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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介: j@Y'>3  
    1t<  nm)  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计; ^y<8 &ZFH  
    .dTXC'  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 =~ [RG  
    \jHIjFwQ  
    结构设计 oS#PBql4  
    1) 点击 ,打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 +`l)W`zX  
    I|vfxf  
    D> EN:_v  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布,默认为振幅视图. 点击,将默认的振幅视图转换为相位视图,点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 \??20iz  
    y.Y;<UGu  
         HAdDr!/`  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 O("13cU  
    O7# 8g$ZIv  
    目标(Target)标签,可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 bSj-xxB]e  
    =.ReM_.  
    光学设置(Optical Setup)标签,在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate),并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium),同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长(Wavelength)。 DW0N}>Gp*  
    Oe"nNvu/  
    vMeB2r<  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签,在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None),以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面,并选择像素化的高度轮廓(最临近点插值)[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 9oTtH7%  
    k8E{pc6;  
    ';KWHk8C  
    4) 完成结构设计,在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 .0?A0D?sP  
    >Q[3t79^  
    H_>9'(  
    a9g~(#?a  
    导出加工数据 L-1#n  
    /|>?!;   
    1) 在LPD中双击生成的元件,可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component,简称DIC)的形式保存的,而高度轮廓以取样光学界面(Sampled interface)的形式保存,点击编辑(Edit) g<g$c<sm  
    g+3_ $qIQ+  
    ErxvGB(2  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口,在结构(Structure)标签上,选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值,并进行3D预览 7[ZoUWx  
    =buarxk  
    7\[)5j  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中,点击鼠标右键,选择精度(Accuracy),将界面取样精度设置为5,提高取样光学界面的显示精度 rr]-$]Q  
           3@wio[  
    |o<c`:;kt  
    (Rh$0^)A  
    vOo-jUKs  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签,将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8,通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 qW`DCZu  
    jM: |%o  
    PFjh]/=  
    %#TAz7  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 17#t7Yk  
    p# JPLCs  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 S4VM(~,o  
    kQD~v+u{`  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 -+[~eqRB  
    [*1:?mD$  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置,并点击Export导出加工数据 zMh`Uqid  
    |_OoD9,M  
    ~d-Q3n?zR  
    导出加工数据列表 j{YIVX  
    <[vsGUbc  
    |h & q  
    YmD~&J  
    导入加工数据 /9o6R:B  
    }=A+W2D  
    1) 点击 ,新建一个LPD,在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件,以下简称SOI 08/Tk+  
    jT`u!CwdT  
    ; W$.>*O  
    2) 双击SOI,进入其编辑窗口,点击加载(Load) ?}HZJ@:lB  
    `yh][gqVE~  
    Zt}b}Bz  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) r`i.h ^2De  
    'p)DJUwt  
    4) 点击编辑(Edit),进入取样光学界面编辑窗口,导入加工数据 f8-~&N/_R  
    uK0L>  
    S<z8  
    qB+OxyT&  
    l!": s:/'  
    loUZD=Ph  
    5) 打开文件夹中的.xml文件,导入加工文件 (:R5"|]@<x  
    {\X$vaF  
    sGE %zCB  
    6) 导入完成,观察3D视图 _-2;!L#/  
    8:2Vib$  
    }?MbU6"  
    1GPBqF  
    :w)9 (5  
    QQ:2987619807
     
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    离线wx349643041
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 ;f=.SJF  
    离线无损的
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    光券
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    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导,非常感谢 h"'}Z^