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    • Zemax光学设计从入门到精通 光学设计仿真实验指导 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    6655
    光币
    27424
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： e''Wm.>g(+  
     /%N~$ &wW  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； }fxH>79g  
     %}&9[#  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 PsD]gN5"  
     :Ws3+OI'm3  
    结构设计 t,P +~ A  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 /L[:C=u  
     C{S6Ri  
    IPE(  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 CUw 9aH  
     I`KN8ll  
         eS Fmx  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 IWpUbD|kC  
     E3KPJ`=!*"  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 S"Zs'7dy`  
    ZNA?`Z)f  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 h; unbz  
     Ox43(S0~  
    qx? lCz a"  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 ? 8!N{NV  
    x[oYN9O  
     y.eBFf  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 B'0Il"g'  
     n2O7n @8  
    }&naP   
    cE]kI,Fw,M  
    导出加工数据 y! 1NS  
     < ?nr"V  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) mg;AcAS.o,  
     +yea}uUE  
    9_/1TjrDN  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 n<$I,IRE  
     JT-Zo OZ  
    p_(hM&>C  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 ?^+|V,<  
           BPOWo8TqD^  
    [E/3&3  
    U)o8Tr  
    (6+0U1[Iz  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 ^~I  
    Fu><lN7  
    tr}$82Po  
    V)Xcn'h  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 .lnD]Q  
     Te13Af~  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 V!=]a^]:  
    C|JWom\J  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 1|89-Ii]  
    Z n!SHj  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 ljCgIfZ_4  
    0nuFWV  
    [6tQv<}^  
    导出加工数据列表 Aws TDM  
     O#|E7;  
    m1hf[cg  
    ;g*6NzdA  
    导入加工数据 Vqr&)i"b$  
     j?(QieBH  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI ~!OjdE!u  
     -|kDa1knA  
    f<'C<xnf  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) G#*;3X$  
     ;vx9xs?6  
    _ Owz%  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) J5"*OH:f  
    S'e2~-p0F  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 1&<@(S<  
     V+q RDQ  
    re*/JkDq3K  
    l]Sui_+ZU  
    hg~fFj3ST  
    `xr%LsNn  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 fYi!Z/Ck2  
    3PGyqt(   
    U8mu<)  
    6) 导入完成，观察3D视图  ]gW J,  
     V_kE"W)  
    !ZZAI_N  
    -iHhpD9"X  
    2o/`8+eJu  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 / ["T#`  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
    5
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 s|'L0` <B  
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