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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    6922
    光币
    28760
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： ~zVe?(W  
     lv+: `   
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； V=8npz   
     k106fT]eX  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 %!8w)1U  
     9+ |W;  
    结构设计 NDJP`FI  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 O`T_'.Lk  
     |XV`A)=f  
    @r(3   
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 $:&b5=i  
     \i\>$'f*z  
         Q 7\j:.  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 Q:Ma3El\  
     tlB -s;  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 a'r1or4  
    i*@ZIw  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 N%%trlDXD  
     PcI~,e%  
    z m]R76  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 q/ (h{cq  
    N 6> rU  
    (-`PO]e48  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 %evtIU<h  
     ! Y&]Y G  
    HDaeJk  
    trB-(B%5  
    导出加工数据 3*\hGt,ZP  
     &h_Y?5kK  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) b_7LSp  
     `I(ap{  
    n)\(\V7  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 HZ1nuA  
     9$D}j"  
    g:@4/+TSt  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 bh#6yvpMR  
           &WOm[]Q4  
    *\cU}qjk  
    ?bg /%o  
    &3 Ki  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 #Nad1C/]  
    <$d2m6J  
    {?"X\5n0  
    <":83RCS  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 T Qx<lw  
     I!SIy&=W  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 ]9c{qm}y  
    G~ LQM  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 /a)^)  
    kDxI7$]E  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 Q2:r WE{K!  
    k'+y  
     $&1Dl  
    导出加工数据列表 Qvel#*-4  
     L\5:od[EP  
    h:sf?X[  
    5NhAb$q2Y  
    导入加工数据 S9ic4rcd  
     .v+ W>  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI o6:bmKWE  
     yu&muCA  
    s^4wn:*$zd  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) o*2Mjd]r  
     (44L8)I.D  
    ` N R,8F  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) S%B56|'  
    4'`H H  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 E9Dy)f]#W  
     E1dhj3+3  
    XsDZ<j%x89  
    94|ZY}8|f  
    d$xvM  
    hJ8% r_  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 eVB43]g  
    F!Cn'*  
    Bj9FSKiH  
    6) 导入完成，观察3D视图 [2>zaag  
     (I(U23A~  
    MPn/"Fij$  
    EyA(W;r.  
    )?$@cvf  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 }NRt:JC  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
    5
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 2 e#"JZ=  
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