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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 aNwx~t]G D<WGau2H 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） Y)#,6\=U !JVv`YN 所需工具：Grating Toolbox Basic 1{1mL-I; +I}!)$/ 相关Tutorials：G.001; G.014 0r?]b*IEK 建模任务 xl,6O!aR ?D(aky#cyc 理想平面波照射 Fz n ! 0oqOX O[p c$Pi  64^l/D( =-qYp0sVP 7g%\+%F
I 镀膜倾斜光栅 5X uQQ!` 目标平面 _94R8?\_V7 +k0UVZZX? 周期：10um ,D& -.`'E 厚度：10um `(6cRT`Wp 倾斜角度：20度 P0k.\ 8qz fUOQ(BGp 光栅的参数 ih |&q "I @akM$x —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 Q!I><u Vl'rO_?t —填充因子 2—后面的介质
@l&{ j —膜层厚度 3—膜层材料 >g l.ILo —光栅厚度 - rI4_D l 5v sn'=yN BL-7r=Z  FV/lBWiQQ
Digx#'#jf 2tQ?=V(Di 设置层数和转折点 9V;A + d, zy|h1 .gd Z!4B=?(  2 设置层数和转折点以确定膜层 E5Ls/ H K \FnR'ne
1D N 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 1bjWWNzQA r?pN-x$M= kZR(0,
W 实现可编程光栅 "s@q(J Pj5:=d8z( ~ K
('t9|  `1#Z9&bO
' ]Z%6_WF 7Jpq7; 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） $2a_!/  n1b^o~agwC cs[nFfM 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） x Vw1 3ik~PgGoKQ cqcH1aSv ~b%dBn]n>  zXkq2\GHA Ga pM~~ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） g\*2w
@  H;+98AIy` O8-Z >; 2 双击Data Series Diagram ViUx^e\ c2]h.G83 采样结果 }{[JS=A^  =6=l.qyYK
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. Rhw+~gd*F gb}ov* *
QQ：2987619807
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