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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 =`C K` x uI9 +@oV 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） z-sq9Qp&x 9d=\BBNZ 所需工具：Grating Toolbox Basic \-[ >bsg a6It1%a+ 相关Tutorials：G.001; G.014 4 V
mUTMY 建模任务 * {p:C [`bK {Dq2 理想平面波照射 "kI lxf3 :ee vc7 q$ j  N\?__WlBK7 OKu~Nb* $d.Dk4.ed 镀膜倾斜光栅 N{M25ucAHl 目标平面 iVmy|ewd qc3,/JO1 周期：10um ?T|0"|\" ' 厚度：10um 66_=bd(9 倾斜角度：20度 @2_ E9{ T K]dR %j 光栅的参数 REsw=P!b _?I*::
I —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 ~9;udBfwF qIh9? |`U —填充因子 2—后面的介质 <w?k<%( 4 —膜层厚度 3—膜层材料 M}=>~T A@ —光栅厚度 3+iryW(\ RfCu5 Kn l=$?#^^ /  yGX5\PSo
|BD2=7,z TDy$Mv=y 设置层数和转折点 2 zX9c<S=5 U for> ^B7Ls{  2 设置层数和转折点以确定膜层 l%2 gM7WMY hyhm{RC?[ \uJ+~db= 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 # |OA>[ 2{oQ Cyo:Da
A 实现可编程光栅 6/" #pe^ j| XL$Q <P]%{msGH  | U $ "GI
|PGT P#O< 2gEF$?+q? 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） h o^jmp  'tX}6wurf KYz@H#M 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） &!wtH xNLgcb@v> p+7#`iICE |nqN95'u+]  <B @z>V M<Dvh y[ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） qT#NS&T!-  7>AM zNj Ev3,p`zS._ 2 双击Data Series Diagram pP#|: % q_"w,28 采样结果 J(P'!#z^  5%@~"YCo
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. =hI;5KF >?ec"P%vS/
QQ：2987619807
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