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    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    6794
    光币
    28119
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： jv)+qmqo!  
     I Xc `Ec  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； `4"8@>D  
     'HA{6v,y  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 EGu%;[  
     THrLX;I  
    结构设计 *^?tr?e%I<  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 \/ bd  
     s^k G]7  
    yV^Yp=f_  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 sI>w#1.m/&  
      s*u A3}j  
         rj4@  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 5P,&VB8L  
     {##G.n\~  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 g"-j/ c   
    aV;|2}q "  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 =G-OIu+H!U  
     oo'9ZE/%  
     3.&BhLT  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 "x,lL  
    pc`P;Eui  
    -E-#@s  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 H%_^Gy8f  
     j=sfE qN).  
    [gW eD  
    fNN l1Vls  
    导出加工数据 +gl\l?>sr  
     dSDZMB sd  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) w{ja*F6  
     K+3-XhG  
    pW]j.JM  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 KzHN|8 $o  
     EC?5GNGT,  
    %i9S"  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 z{XB_j6\=  
           Mc,79Ix"  
    Ww<Y]H$xZ<  
    J=A)]YE  
     5%-{r&  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 h,LSqjf "  
    x^ s,<G  
    )%C.IZ_s2  
    . ,|C>^  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 ^t0!Dbx3SE  
     !j!w $  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 k+J3Kl09hM  
    f) sy-o!  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 BMp'.9Qgm  
    _c>iux;  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 n_kwtWX(  
    C HnclT  
    'F W?   
    导出加工数据列表 `KQx#c>'  
     ()lgd7|+  
    !)a_@d.;i  
    /&gg].&2?  
    导入加工数据 yP58H{hQM8  
     cAR `{%b  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI IMM;LC%rD9  
     ! ._q8q\  
    zTng]Mvx  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) <H-Nft>O  
     2 ZK]}&yC  
    q9 Df`6+  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) (cj9xROx  
    0|e[o"  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据  +n1!xv]  
     >LBA0ynh {  
    qd a 2  
    :9&c%~7B9  
    (?zg.y  
    x%dny]O1;  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 p%I)&- 8  
    ).KA0-  
    !Fl'?Kz  
    6) 导入完成，观察3D视图 :jTSO d[r  
     ;yNc 7Vl  
    w$ 8r<?^3  
    #*h\U]=VS  
    TPp]UG  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 DI\=udN  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 &=lc]sk  
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