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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 3ZC[H'| 1w35 H9\g 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） rZ^ DiFR b
afYjF< 3 所需工具：Grating Toolbox Basic g B?#T [
%r :V" 相关Tutorials：G.001; G.014 !X8:#a ( 建模任务 K'y;j~`- ~$+9L2gz 理想平面波照射 1A zigd0% (CEJg|, nF05p2Mh  <pz;G} ?QZ\KY ~v2_vEu}JX 镀膜倾斜光栅 fAJQ8nb{@] 目标平面 a(bgPkPP NoV2<m$ 周期：10um @ %kCe>r 厚度：10um WPL Ah_fe 倾斜角度：20度 C:W}hA! #;H+Kb5O 光栅的参数 ;/$zBr`' P#6y —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 TR]~r2z eEXer>Rm
—填充因子 2—后面的介质 S. BM/M —膜层厚度 3—膜层材料 J-hP4t&x —光栅厚度 @2]_jW ( @mvNlc: cs,%Zk.xjw  1)vdM(y3j
kp cIU7|e Rm{S, 设置层数和转折点 2?# IwT' 90&ld :97 e!Y:UB2
7u  2 设置层数和转折点以确定膜层 }_Jr[iaB @M S;qoc <Jv %}r 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 g*TAaUs|n Av]<[ F/ l}># p'$ 实现可编程光栅 pl%3RVpoc 1W;q(#q )EcE{!H6+  +-1t]`9k4
/X {:~*.z t L}i%7 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） H0_hQ:K  kT t;3 I a dr'# 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） y7txIe!<5 22)2o lU UF3WpA $d'GCzYvZ  (%D*S_m' +eg$Z]Lht 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） |]w0ytL>(2  y4^6I$M7V qQv?J]l 2 双击Data Series Diagram TU&gj1 T}jryN;J5 采样结果 ppP7jiGo  <p;cR` %uE
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. ;Z\ jX[H !c(B c^
QQ：2987619807
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