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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介: uRwIxT2  
    h7kGs^pP  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计; WX]kez{<uP  
    pH'#v]"  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 h#'(UZ  
    ZrXvR`bsw  
    结构设计 fqFE GyeNr  
    1) 点击 ,打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 }(O 7tC  
    l 0jjLqm:  
    r4A%`sk@  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布,默认为振幅视图. 点击,将默认的振幅视图转换为相位视图,点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 1k3wBc 5<  
    Cddw\|'3  
         uZ\ >  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 pZ%/;sxYa  
    #&5m=q$EI  
    目标(Target)标签,可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 {pE")O7~P  
    OGrp {s  
    光学设置(Optical Setup)标签,在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate),并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium),同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长(Wavelength)。 D8C@x`  
    K zKHC  
    ID E3>D  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签,在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None),以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面,并选择像素化的高度轮廓(最临近点插值)[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 fA2H8"r  
    {&,a)h7&  
    )pW(Cp  
    4) 完成结构设计,在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 & tkkn2t  
    Cd"O'<^Sb  
    -U'6fx) +  
    _{TGO jZr  
    导出加工数据 rhHX0+  
    b~y1'|}g  
    1) 在LPD中双击生成的元件,可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component,简称DIC)的形式保存的,而高度轮廓以取样光学界面(Sampled interface)的形式保存,点击编辑(Edit) Dwe_ytjpc  
    wVP{R3  
    !2>gC"$nv  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口,在结构(Structure)标签上,选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值,并进行3D预览 #Kn=Q  
    oslV@v F  
    C>4y<,Q  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中,点击鼠标右键,选择精度(Accuracy),将界面取样精度设置为5,提高取样光学界面的显示精度 6Z\[{S];  
           4%aODr8  
    O}*[@uv/  
    LK)0g4{  
    `LEk/b1(P  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签,将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8,通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 .3Jggp  
    Z; r}G m  
    *ukE"Aj  
    kQRNVdiz  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 q]`XUGC  
    /Uz2.Ua=  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 ahU\(=  
    +D& W!m  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 9\0  
    vA10'Gx'  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置,并点击Export导出加工数据 vHCz_ FV  
    hvnZ 2x.?d  
    L!|c: 8  
    导出加工数据列表 >}\!'3)_  
    hug8Hhf_&  
    3gQQ,V..  
    dBE :rZu  
    导入加工数据 =1!wep"  
    Jk!}z+X'A  
    1) 点击 ,新建一个LPD,在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件,以下简称SOI ~N&j6wHg#  
    wv|:-8V  
    \(R(S!xr_  
    2) 双击SOI,进入其编辑窗口,点击加载(Load) Q7gBxp  
    3+;]dqZ  
    79AOvh  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) L NmsvU  
    cfyN)#9  
    4) 点击编辑(Edit),进入取样光学界面编辑窗口,导入加工数据 DB-4S-2  
    {e/Qs|a R  
    r]iec{ ^  
    i:0~%X  
    U-6b><  
    zHw[`"[  
    5) 打开文件夹中的.xml文件,导入加工文件 J GnL[9P_  
    }Y~o =3-  
    M$dDExd~  
    6) 导入完成,观察3D视图 r3<yG"J86  
    D0/ \  
    \/I@&$"F  
    Dtl381F J  
    *`YR-+0  
    QQ:2987619807
     
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    离线wx349643041
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 wyeiz7  
    离线无损的
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    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导,非常感谢 #9uNJla