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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 (Hj [9[= \*=wm$p&* 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） eA86~M?<o hNsi
8/ 所需工具：Grating Toolbox Basic Lc5zu7ncg Vj 9X6u}{ 相关Tutorials：G.001; G.014 bsD A&~ )s 建模任务 1P(=0\ P>& L7;~4_M9.V 理想平面波照射 "WuUMt v: /\; 2 #
:k=  RSh_~qMX 7)V"E-6h `DF49YP"~ 镀膜倾斜光栅 Hp04apM: 目标平面 d}zh.O5P!
_wK.n.,S~ 周期：10um u+r!;- 0i 厚度：10um wR@>U.XT@ 倾斜角度：20度 /nQuM 05*Z 8
E\zjT!#\ 光栅的参数 Q;8z&4s@ #i@f%Bq- —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 ^J#* sn Lm~<BBp. —填充因子 2—后面的介质 U%s@np —膜层厚度 3—膜层材料 TT/H"Ri}Jp —光栅厚度 Z! O4hA4 /]3[| / HLI9  DOJ yd Yds
:vb5J33U ,{HQKHg 设置层数和转折点 a%B&F|u m%`YAD@2z 4T(d9y  2 设置层数和转折点以确定膜层 {73V?#P4 @!fU p
b bpwA|H%{M 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 K 77iv NplyvjQN; MSQ^ovph 实现可编程光栅 |qn 2b= 7j\^h2 ?I6rW JcQ6  BA: x*(%~
1 ;$XX#7o s6 g"uF>k 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） aNEah  cZxY,UvYa Gn8 sB 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） '_G\_h} 5 X6G{.Vh" xKSQz -p_5T*R  ML905n u ~r.R|f]IQ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ^1.*NG8  Jx.f DV J !{.CGpS ] 2 双击Data Series Diagram D8w f`RUt pNb2t/8%% 采样结果 XG.[C>  v;<gCzqQh
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. % 42a>piev o4kLgY !Q
QQ：2987619807
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