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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 D[4%CQ1m
GB,ub*| 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） Yu9VtC1 0wAB;|~*62 所需工具：Grating Toolbox Basic `G=+qti ==trl#kQ%% 相关Tutorials：G.001; G.014 *z0 R f; 建模任务 %/ :&L+q -lXQQ#V
- 理想平面波照射 muKu@nshL %4BQY>O)@ +U?73cYN
 ]I]G3 e /UaQ 2 h\ j)Z0K$z= 镀膜倾斜光栅 K1-RJj\L 目标平面 . k#O[^~] dKL9}:oUa 周期：10um 6j|~oMYP 厚度：10um 1&Ma`M(' 倾斜角度：20度 K7/&~;ZwT q6x}\$mL 光栅的参数 i TF%}( >
kwhZ/ x —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 )QmmI[,tq |:u5R% —填充因子 2—后面的介质 g;:3I\ L —膜层厚度 3—膜层材料 4#I=n~8a —光栅厚度 #G\-ftA & ?zVcP=p@ wzZ]|
C(vp  C;9P6^Oz
> :0N)Pj n*G!=l Mji 设置层数和转折点 r]k ks_!Z f/Z-dM\e *Tmqs@L  2 设置层数和转折点以确定膜层 TP Y&O{ q 0/cgOP!^ !A14\ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 kHQn' r 6 5bol)Z9BO ol`q7i. 实现可编程光栅 Upm#:i|" !L_xcov!Y #}8V UbJ  7JY9#+?p>
|@?='E?h "'>fTk_ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） g1B P  ]]5(:>l `G>|g^6%i 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ") fgQ3XZ a &`^M SO~pe$c- m
7+=w>o  `2xt %kC >as+#rz1p 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） Aiqb*v$  Q0 xQx z h^J :k 2 双击Data Series Diagram 4dh> B>Q q@4Cw&AI+ 采样结果 zD
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可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. )F0Q2P1I J,=^'K(
QQ：2987619807
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