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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    7052
    光币
    29405
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介：  ~C/KA6H  
     "PaGDhS  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； 0@lC5-=  
     7[BL 1HI*  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 ~C'nBV  
     Ts .Z l{B  
    结构设计 Ok&>[qu  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 hxVM]e[  
     oh~ vo!  
    4D$sFR|?t  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构  IB{ZE/   
     v8bl-9DQ  
         q_y,j&  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 ""3m!qn#  
     ~88 Tz+  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 I<./(X[H:#  
    4V|z)=)A  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 / 7XdV  
     t* vg]Yc  
    J xm9@,  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 k(z<Bm  
    Z,!Xxv;4  
    A;-z#R#V5  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 F[D0x26 ^  
     5A$az03y$\  
    H! r Kz  
    %;(|KrUN  
    导出加工数据 cJ##K/es  
     nP\V1pgA  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) Of7) A  
     `JWYPsWk  
    QHs:=i~VH  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 x*&&?nV Iz  
     {IPn\Bka  
    E`uaE=Mdq  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 _SIs19"lR  
           `)=A !x y  
    R g0 XW6  
    Uk *;C  
    )yNw2+ ~5  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 T]#,R|)d  
    %rDmW?T  
    Uty(sDtu  
    >!Ap/{2  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 {nPkb5xbW  
     RUk<=! U  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 `@$"L/AJ  
    Z0"&  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 4/2RfDp  
    L_U3*#Zdz7  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 I,<>%Z|'  
    Xh0wWU*  
    YR|(;B  
    导出加工数据列表 u1;e*ty  
     ]~\SR0  
    pcuMGo-#  
    uZ/7t(fy  
    导入加工数据 fmnRUN=  
     t?9 ;cS4  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI )7I.N]=  
     TDl!qp @  
    D]pK=247  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) jA-5X?!In  
     iM/*&O}  
    q: Bt]2x  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) MJ>Qq[0  
    P34LV+e  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 ^p"4)6p-W  
     J-, H6u  
    nb0 Py>4  
    y\)G7 (  
    eg$5z Z  
    vJTfo#C|  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 Y8J ;+h9  
    :7$\X[  
    t,=@hs hN  
    6) 导入完成，观察3D视图 wR Xn9  
     <+? Y   
    Jt-X mGULB  
    7 >PF~=  
    bmj8WZ  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 [2GXAvXsT  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
    5
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 -Bo86t)F  
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