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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 iN:G/ss4O FSW3' 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) DHh+%|e 8eOl@}bV 所需工具:Grating Toolbox Basic >%iu!H" k9*J*7l-m 相关Tutorials:G.001; G.014 c^ixdk 建模任务 /p"U 0=N4O!X9 理想平面波照射 5S&aI{;9< B]'e$uyL7 vqrBRlZ a6;gBoV <ldid]o
# )x$!K[= 镀膜倾斜光栅 z{Hz;m:*_ 目标平面 q1N4X7<_ z{_mEE49 周期:10um ggrI>vaw 厚度:10um /- DKV~ 倾斜角度:20度 N+*(Y5TU #Y;.>mF 光栅的参数 +<)tql* TZ^{pvBy —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 \1=T
sU&^ P/FrE~ —填充因子 2—后面的介质 @Djs[Cs<* —膜层厚度 3—膜层材料 fdd~e52f —光栅厚度 5|yZEwq 'jh2**i 34 \ua9thOG <$"7~i/X H"2 U)HJl }=Hf?';m 设置层数和转折点 Sv.KI{;v$ r`?&m3IOP u=(H#o<# 2 设置层数和转折点以确定膜层
$`^H:Djr 0v;ve =fY lzZh 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 '*8 5kK=S ^/G?QR 实现可编程光栅 |c<XSX?ir 7^c2e*S g+:$X- r OlIT|bzkb l#b:^3 ?A|zRj{ 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) H(MB5 bAUHUPe [0K=I64
z 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) ,xYg #g,H("Qy({
Q{O/xLf X>2?
`8M 3QH(4N 3)dP7rmZ 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) )sqaR^ [70Y,,w o\d |CE;> 2 双击Data Series Diagram c qv.dC SzRL}}I 采样结果 t/ A:k AmZuo_ 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. 6!@0VI&P O)l%OOv QQ:2987619807
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