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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 B>, O@og W|_^Oe< 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) ^ mbpt`@ #w3cImgp2 所需工具:Grating Toolbox Basic )N!-g47o%# g+Z~"O]$M 相关Tutorials:G.001; G.014 d6ZJh xJ 建模任务 2aiZ :=u Ku'~ 理想平面波照射 Qzbelt@Wx
KTX;x2r >(Mu9ie*` )*_4=-8H ).HYW _Yih _:4n&1{.E 镀膜倾斜光栅 D^1H(y2zp 目标平面 :|i jCg+ w@U`@})r. 周期:10um :_F$e 厚度:10um |,k,X}gP 倾斜角度:20度 u`Kjs}F' zRDBl02v$T 光栅的参数 n~xh
%r; zx —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 03aa>IO ts rcX —填充因子 2—后面的介质 ghq#-N/t —膜层厚度 3—膜层材料 Bd8,~8 —光栅厚度 /8 /2#`3R M5DW!^ :Z0m " >W%tEc J6 }J / S0+nQM% 设置层数和转折点 ?Y4$ RM2<%$ H% c:f 2 设置层数和转折点以确定膜层 IN2FO/Y@ '{9nQDgT fbaQXM 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 &_cMbFLBP Ar@"
K!TS fg1_D 实现可编程光栅 D,Ft*(|T __Ei;%cV G[7Z5)2B <C0~7]XO ~Xa8\> I8=p_Ie 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) 96Kv! cTW3\S= 6J3:[7k=& 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) Na8%TT> V@6,\1#`| WZkAlg7Z R{zAs?j =<nx[J ~4HS
2\ 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) v`i9LD0( |7G+O+j =bt/2nPV 2 双击Data Series Diagram cfn\De%. 4,D$% . 采样结果 x|
jBn} /ekeU+j 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. Un{hI`3] 4RgEN!d?H QQ:2987619807
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