切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 2422阅读
    • 2回复

    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    7172
    光币
    30001
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介: Gt3V}"B3\  
    Mk Er|w'  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计; ^$}9 Enj+Y  
    zxTcjC)y  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 BqC!78Y/e  
    Y?a*-"  
    结构设计 ,]+P#eXgE  
    1) 点击 ,打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 nlOM4fJ(  
    BT.;l I  
    a{v1[i\  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布,默认为振幅视图. 点击,将默认的振幅视图转换为相位视图,点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 q\cH+n)C  
    OX d617  
         G1=GzAd$5  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 B"rnSui  
    8QDs4Bv|  
    目标(Target)标签,可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 ~za=yZo7(  
    O$%M.C'  
    光学设置(Optical Setup)标签,在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate),并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium),同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长(Wavelength)。 [DpGL/Y.  
    AIgJ,=9K  
    r9McCebIW  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签,在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None),以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面,并选择像素化的高度轮廓(最临近点插值)[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 QV,X> !Nz  
    >qk[/\^O  
    YNyaz\L  
    4) 完成结构设计,在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 i`U:uwW`  
    ACm9H9:Vd  
    azF|L"-RP  
    ofH=h  
    导出加工数据 A{3Aw|;  
    _:DnF  
    1) 在LPD中双击生成的元件,可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component,简称DIC)的形式保存的,而高度轮廓以取样光学界面(Sampled interface)的形式保存,点击编辑(Edit) yr?*{;  
    q<Gn@xc'  
    \n$s5i-  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口,在结构(Structure)标签上,选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值,并进行3D预览 #-*7<wN   
    $fES06%  
    &/R`\(hEA  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中,点击鼠标右键,选择精度(Accuracy),将界面取样精度设置为5,提高取样光学界面的显示精度 qKNX^n;  
           cVya~ *  
    c@;$6WSG^  
    wTb7 xBI  
    H'7AIY }  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签,将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8,通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 HxCq6Y_m<  
    t>.1,'zb  
    Ww-%s9N<  
    :ZG^`H/X1d  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 f'P}]_3(  
    AT Dm$ *  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 '?7th>pC  
    m}/LMY  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 {,EOSta  
    $.{CA-~%[  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置,并点击Export导出加工数据  t9T3e  
    ;Yo9e~  
    WvSh i=  
    导出加工数据列表 5(e?,B }  
    Z)}q=NjA  
    Xvu|ss  
    E)z[@Np  
    导入加工数据 Pl^-]~  
    / !J1}S  
    1) 点击 ,新建一个LPD,在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件,以下简称SOI N5 ITb0Tv  
    bL*;6TzRK  
    6!P];3&o\A  
    2) 双击SOI,进入其编辑窗口,点击加载(Load) . +_IpygQ  
    P5M+usx  
    Vfew )]I  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) ER,,K._?B  
    'A@[a_  
    4) 点击编辑(Edit),进入取样光学界面编辑窗口,导入加工数据 KQ'fp:5|/@  
    k<W n  
    p_h)|*W{  
    \%\b* OO  
    nTrfbK@  
    b(&~f@% |  
    5) 打开文件夹中的.xml文件,导入加工文件 _\yrR.HIa  
    Y#'mALC2  
    qT]Bl+h2  
    6) 导入完成,观察3D视图 fq-$u;~h  
    G#n99X@-  
    N}{CL(xi  
    [?TQ!l}8A  
    OdX-.FFl  
    QQ:2987619807
     
    分享到
    离线wx349643041
    发帖
    10
    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 Bm%.f!`  
    离线无损的
    发帖
    5
    光币
    5
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导,非常感谢 2c fzLW(