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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 b9 F:X Xjy5 Yj 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） S,ENbP%0r eS qKXmH[m 所需工具：Grating Toolbox Basic ?5N 7,|K) N)kZ2|oD 相关Tutorials：G.001; G.014 m| /?((s 建模任务 iI!MF1 FO"sE` 理想平面波照射 GOKca%DT= AYVkJq ? mMNT.a  o* fNY %nRz~3X|+v gB3 Tz(! 镀膜倾斜光栅 BF="gZoU< 目标平面 .T>^bLuFy H% peE9>$ 周期：10um C[-M
~yIL 厚度：10um bAUruTn 倾斜角度：20度 L[D<e?j ;R_ H8vp 光栅的参数 1edeV48{: U.$7=Zl8t —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 6UK}?+r~ e5s=@-[ —填充因子 2—后面的介质 LX!M DZz —膜层厚度 3—膜层材料 _^k9!V jo —光栅厚度 l_E S $%d `W*b?e| H1 p zQWr*5a  Vx~N`|yY
/c&;WlE/n W Z A8D0[ 设置层数和转折点 7m<;"e) 38gHM9T
xh ru#CywK{{;  2 设置层数和转折点以确定膜层 J"$Y `; DNyU]+\L[l ZLS\K/F>>= 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 + kj
d;u# Qy!;RaA3T o6v'`p ' 实现可编程光栅 Y) ig:m]# 8HaBil wn&5Ul9Elb  ?xT ^9
a3Fe42G2c| \Wn0,%x2 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） U9/>}Ni%3G 
{ch+G~oS H6vO}pq) r 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 8%,u~ELA ?O| CY EQvZ(-_;4 t*Xo@KA  m35 $4 s6YnNJ,SK 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） |/M^q{h&7s  5i eF8F% ,Q ZNH?Cp/ 2 双击Data Series Diagram 3m]8>1e1" C}D\^(nLu. 采样结果 d>YX18'<Q  +p\+ 15
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. C"[d bh ! p4sU:
QQ：2987619807
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