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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 82>90e(CH] `"-ln'nw 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) JO&~mio SKUri 所需工具:Grating Toolbox Basic fDzG5}i
7<Yf 相关Tutorials:G.001; G.014 \\D(St 建模任务 d41DcgG'j( 6F)^8s02h 理想平面波照射 C 7a$>#% sN_c4"\q Hd8 O3_5 A@?Rj p_g#iH!* rYP72< 镀膜倾斜光栅 *Bm7>g6 目标平面 <aPbKDF~V ElK7jWJ+ 周期:10um V9 J`LQ\0 厚度:10um kgl7l?|O 倾斜角度:20度 [d3i_^\ FD*)@4<o 光栅的参数 q\r@x-&g+ GI
; —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 Nj^:8]D)0 t!285J8tn —填充因子 2—后面的介质 *%#Sa~iPo —膜层厚度 3—膜层材料 {~y,.[Ga —光栅厚度 Y48MCL n5G|OK0, H[M(t^GM yd>b2 M N6%wHNYZ OBm#E} 设置层数和转折点 xk/osbKn Fs}vI~} 7+Z%#G~T 2 设置层数和转折点以确定膜层 5X1z^( -H+<81"B# 5Kw$QJ/ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 @}oY6cW;B* 0LW|5BVbIO G oHdhne3 实现可编程光栅 x[dR5 "pa2,-& _ mJP=+i x,rK4L7U j YVR"D; !C3ozZ< 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) D_D76 d>wpG^"w qH9bo-6 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) ,ej89 pG-9H3[f# F39H@%R lB<
kf1[ 02RZ>m+ nPRv.h 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) AS-%I+ A <uKd)l
O>tz;RU 2 双击Data Series Diagram pcC/$5FQ I8%Uyap{ 采样结果 _+*+,Vx >gSiH#> 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. Z.$)# vM5 ] i:WP2 QQ:2987619807
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