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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 1c3TN#|)W D']ZlB 'K 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） [ U}+sTQ bfB\h *XO 所需工具：Grating Toolbox Basic $vHU$lZ/W ?88[|;b3 相关Tutorials：G.001; G.014 {Q+gZcu 建模任务 LmlXMia sK{l 9 理想平面波照射 D3|oOOoG A(?\>X
9g JdIlWJY  4h@Z/G!T3 P\8@g U!uk &_J D)mM5 镀膜倾斜光栅 k(zsm"<q 目标平面 <;E S3L~~X/= 周期：10um ;a-$D]Db 厚度：10um 5H=ko8fZ= 倾斜角度：20度 KD/V aN [V 4 {c@ 光栅的参数 : ^ 8 MCU_Z[N#10 —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 SyAvKd`g UzXE_ S —填充因子 2—后面的介质 ;' 81jbh —膜层厚度 3—膜层材料 h~C.VJWl —光栅厚度 +C1QY'>I lKEk XO Hm+O Dv9  !"e5~7
{R/C0-Q^^ ,K:ll4{b 设置层数和转折点 Vmzb ZTup yLsz8j-QJ =6aS&B(SN  2 设置层数和转折点以确定膜层 P"<U6zM\sP 9f\/\L &$`yo` 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 <hwy*uBrD ]xguBh ] @ym/2 7cRE 实现可编程光栅 s7oT G! b T
2a40ul upeU52@\  6U^\{<h_c
zG e'*Qei >vuY+o;B 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） _|"Y]:j_  #2`D`>7456 R\XKMF3mN3 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） .S(,o. l4TpH|k 8foJ I^3 OgF+O S  ['%69dPh ~4?9a(>3 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） !"+'A)Nve  V7TVt,-3 e@ {i 2 双击Data Series Diagram : >itXD! <cA/<3k) 采样结果 >Z1q j>  P>9a I/d9
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. [! %
