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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 ivm.n g[ # k6;~ 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） ubL Lhf jmIP c3O0 所需工具：Grating Toolbox Basic uxcj3xE#d 0 kkiS 3T 相关Tutorials：G.001; G.014 4q[r
KNl 建模任务 m0 P5a% D R
Q 8okA 理想平面波照射 s)V^_@Z 9 S8y4 p0mV R[V%59#{Z  4-m%[ D
|W 2{& " 3dq + $-a:zx`l 镀膜倾斜光栅 4MIVlg9 目标平面 WC4Il
C k @ 2gw]y" 周期：10um jK{MU) D+ 厚度：10um @MM|.#
~ T 倾斜角度：20度 ?`vb\K<5H; =$'Zmb
[D 光栅的参数 LOA
90.D |Mh;k 6 —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 BZj[C=#x ]-6 G'i? —填充因子 2—后面的介质 JUE>g8\b —膜层厚度 3—膜层材料 <7p2OPD —光栅厚度 lG{J S HvML +)Ty^;+[1  t5_`q(:
3.jwOFH$ N wc(< 设置层数和转折点 =19 ]a d0xV<{,- O$$N{  2 设置层数和转折点以确定膜层 &K4o8Qz (=X16}n:> -L[K1;Xv" 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 Bj2rA.M :eO]65N U` U/|@6 实现可编程光栅 m Z5UaSG vr ;7p[~ -LY_7Kg  9\ ;EX
LU]~d< i99 936t6K& 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） EKt-C_)U  $?A]!Y ; YK- R|z6K 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） qdm!]w.G5 )dV.A IQ+ :DD4BY Nr)(&c8  }[Y):Yy MhsG9q_% 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 7KEGTKfW  ?=vwr,ir {> }U>V 2 双击Data Series Diagram M]2 c - 51&T`i 采样结果 F,W(H@ ~x  3S9~rLrn?
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. a T0 y 4S=lO?\"A
QQ：2987619807
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