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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    5797
    光币
    23137
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： j\uZo.Ot+  
     zIc6L3w$  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； TNu% _ 34  
     q%3VcR$J  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。  /~"-q  
     n_QuuUB  
    结构设计 3qWrSziD  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 %xgP*%Sv2  
     Za@\=}Tt  
    =D(a~8&,  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 mI lg=8:  
     KMhrw s{&B  
         7F"ljkN1S  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 ().C  
     Ab$E@H #  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 c&D+=   
    Y9abRr K  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 cj>@Jx}]M  
     Sm/8VSY  
    X_PzK'#m  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 Ijh RSrCv  
    ]TrJ*~  
    3U6QYD55]]  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 /E6)>y66  
     11PL1zzH  
    1RkN^FZOxq  
    %`~4rf"7  
    导出加工数据 u$w.'lK  
     w hI4@#  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) L91(|gQP  
     sX?arI=_U  
    ih kZs3}  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 .\ bJ,of9  
     IR/S`HD_  
    IsE&k2 SD  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 ~criZI/  
           O!Ue0\1Kj0  
    Yyk~!G/@  
    3n2^;b/]  
    mLq0;uGL|  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 GVT 6cR  
    6Emn@Mn=  
    k2Q[v  
    Pr>$m{ Z  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 !d##q)D f?  
     #7fOH U8v  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 51}C`j|V3{  
    -dMH>e0  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 wW TuEM  
    @#wG)TA  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 !jP[=  
    8h ol4'B  
    r%: :q^b3  
    导出加工数据列表 }ll&EB  
     }5EH67  
    A7QT4h&6  
    6X ]I`e  
    导入加工数据 #W:.Fsq  
     ~ &/Nl_#  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI nR%w5oe  
     2 zo>`;l  
    \1R*M  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) 8?~>FLWTXZ  
     ''2:ZXX  
    b?k,_; \  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) j\#)'>"  
    .==c~>N  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 E=.J*7  
     HmXxM:[4;  
    OfLj 4H 6Q  
    1xxTI{'g[  
    F, =WfM\  
    *4 m]UK  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 e23&d  
    :4:U\k;QwA  
    Mf5kknYuL9  
    6) 导入完成，观察3D视图 _576Qa'rm  
     "<oR.f=0  
    c7rC!v  
    TPJuS)TU9  
    5G<`c  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 r*7J#M /  
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