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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 82>90e(CH] `"-ln'nw 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） JO&~mio SKUri 所需工具：Grating Toolbox Basic fDzG5}i
7<Yf 相关Tutorials：G.001; G.014 \\D(St 建模任务 d41DcgG'j( 6F)^8s02h 理想平面波照射 C 7a$>#% sN_c4"\q Hd8 O3_5  A@?Rj p_g#iH!* r YP72< 镀膜倾斜光栅 *Bm 7>g6 目标平面 <aPbKDF~V ElK7jWJ+ 周期：10um V9 J`LQ\0 厚度：10um kgl7l?|O 倾斜角度：20度 [d3i _^\ FD*) @4<o 光栅的参数 q\r@x-&g+ GI
; —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 Nj^:8]D)0 t!285J8tn —填充因子 2—后面的介质 *%#Sa~iPo —膜层厚度 3—膜层材料 {~y,.[G a —光栅厚度 Y48MCL n5G|OK0, H[M(t^GM  yd> b2 M
N 6%wHNYZ O Bm#E} 设置层数和转折点 xk/osbKn Fs} vI~} 7+Z%#G~ T  2 设置层数和转折点以确定膜层 5X1z^( -H+<81"B# 5Kw$QJ/ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 @}oY6cW;B* 0LW|5BVbIO G oHdhne3 实现可编程光栅 x[dR5 "pa2,-& _ mJP=+i  x, rK4L7U
j YVR"D; !C3o zZ< 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） D_D76  d>wpG^"w qH9bo-6 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） , ej89 p G-9H3[f# F39H@%R lB<
kf1[  02 RZ>m+ nPRv.h 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） AS-%I+ A  < u Kd)l
O>tz;RU 2 双击Data Series Diagram pcC/$5FQ I8%Uyap{ 采样结果 _+*+,Vx  >gSiH#>
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. Z.$)# vM5 ] i:WP2
QQ：2987619807
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