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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 8{G!OBxc\. larv6ncV 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） _R ii19k t `K9K"|k 所需工具：Grating Toolbox Basic ZR}v_]l^ et
1HbX 相关Tutorials：G.001; G.014 G7 UUx+ X 建模任务 <J;O$S kT@ITA22 理想平面波照射 <=7nTcO~ V AL?
Z #AGO~#aK  =Q_1Mr4O iP(MDVg lKe jWT`; 镀膜倾斜光栅 3 Hr G^/ 目标平面 ,zoHmV1Wd+ aze#Cn,P} 周期：10um 9A.NM+u7 厚度：10um n>v 1<^ 倾斜角度：20度 FFw(`[A_ . :j{d} p} 光栅的参数 K]m#~J3d> -w"I —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 6)^*DJy H2j ypVs$2 —填充因子 2—后面的介质 B9"o Ru^} —膜层厚度 3—膜层材料 v"1&xe^4 —光栅厚度 u*
pQVU t08U9`w ([q>.[WbH]  oYw?kxR Z
<9pI ~\@w %6cr4}Zm} 设置层数和转折点 h~#F2#. bW
W!,-|R w]g Ld  2 设置层数和转折点以确定膜层 O<s7VHj 7-B|B{] h/\v+xiF 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 pA .orx ^N<aHFF [s^p P2 实现可编程光栅 wetu. aMp lD$s, hp @M\JzV4 A[  Jzf+"%lv
[ 6VM4l" -"xAeI1 + 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） EN`JzL jP  \xS X '/G `S((F|Ty=; 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） .'M.yE~5J 2Di~}* 9& xCL)<8[R,} YTTy6*\,_  s>G6/TTH6 g=D]=& H 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） "-S!^h/v  *=@8t^fa86 ek)rsxf1A 2 双击Data Series Diagram w31 O~Ve G:b6Wf 采样结果 vh O h3  D?E
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可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. EO+Ix7w FiQ&g*=|
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