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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 3 9yz~ kpWzMd &RK 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） 2b~
HHVruX T8mY#^sW_ 所需工具：Grating Toolbox Basic nO}$ 76*'0 J QH7ZaN 相关Tutorials：G.001; G.014 mc~` 建模任务
"$Y(NFb D4YT33 $tC 理想平面波照射 Requ.?!fG; a!s. 850@ JKEX YE  ^sr:N5~z` (h'$ 3~
75Q XkJu 镀膜倾斜光栅 8u7K$Q 目标平面 ,"v)vTt
KT]J,b 周期：10um nN(D 7wk 厚度：10um N,'[:{GOY 倾斜角度：20度 C[Y%=\6'0 vTe$7 7n 光栅的参数 LOyCx/n hIE%-gZ/ —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 ,?7xb] h y~4SKv
$ —填充因子 2—后面的介质 4{Yy05PFS —膜层厚度 3—膜层材料 V'f&JQ A —光栅厚度 C7XS6Nqu .f?qU g Lk8W&|;0|  d~P<M3#>
}
Y7W1$he 76u/WC>B 设置层数和转折点 ~|0F?~eR7 6x (L&>F ,&z j Oc_v  2 设置层数和转折点以确定膜层 )$Dcrrj ]Lb?#S $jUS[.S_|I 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 \h'E5LO GWA!Ab'<U 7B:ZdDj 实现可编程光栅 8R??J>h5\ ,:dEEL+>c cA (e "N  9wYtOQ{g
#$vhC u<I 7KSGG1ts 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 8KL_PwRX_f  ;ow~vO,x ,SE$Rh 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） &xiDG=I# 8#d1}Y 5E oWyy 0:B^  9Qs"X7 iH Uf2v$Jl+Yh 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） @7[.> I(  u 8k{N a h!O&ECh 2 双击Data Series Diagram Rm\ ']; ,Q /nS$ 采样结果 X\$W'^ np  ,;=( )-
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. 7) (`
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