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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： Yy@;U]R  
     }[SWt3qV1  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； mpIRe@#Z  
     ^8a,gA8.  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 &Ru|L.G`  
     50F6jj  
    结构设计 x~?,Wv|cm  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 |[)t4A"}  
     m>yk4@a  
    `_N8A A  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 lc,{0$ 1<  
     W7c(] tg.  
         ICN>8|O`&  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 7%c9 nY  
     By]XD~gcP  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 fILINW{Yk)  
    }5z6b>EI9a  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 H 0aDWFWS  
     ]8NNxaE3(  
    hc4<`W{  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 Xw(e@ :  
    mqrP0/sN  
    V7G?i\>  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 >k,bHGj?  
     tx;MH5s/V  
    Cg?D<l4  
    |"8Az0[!  
    导出加工数据 |FHeT*"  
     m"t\@f  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) B;r U  
     < N}UwB&  
    >pW8K[  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 ID & Iz  
     2`Ub;Nn29  
    /pan{.< k  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 E{[c8l2B  
           s^TF+d?B  
    T;XEU%:LK  
    bHH{bv~Z  
    CkE@ Ll3Z  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 TG8QT\0G  
    ^0_*AwIcN  
    }QU9+<Z[r  
    nyWA(%N1  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 %6j|/|#]  
     odMjxWY  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 &W:Wv,3  
    V@&zn8?  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 i[`nu#n/  
    7(rTGd0  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 >*(4evU  
    T8h.!Vef  
    O&.^67\|  
    导出加工数据列表 dd>|1'-]  
     |}b~ss^  
    )HNbWGu  
    zNofI$U  
    导入加工数据 wv>Pn0cO  
     7}(wEC  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI 0N$tSTo.-<  
     '}dlVf  
    A8&yB;T$y  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) M`Jj!  
     [wG?&l$.KB  
    $6}siU7s4  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) =B4U~|k  
    m8,P-m  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 D-\\L[  
     E]WammX c  
    GzWmXm  
    I~H:-"2  
    XL c&7  
    1fM= >Z  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 W-<E p<7{  
    ks< gSCB  
    %Ez%pT0TQ#  
    6) 导入完成，观察3D视图 e.hHpjWi?Z  
     uNZJNrV%  
    !;.i#c_u  
    xfCq;?MupW  
    hAi50q;z  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 YdX#`  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
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    光券
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    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 Bm2"} =  
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