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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    5937
    光币
    23838
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： \(T; @r  
     9Z*`{  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； "]c:V4S#`A  
     CyG@  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 %c^]Rdl  
     ""pJO 6bI  
    结构设计 DP^{T/G  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 { w!}:8p  
     w41#? VC/  
    .6O>P2m]a_  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 @2$PU{dH  
     ac+7D:X  
         @Jvw"=  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 ] (MXP,R  
     9q* sR1  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 :@: R4Ac  
    EzNmsbtZ(  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 [Hd^49<P2  
     0RoI`>j'  
    =1yUH9\,b  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 Gw+z8^|C&}  
    &)s A(  
    (3]7[h7  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 1&jX~'  
     R63"j\0  
    GQ8I |E  
    U7PA%  
    导出加工数据 _"WQi}Mm  
     ev8 E.ehD  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) ZlO@PlZ)  
     g"T~)SQP  
    P45q}v  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 ' J-(v  
     ~]"}s(J;  
     h@W}xT  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 <[~x]-  
           3N]pN<3@  
    t4gD*j6J3  
    !5A nr  
    vjXvjv{t  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 3tr?-l[N\  
    (Mtc&+n{  
    3I"&Qp%2  
    1]hMA\x  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 aaaC8;.  
     E#HO0 ]S  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 r ,b  
    M/1Q/;0P  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 /au\OBUge  
    4yBe(&N-d  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 Szg<;._J  
    W1: o2 C7  
    >Mvt;'c  
    导出加工数据列表 {Or|] 0  
     dvL'>'g  
    P%/+?(?  
    CiMy_`H  
    导入加工数据 iOJgZuP  
     Tl=vgs1  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI B]Zsn`n  
     |Zt=8}di  
    t8P>s})[4  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) Xp{gh@#dr  
     f ~Fus  
    LZoth+:  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) 1%-?e``.  
    BR0bf5T/  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 _OrE{  
     Jx{,x-I  
    2XI%4  
    /4T%&#6s  
    .7kVC  
    r} ,|kb  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 2#E;5UYu  
    +QHhAA$  
    \4vFEJSh  
    6) 导入完成，观察3D视图 x`lBG%Y[-v  
     Mq7|37(N[  
    P0z "Eq0S  
    P{qn@:  
    d@w I: 7  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 K3Xy%pqR#  
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