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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    6243
    光币
    25360
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： d[h=<?E5  
     |}77'w :  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； qg j;E=7  
     Idu'+O4  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 0Y0z7A:  
     t]sk[  
    结构设计 s {*rBX8N  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 p!E*A NwX  
     C,ldi"|  
    k'X"jon  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 *=md!^x`  
     "S@]yL  
         ~&,S xQT  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 c @lF*"4  
     yTc&C)Jba  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 P=_W{6  
    #x;d+Q@  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 -R9{Ak  
     P/S,dhs(  
    VaonG]Ues  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 G~zfPBN0D  
     zW?=^bE  
    KsTE)@ F:  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 IM,d6lN6s  
     U+-;(Fh~  
    \"I418T K  
    ZRGe$HaU  
    导出加工数据 (Ms0pm-#t  
     p=[I;U-#H  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) OgK' ~j  
     PTQN.[bBh  
    `/G9*tIR8g  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 )*}?EI4.  
     >2'A~?%  
    U $=Z`^<  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 : t D`e<  
           P#:nXc$  
    Ln4Dq[M  
    a!j{A?7Kw.  
    %4wHiCOg  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 'O 7>w%#  
    $m-@ICG#  
    Rd@?2)Xm  
    7Zft]C?|@  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 LmKY$~5P  
     bz`rSp8h  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 /RF&@NJE5  
    d(vt0  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 ~'Korxa  
    ) '/xNR  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 ,y)V5 c1  
    =s:Z-*vy!  
    0|mC k  
    导出加工数据列表 Q^'xVS_.  
     cmp@Ow"c  
    fKkS_c 2  
    .aC/ g?U  
    导入加工数据 7\i> >  
     -{p~sRc&  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI As|e=ut(  
     %\1W0%w  
    }n k [WW  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) 1 l-Y)   
     r rs0|=  
    }Rq{9j,%  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) % 3<7HY]~  
    *dx E (dP  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 To,*H OP  
     +DYsBCVbag  
    Eo0/cln|  
    =A_fL{ SM  
    G^le91$  
    x-~=@oiv  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 -o@L"C>   
    Lv<vMIr  
    |Zdl[|kX  
    6) 导入完成，观察3D视图 HnKXO  
     yKC1h`2  
    #@P0i^pFTB  
    #cqI0ny?G  
    c6VyF=2q  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 PJ^qE| X  
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