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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 |.UY' B
uu,F5<y[ 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） er)I ". | =huV(TH U 所需工具：Grating Toolbox Basic H%>4z3n
HRDpFMA/~ 相关Tutorials：G.001; G.014 ~:bdS 4w 建模任务 Ws@'2i\; V\<2oG 理想平面波照射 Z}dK6h5+' Ls9NQy @3O) #r}\  SXOAa<u5 Nq6'7'x Kx] SiejJ 镀膜倾斜光栅 "}fweCBgo 目标平面 tZ9i/ =S "/i$_vl 周期：10um UGhEaKH~R 厚度：10um gtA34iw 倾斜角度：20度 _q27
3QG/" 8v& \F 光栅的参数 PWpt\g .w.:o2L —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 f` uRC-B/ nG!<wlY14P —填充因子 2—后面的介质 :BF ? r —膜层厚度 3—膜层材料 `)n4I:)2 —光栅厚度 ?W' p&(; ilL0=[2 d7X&3L %Oq  zzQWHg ]/
`S@TiD* ,JV 0ib, 设置层数和转折点 9RaO[j` ^QRg9s,T< y~
=H`PAE  2 设置层数和转折点以确定膜层 d qn5G!fI Bvn3:+(47 $>XeC}"x68 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 e{P v:jl @0?!bua_| c[d zO .~ 实现可编程光栅 C8}:z\A_@Z v~P,OP("c Z .6dL  .gRj^pu
fe?Z33V 'jtC#:ePK 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） zN4OrG 0  Zh<;r;2 :o' XE|N 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） i<m(neX[H FRBu8WW 0L N6 U d(8* KQdIG9O+6  V)`2 Kw L[ G O6l 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 0 M_oFx  Dm>"c;2 5AYOM=O]t 2 双击Data Series Diagram g7*) |FOb ,^#Jw`w^ 采样结果 x *eU~e_jP  I{`7 0
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. -Aj)<KNx[ du3f'=q6|
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