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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    5937
    光币
    23838
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： +oa]v1/W  
     _nt%&f  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； 3 ren1   
     +}!eAMQ  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 VI4d/2e  
     i8]r }a  
    结构设计 ~tWBCq 6  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 POf \l  
     l d@^ $  
    dK-G%5)r  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 aVlHY E  
     pfG:P rZ  
         {+ m)*3~w  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 .T7ciD  
     "v06F j>q  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 K{c^.&6D  
    )xeVoAg  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 #KwFrlZ  
     kF5}S8B  
    n\ZFPXP  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 Qj~0vx!  
    9f "*O j  
    +RM3EvglDQ  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 X*sF-T$.  
     qy !G&  
    al2v1.Y}  
    )\e_I\-  
    导出加工数据 =F`h2A;a  
     3+Q6<MS q  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) {|fA{ Q_R  
     1Dbe0u  
    c}Qc2D3*  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 *?uF&( 0  
     F"q3p4-<>  
    /xmd]XM=_  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 1osI~oNZ  
           ?;$g,2n  
    @U&|38  
    b x@CzXre;  
    i55']7+0  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 oyHjdPdY#  
    m'S-h'a  
    Y3thW@mD05  
    A4# m&o  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 NzEuiI}  
     Nb$)YMbA  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 rnW i<Se  
    7S Qu  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 wiutUb Y  
    i,~{{XS<  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 Q|0[B4e^:  
    FGZOn5U6'  
    -0W;b"]+A  
    导出加工数据列表 ,+JAwII>O  
     }SYvGp{J,  
    qn<~ LxQ  
    /5o~$S  
    导入加工数据 ,0~'#x>  
     cgU7)`0j  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI shi#K<gVC  
     6L2.88 i  
    zRz3ot,|  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) uv@4/M`  
     ]-O:|q>]  
    EZ$m4: {e  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) SDot0`s>  
    K <0ItN v  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 Q%85,L^U  
     -O ej6sILO  
    E;+3VJ+F"  
    mtHw!*  
    C9~CP8  
    Kj'uTEM  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 3c6#?<%0`  
    ~O<Bs{8  
    ,fL*yn  
    6) 导入完成，观察3D视图 n\d-^ml  
     2cww7z/B  
    TEY%OI zU+  
    )O_Y(^+ $  
    E")82I  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 b^rPw@  
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