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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    技术专家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： (I{ $kB"p  
     ;52'}%5  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； 0MIUI<;j  
     H L<s@kEZ  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 _-cK{  
     ,D80/2U^  
    结构设计 c\cZ]RZ  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 tPuut\ee  
     )_jSG5k  
    eukA[nO7G  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 7N2\8kP  
     -ewQp9)G  
         (UEXxUdQ_Q  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 =G-N` 39  
     FE5Q?*Ea  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 Zu<]bv  
    lx,`hl%  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 Az*KsY{/r  
     ),@f6](  
    ){Mu~P  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 {LE&ylE  
    xc'vS>&  
    ?~ULIO'  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 X=p"5hhfn  
     j033%p+Xc  
    )JgC$ <  
    ]j.k?P$U}  
    导出加工数据 G`]w?Di4  
     PE@+w#i7*  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) ~o15#Pfn/  
     : iY$82wQ  
    6`nR5fh  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 >w'$1tc?+F  
     X, fu!  
    EO"C8z'al  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 ~I_owCVZ  
           Iz\1~  
    J=WB6zi  
    XQ;I,\m  
    #V 43=  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 8:g!w:$x  
    V 7<eQ0;m  
    oh}^?p  
    Y_H/3?b%  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 `<vxG4=62\  
     9R]](g#  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 sB7" 0M  
    {sc[RRN~C  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 .gD km^  
    6M><(1fT  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 Rl@$xP  
    SPwPCI1?  
    g6' !v  
    导出加工数据列表 Gt^d;7x]  
     79ZxqvB\  
    <f%/px%1  
    J|j;g!fK  
    导入加工数据 .hz2&9Ow  
     dtW0\^ .L  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI QrS$P09=\  
     ~iTxv_\=6u  
    3V-6)V{KaE  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) 5#uO'<2$  
     1X@b?6  
    YN#XmX%  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) HF4Lqh'oco  
    TA)LPBG  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 $%He$t  
     J:};n@<  
    p{C9`wi)  
    v ($L  
    (T;9us0  
    W8* 2;F]  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 Bcaw~WD  
    >UN vkQ:  
    Ar`\ N1a  
    6) 导入完成，观察3D视图 #: hVF/  
     U"x~Jb3]O  
    oFyeH )!  
    qy9i9$8  
    r<_2qICgP  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 s!`H  
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