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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： $%5!CD1)  
     D<xDj#Z~1  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； +<n8O~h  
     \Gy+y`   
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 8[H)t Kf8  
     >FReGiK$T  
    结构设计 CM+/.y T  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 3 ~\S]  
     -\}Ix>  
    .0]Odf:@  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 TRQH{O\O  
     x%, !px3s  
         /w:~!3Aj0+  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 i UW.$1l  
     Bc51 0I$c  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 2R`}}4<Z  
    n; *W#c  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 5w@Q %'o`I  
     \m1jV>q  
    vaj-|&  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 A@JZK+WB}  
    ph=U<D4  
    H?j!f$sw  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 pc/]t^]p  
     3ypf_]<  
    rqYx\i?  
    x|<89o L  
    导出加工数据 'A9U[|  
     [Xo}CU  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) w1 tg7^(@  
     KZ/ 2#`  
    gD/% l[  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 a1# 'uS9W  
     R%^AW2   
    [;hCwj#  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 %R LGO&  
           nN!R!tJPa  
    j-wz7B  
    {-)*.l=  
    -K%~2M<  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 6T{SRN{  
    ^ ]CQd   
    UJ6zgsD1b?  
    Rz!!;<ye8  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 hDHIi\%  
     +~1~f'4J  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 ?<-ins  
    +K03yphZr  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 g\foBK:GE  
    T&~7*j(|e  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 #~`]eM5`J  
    ?tFsSU  
    ,Frdi>7 ~  
    导出加工数据列表 wQ/Z:  
     L% ?3VW  
    D!CuE7}  
    qI#ow_lL#  
    导入加工数据 JLH,:2  
     ,?zOJ,wl  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI ZMI vzQYI  
     <<.%Gk  
    \cRe,(?O  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) h`b[c.%  
     y<A%&  
    bjYaJtn  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) 2%(RB4+  
    <{UjO  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 cJ!C=J  
     "/}cV5=Z  
    eGh7,wngH  
    1I -LGe[Q  
    .WT^L2l%  
    ,3E9H&@j  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 1xE*quhrh  
    a5xmIp@6  
    $(U}#[Vie  
    6) 导入完成，观察3D视图 a#o6Nv  
     /l@h[}g+d-  
    gaXKP1m^  
    aR~Od Ys  
    37QXML  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 (&a<6k  
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    离线无损的
    实习生
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    光券
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    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 4JD 8w3u/  
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