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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 1W{t?1[s q'`LwAU} 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） vFi+ExBU X 3(*bj>P 所需工具：Grating Toolbox Basic azl!#% x+W,P 相关Tutorials：G.001; G.014 |) CfO 4 建模任务 VB}^&{t)! }k_'a^;C1 理想平面波照射 >]ZW.? 1h X`fer%` G@o\D-$  ]eo%eaA W]M Fq5. B <&g 镀膜倾斜光栅 }KR"0G[f 目标平面 G/yYIs D[3QQT7c 周期：10um %ZGG6Xgw 厚度：10um B$_-1^L
e 倾斜角度：20度 `"y:/F"{ gh.+}8= " 光栅的参数 y`J8hawp B1b9
JS(> —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 |eP5iy wg
V6fJaZ —填充因子 2—后面的介质 h<bCm`qj —膜层厚度 3—膜层材料 ] +T$ D —光栅厚度 )Qh*@ =$- m Q^SpK # q;QE(}.g  o8N,mGj}
nt*K@ TPNKvv!s 设置层数和转折点 _tpOVw4I G@scz!Nt Sgn<=8,6c  2 设置层数和转折点以确定膜层 H}g p`YW:4 ;1q|SmF _a zJ> 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 G$;cA:p-j \hg%J/ &A~hM[- 实现可编程光栅 O[ F W:O p\ M# cJ&+rP  "pc
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6bT>x5? TEi1,yc 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） | cL,$G  zEYQZy w c 0N_u6*@ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） =4gPo S xMFEeSzl>S =Jswd Gyb| {G_  ~ "r(PCa@ $>rKm
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 3zMaHh)mj  H/ar: j I/go$@E" 2 双击Data Series Diagram ^ LVKXr %]N|?9L"= 采样结果 r(JP&
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可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. Jth U' "K ,@\z{}~v
QQ：2987619807
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