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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    5797
    光币
    23137
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： )?y${T   
     $Iz*W]B!  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； '< =77yDg  
     {3Y R_^>?  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 7! sR%h5p  
     ly9tI-E  
    结构设计 `@3{}  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 a=_:`S]}  
     xTnFJ$RK2  
    nQ+$  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 3kz O VZ  
     I_k/lwBD  
         9z#z9|hj)3  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 @oKW$\  
     GHWt3K:*w  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 >Py :9~g,  
    + *)Kyk  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 D]=V6l=  
     [zJ|61^  
    `;Od0uh  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 qx5jaa3  
    w!_6*  
    -JfqY?Ue_2  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 N(J'h$E  
     #J'V,_ wH  
    ]xxE_B7  
    PiIP%$72O  
    导出加工数据 Og-v][  
     2WUl8?f2Y  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) oM^VtH=>  
     .^xQtnq  
    U! $/'Xi9  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 PR3i}y>  
     J?Bj=b  
    M{t/B-'4  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 NOSL b];  
           }ijFvIHV  
    oD3]2o/  
    cO8yu`4!e  
    eGW h]%  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 /$d #9Uv  
    9 K>~9Za  
    G:!3X)b  
    #AH gY.  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 f5z*AeI  
     U!jRF  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 fQxlYD'peb  
    X`C ozyYuD  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 *P\OP'o_  
    emHaZhh  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 /%F5u}eW  
    j9/hZqo  
    h AJ^(|  
    导出加工数据列表 A;TNR  
     ]u.)6{  
    UNA!vzOb  
    -I:L6ft8  
    导入加工数据 \I7&F82e  
     I@kMM12>c  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI ZEB,Q~  
     Jq:Wt+a  
    `j4OKZ  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) [U,hb1Wi3  
     2;7n0LOs}  
    -sx=1+\nf  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) jA3xDbM  
    ] u\-_PP  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 lvG+9e3+  
     I K,aA;d  
    })?KpYk  
    Z*Fn2I4  
    Ny$N5/b!!  
    +.a->SZ5"  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 `^ )oVs  
    8aY}b($*ZI  
    $e%m=@ga  
    6) 导入完成，观察3D视图 8#|PJc  
     L4<=,}KS  
    =.IAd< C  
    ^qtJcMK+hq  
    b~;M&Y  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 |iVw7M:  
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