： q37d:Hp  
     (_.0g}2  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； >\s8S}p  
     Mq,2S  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 gi#g)9HG  
     n=1_-)  
    结构设计 )z Hib;O  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 Y k @/+PE  
     qC4Q+"'  
    Q*K31Ln  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 Q XLHQ_V  
     )0UXTyw^  
         Wfp>BC  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口  J]4pPDm  
     6*r#m%|   
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 K|V<e[X[V  
    /kH 7I  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 +JlPQ~5  
     Bp9_\4  
    ,.,spoV  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 mO8E-D*3  
    }[mLtv%&  
    \\9I:-j:p  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 `JzP V/6  
     C.N#y`g  
    6z2WN|78  
    F9Co m}  
    导出加工数据 * &O4b3R  
     h\lyt(.s  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) K*9~ g('  
     8k9Yoht  
    TW~%1G_v  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 tb/`*Yl@  
     0u?Vn N<  
    AOv>O52F/Q  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 oZ\zi> Y,  
           9+"ISXS  
    )~be<G( a  
    .kc{)d*0K  
    q_86nvB<  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 ,Q,3^v-  
    Ti>2N  
    mt\pndTy7!  
    [Wn6d:  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 AsO)BeUD  
     OLE@35"v]  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 =|V[^#V  
    Jix;!("  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 3B5 `Y  
    qk=OodEMK  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 K`8$+JDP+  
    HE@P<  
    >2ny/AK|  
    导出加工数据列表 paZcTC  
     T)mh  
    ?P"j5  
    l 9bg  
    导入加工数据 rnQ9uNAu  
     b5?k)s2  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI wpa^]l  
     V PI_pK  
    %h}3}p#4  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) &Vbcwv@  
     9&Ny;oy#6  
    b X4]/4%  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) Bi|-KS.9  
    lFD/hz7lc  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 .83z =  
     pXf5/u8&  
    VE*& t>I  
    9` G}GU]@}  
    `sM^m`yE  
    %i@Jw  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 Gt;U9k|i  
    `.YMbj#T  
    <v$yXA  
    6) 导入完成，观察3D视图 6mC% zXR5  
     A#CGD0T  
    6Lz:J:Q)  
    m ?jF:] ^  
    H)NT2@%{P  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 Uf<IXx&;  
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