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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    6243
    光币
    25360
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： T@GR Tg  
     R/yOy ^<  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； Qe~2'Hw#9  
     'k9?n)<DW  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 *L%i-Wg"  
     .45XS>=z#  
    结构设计 f[@M  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 ~okIiC]#  
     t*fG;YOg  
    `VT0wAe2;  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 $jd>=TU|  
     NMSpi[dr  
         ZU vA`   
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 A/ eZ!"Y  
     i w,F)O  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 NZ\aK}?~!  
    j15TavjGh  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 kXj%thDx  
     FmALmS  
    8Ee bWs*1  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 /12D >OK  
    "CEy r0h  
    bb6 ~H  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 /S]W< 8d  
     ez2 gy"  
    ,_66U;T  
    Tl#Jf3XY}  
    导出加工数据 +s6 wF{  
     1MtvnPY  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) -DO*,Eecv  
     7k<4/|CQ{  
    vT<q zN  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 zS Yh ?NB5  
     ZCQ7xQD  
    JJnZbJti  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 D_6GzgZ  
           lu^ c^p;  
    +uF!.!}  
    E"Z9 NDgl#  
    9T47U; _)  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 @jW_ r j:<  
    _tfZg /+)  
    d[.kGytUt  
    >4:W:;R  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 r)|X?   
     ]P TTI\n  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 ,L+tm>I  
    #@,39!;,:O  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 I/bED~Z:a  
    R v9?<]  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 khl(9R4a  
    oZ1#.o{  
    r}i<cyL  
    导出加工数据列表 >4a@rT/  
     \s2hep  
    D4yJ:ATO&  
    [y y D-  
    导入加工数据 TB] %?L:  
     JMu|$"o&{  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI L<>;E  
     'sJ=h0d_[V  
    1<]g7W  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) Wh%qvV6]  
     y D.S"  
    \5^#5_<  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) %T*lcg  
    pb`F_->uq  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 sk~rjH]-g$  
     nnmn@t(%r  
    uROt h_/  
    Q>nq~#3?  
    %3'4QmpR  
    eL9 RrSXz  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 @<--5HbX  
    TX]4Y953D  
    0SV#M6`GX  
    6) 导入完成，观察3D视图 :g3n [7wR  
     ;C%40;Q  
    SMaC{RPQ  
    \)VV6'zih  
    AiSO|!<.N  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 / Dj6Bj }  
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