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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： U 9 k}y  
     5?I]\Tb  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； bC@b9opD  
     YWdlE7 y  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 Hv IN'  
     je{5iIr3/  
    结构设计 67sb D<r  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 \NSwoP  
     >i ~zG6H  
    @'U4-x  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 <w:fR|O  
     /y-P) 3_  
         o1g[(zky  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 ~&q e"0  
     [ z&y]~  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 ahf$#UQLb  
    P]x@h  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 =AAH}  
     9c?izpA  
    P$oa6`%l  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 >AfJxdd1  
    ^wHO!$  
    3)eeUO+  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 K:{Q~+   
     \e?T 9c6,  
    zzx4;C",u  
    Gs9jX/ #  
    导出加工数据 dGfWRqS]  
     Fd 91Y  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) E7D^6G&i  
     ZcQm(my  
    npe*A  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 C[s*Na-  
     8q0 .yhb  
    k |Lm;g  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 VEn%_9(]  
           H _2hr[  
    Gm%[@7-  
    #z~oc^J^T  
    *%8us~w5/  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 qI"mW@G~H  
     OkQSqL  
    q\/|nZO4  
    <)&ykcB  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 h'}5 "m  
     uu/M XID  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 }s|v-gRM{  
    )I <.DN&  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 T]myhNk  
    n}+ DO6J  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 '(Bs<)(H  
    7+fik0F  
    '2vlfQ@8a~  
    导出加工数据列表 WGO=@jkf  
     COT;KC6 n  
    ewLr+8  
    *rbH|o8  
    导入加工数据 qzLRA.#f^  
     F0yh7MItV  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI H;CGLis  
     _Nj;Ni2rD  
    2#&K3v  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) " c]Mz&z  
     2D!'7ZD  
    FxUH ?%w  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) B845BSmh  
    |fA[s7)  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 s810714  
     AV'>  
    tQ/w\6{  
    Uarb [4OZ  
    CeZ5Ti?F  
    JE j+>  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 l|&nGCW  
    >Kr,(8rA  
    ecF I"g  
    6) 导入完成，观察3D视图 *<UQ/)\  
     ]EK"AuEz`  
    @#V{@@3$  
    Qj=l OhM  
    &3JbAJ|;X  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 mg;qG@?  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
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    光券
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    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 u'N'<(\k  
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