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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    6358
    光币
    25935
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： E 1`TQA  
     EeR}34  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计；  :Y Ki  
     S J2l6  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 $Jo4n>/  
      tE#;$Ss  
    结构设计 kMx)G]  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 3yrb7Rn3  
     SLW|)Q24  
    mxE<  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 YsMM$rjP +  
     brX[-  
         bq2f?uD-}  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 Ms#rvn!J  
     A5T&i]  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 y_' 6bpb  
    @THa[|(S  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 <aLS4  
     $XI.`L *g  
    [MuZ^'dR  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 _=cU2  
    RGL2S]UFs  
    zI0d  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 |R2p^!m  
     l,*5*1lM  
    npd:aGx  
    _X|prIOb=  
    导出加工数据 J5(^VKj  
     f92z/5%V  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) {_mVfFG  
     '55G:r39  
    ]q~bi<E9W  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 /,_m\ JkwL  
     58d[>0Xa[g  
    tpb lm|sW  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 inFS99DKx  
           mPhu#oK'f  
    ):[}NDmC  
    &)jq3  
    5DDSo0E  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 \%7fm#z6  
    I(Z\$  
    QWnGolN  
    2]<.m]  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 :}yT?LIyP  
     Ta[\BWR2  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 Se_]=>WI  
    J?dLI_{ <  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 hbg$u$1`,  
    2kt0Rxg  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 x5CMP%}d  
    u>]3?ty`  
    tS>^x  
    导出加工数据列表 M\/hK2J# #  
     O ,9^R  
    @({=~ W^  
    gXlcB~!  
    导入加工数据 0-[naGz  
     ? 3OfiGX?  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI EK5$z>k>m  
     \+#EO%sN1%  
    b"Q8[k |d  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) tRpY+s~Fq  
     n0!2-Q5U)h  
    3C<G8*4);/  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) ,~=]3qmbR  
    2Kf/Id1  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 [@ev%x,  
     P1Z"}Qw  
    p20JU zy  
    ?].MnwYo  
    |?#JCG  
    e`S\-t?Z  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 M2-`p  
    4qz+cB_  
    \yu7,v  
    6) 导入完成，观察3D视图 D*Zj oU  
     l'/`2Y1  
    3i7EF.  
    FGx)?  
    rHTZM,zM=H  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 HoABo:  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
    3
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 10-14
    谢谢指导，非常感谢 le\-h'D  
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