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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    6613
    光币
    27214
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： sL\ {.ad5  
     n dN*X'  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； J2oh#TGp  
     "+&pd!\  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 [%6)  
     d>MDC . j  
    结构设计 7l*vmF6Z  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 t3^`:T\  
     };P=|t(r  
    L"S2+F)n  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 qZV|}M>P)  
     v}AjW%rB  
         a[rb-Z  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 (IjM  
     CHO_3QIz  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 +mR^I$9  
    p9\*n5{  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 fY78  
     ;P8% yf  
    `0_ Y| 4KB  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 %yfl-c(u  
    K/}x'*=  
    }|M:MJ`  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 LLzxCMc9*  
     3'A0{(b  
    H{9P=l  
    6;!)^b  
    导出加工数据 s?9Y3]&+&M  
     /yx)_x{  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) Nq9M$Nt]  
      ZpBP#Y*  
    *D[yA  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 ^liW*F"UY  
     "8U=0a  
    )xz_ }6b]  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 lS p"(&  
           DC BN89#  
    p_JWklg^  
    H;tE=  
    BjTgZ98J  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 JwWxM3(%t  
     [Ne'2z  
    (64es)B}"  
    +NvpYz  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 W|0))5a  
     W*(- * \1[  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 c1y+k vv  
    ` ` Yk  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 DYgB_Iak  
    ! jDopE0L  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 w?N>3`Jnf  
    nr}Ols  
    @k'V`ZQF  
    导出加工数据列表 Ix@B*Xz:`  
     ,D<U PtPQ  
    4Xt`L"f  
    alNn(0MG  
    导入加工数据 U:c 0s  
     ^si[L52BZ  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI kFyp;=d:K  
     utC^wA5U~  
    s6_i>  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) 9!Xp+<  
     C6@*l~j  
    zh\"sxL  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) =i Dd{$  
    n^5Q f\o  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 Gui[/iY,F  
     mV4gw'.;7  
    &0%B3  
    EQ :>]O  
    S0r+Y0J]<  
    -O-?hsV)y  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 Rxlv:  
    aX |(%1r  
    u5KAwMw%Q  
    6) 导入完成，观察3D视图 b+hN\/*]  
     UK,sMKbl1  
    '}bmDb*  
    HPt\ BK  
    Zt=P 0  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 ji.?bKqHE  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
    5
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 EIyFGCw|U  
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