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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 wqn }t ] H? pWyc<, 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） Q0_|?]v =Rf!i78c5 所需工具：Grating Toolbox Basic 4d ]T` J$Ba*`~!! 相关Tutorials：G.001; G.014 :B_ itl0{e 建模任务 x6~`{N1N
M FU(s jB 理想平面波照射 0V#eC c:`&QDF X?] 1/6rV  6EX8,4c\ _i&awm/U S|v-lJ/I 镀膜倾斜光栅 Xn8r3Nb$A 目标平面 b"#|0d0 Qte'f+ 周期：10um !*|`-woE 厚度：10um .zy i' Kj 倾斜角度：20度 YR/rN, !Zf)N_k 光栅的参数 ~C],?X(zk ?IV3"\5 —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 O!\\m0\ e TL_8c][.4$ —填充因子 2—后面的介质 H`ZUI8- —膜层厚度 3—膜层材料 oBTRO0.s+ —光栅厚度 e?~6HP^%. E MKv)5MH n g[ZM);  {oN7I' >
8U>f/dxLOO j"8|U
E 设置层数和转折点 ^c F_z}Zi+ :Keek-E`e= "8Y4;lbN.q  2 设置层数和转折点以确定膜层 x+7jJ=F A#j'JA>_ K%A:W 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 ;M"JN:J8 HGpj(U:`c qTL] 实现可编程光栅 @{!c [{x,T }-R|f_2Hp H-o>| C  Yl#r9TM
Y_49Ut JIg AA$-Lx(UJk 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 7Z/KXc[b  PN n{ Rt *w53 8Vb 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） s`G3SE EsU-Ckb_2: } ?=$?3W WL< $(y:H  u<l[S + AyrKs?h 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 'Bp7LtG92  dk9'C >>voL DDd 2 双击Data Series Diagram lXS.,#lp *94<rlh{"
采样结果 [' ~B &  4jl Uy AD
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. 2R2ws.} e mo@&6*
QQ：2987619807
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