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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 z`f1|Ok d&.)Dw 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） 611:eLyy&l E]_sl/`{od 所需工具：Grating Toolbox Basic Y~fds#y0 @ ;rU # 相关Tutorials：G.001; G.014 Bam7^g'*!3 建模任务 U,aV {qz NWb,$/7T 理想平面波照射 )6IO)P/Q~ NWv1g{M 8Qek '0 /t |V< LI"ghz=F v:s~Y 镀膜倾斜光栅 sq&$ 目标平面 5BTQJa mi<V(M~p 周期：10um ]?b #~ 厚度：10um 60^dzi!v s 倾斜角度：20度 oy#Qj3M8= NfDg=[FN[ 光栅的参数 dJ:EXVU dhsQfWg#} —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 <EJ}9` t ?
vk;b! —填充因子 2—后面的介质 d, +d8X —膜层厚度 3—膜层材料 K`PF|=z —光栅厚度 iHWl%]7sN D{ @x k +&LOb 7  tE=P9 \4
q\[f$==p v#nYH?+~mJ 设置层数和转折点 E 3;[*ve 9q;+ Al^Z +hV7o!WxC  2 设置层数和转折点以确定膜层 |f?t yQ 0rjxWPc 1+.(N:) + 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 K7 U` vX/~34o]\ >&Y8VLcK 实现可编程光栅 Rco#?' g} P.ksM f9X*bEl9;`  UIovv%7zZ
V!a\:% #^Y $IUT5Gia` 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） >Vn;1 |w  %Nzg~ZPbmT b j ZcWYT 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） j <Lj1 P3 x.xfMM2n (7;}F~?h aOA;"jR1  : H0 +} = o!gl
:izb 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） WENPS*0oS]  u -f_,],p ZlUd^6|:3 2 双击Data Series Diagram ?8) _, I+kDx=T ! 采样结果 NYm2fFPc  O*`] ]w]
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. [wj&.I{ ^s /{."*jK
QQ：2987619807
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