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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 o?3R HP47 ?-f>zx8O 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） pA2U+Q@ Dn[1BWM/7 所需工具：Grating Toolbox Basic 7~16letQ P8jK
yo 相关Tutorials：G.001; G.014 40<&0n n 建模任务 |); >wV" cm]]9z _< 理想平面波照射 t'J
fiGM u62sq: GjH QJ>>&`{ ,  piP8ObGjy ~JXHBX J-}NFWR;t 镀膜倾斜光栅 )~ /U+,
目标平面 X=3@M_Jzo g|P hNo 周期：10um 8syo_s C | 厚度：10um e-VL U; 倾斜角度：20度 -db+Y: xUZ ]Q3Gj@6 光栅的参数 ZwMw g t .*j+? —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 AV p [gr oo!g?X[[ —填充因子 2—后面的介质 }$-VI\96 —膜层厚度 3—膜层材料 { 9Y'v —光栅厚度 ng*%1;P 'm|m +K83 :~(im_r  ju#6 3
4i,SiFKB lQ/XJw 设置层数和转折点 ~S3eatM$9 *3$,f>W^ qx)k1 QY  2 设置层数和转折点以确定膜层 :j ~5(K" akQH+j &wN
2l- 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 >v[(w1 ?rX %'e(3;YI Y9;Mey*oW 实现可编程光栅 !qlGt)G3 {0 ~0 C t)MvZ  N^+ww]f?
E0Q"qEvU YJ$ewK4E#. 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） iIE(zw)H  d 4]%Wdvf -`OR6jd 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ImY.HB^& >Mw &Tw}o M N#C2 qz (x
qA.(F  SbZt\a 8 7X(]r1-+ \ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） * Xoscc  xV# a(>-4 n* Vd<m;w 2 双击Data Series Diagram / \rq$W_ /y)"j#-eW 采样结果 t1jlxK  y.p 6%E_`
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. LUck>l\l S |>$0P4W(
QQ：2987619807
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