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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    7172
    光币
    30001
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： F0m-23[H  
     OW&!at  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； 1>.Ev,X+e  
     vJLK,[  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 8$] 1M,$r  
     O"+ gQXe  
    结构设计 bS{bkE>  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 _kC-dEGf!y  
     w$>u b@=  
    FBG4pb9=~  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 av(6wht8  
     !@5 9)  
         m%0p\Y-/  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 44J]I\+  
     ynp8r f  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 ,10=  
    8u"U1  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 V_)-#=J  
     ,S\CC{!  
    !OZy7  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 O4 w(T  
    1l9 G[o *  
    IM*y|UHt  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 D=TvYe  
     2bz2KB5>  
    V(}:=eK  
    PhLn8jNti  
    导出加工数据 &*o=I|pQ  
     y4yhF8E>;U  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) HH`'*$]7  
     {.`vs;U  
    )w em|:H  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 "%)qRe  
     SV4E0c>  
    Z<oaK  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 b\f O8{k  
           5; C|  
    ]dVGUG8  
    \eTwXe]Pv  
    0^ _uV9r  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 0J*??g-n  
    t[HE6ea  
    /|w6:;$;mn  
    $B+8Of  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 x%=si[P  
     +:2klJ  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 rE7G{WII  
     y`iBFC;_  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 4IK( 7  
    /A\8 mL8  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 BkAm/R  
    {L971W_L  
    U)TUOwF  
    导出加工数据列表 g @Z))M+  
     Q>qUk@  
    te`$%NRl  
    J`Q>3] wL  
    导入加工数据 &N9 a<w8+  
     Y;eZ9|Ht9  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI ^S<Y>Nm]  
     u2 I*-K  
    Oamg]ST  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) D>r&}6<  
     Z3e| UAif  
    >~rTqtKd  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) "V7K SO  
    >h1}~jW+  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 ZgJQ?S$D  
     <V'@ks%  
    T.F!+  
    5<k"K^0QS  
    yf)%%&  
    yF:1( 4  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 T~?Ff|qFC  
    P{`C^W$J^  
    ]]![EHi(\  
    6) 导入完成，观察3D视图 g'f@H-KCD  
     @u+]aI!`-  
    <{p4V|:  
    YDsb3X<0'  
    ^6x%*/l|  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 Kn{4;Xk\  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
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    光券
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    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 *Q.>-J<S  
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