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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    7172
    光币
    30001
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： Gt3V}"B3\  
     Mk Er|w'  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； ^$}9 Enj+Y  
     zxTcjC)y  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 BqC!78Y/e  
     Y?a*-"  
    结构设计 ,]+P#eXgE  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 nlOM4fJ(  
     BT.;l I  
    a{v1[i\  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 q\cH+n)C  
     OX d617  
         G1=GzAd$5  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 B"rnSui  
     8QDs4Bv|  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 ~za=yZo7(  
    O$%M.C'  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 [DpGL/Y.  
     AIgJ,=9K  
    r9McCebIW  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 QV,X> !Nz  
    >qk[/\^O  
    YNyaz\L  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 i`U:uwW`  
     ACm9H9:Vd  
    azF|L"-RP  
    ofH=h  
    导出加工数据 A{3Aw|;  
     _:DnF  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) yr?*{;  
     q<Gn@xc'  
    \n$s5i-  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 #-*7<wN   
     $fES06%  
    &/R`\(hEA  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 qKNX^n;  
           cVya~ *  
    c@;$6WSG^  
    wTb7 xBI  
    H'7AIY }  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 HxCq6Y_m<  
    t>.1,'zb  
    Ww-%s9N<  
    :ZG^`H/X1d  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 f'P}]_3(  
     AT Dm$ *  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 '?7th>pC  
    m}/LMY  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 {,EOSta  
    $.{CA-~%[  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据  t9T3e  
    ;Yo9e~  
    WvSh i=  
    导出加工数据列表 5(e?,B }  
     Z)}q=NjA  
    Xvu|ss  
    E)z[@Np  
    导入加工数据 Pl^-]~  
     / !J1}S  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI N5 ITb0Tv  
     bL*;6TzRK  
    6!P];3&o\A  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) . +_IpygQ  
     P5M+usx  
    Vfew )]I  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) ER,,K._?B  
    'A@[a_  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 KQ'fp:5|/@  
     k<W n  
    p_h)|*W{  
    \%\b* OO  
    nTrfbK@  
    b(&~f@% |  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 _\yrR.HIa  
    Y#'mALC2  
    qT]Bl+h2  
    6) 导入完成，观察3D视图 fq-$u;~h  
     G#n99X@-  
    N}{CL(xi  
    [?TQ!l}8A  
    OdX-.FFl  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 Bm%.f!`  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
    5
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 2c fzLW(  
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