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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 y/9aI/O' ) 1PjI9M 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） vQ _D%f4; \ )'`F;
P 所需工具：Grating Toolbox Basic -F338J+J24 tqYwP Sr 相关Tutorials：G.001; G.014 aePLP 建模任务 aMq|xH Z ]>T4 \?aC 理想平面波照射 -1z< ,IN+ ~9Jlb-*I5 9vL n# _  t gpg bsos va+ 6jaol'{SuH 镀膜倾斜光栅 bw[s<z|LKA 目标平面 0; PV gO;9 9*b(\Z)N 周期：10um ]38{du 厚度：10um uKF)'gj 倾斜角度：20度 2Y-NxW^] r2 .f8U 光栅的参数 H="E#AC%8/ ?nc:B]=pTY —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 WJ[ybzV j -RK R. , —填充因子 2—后面的介质 sngM4ikhs —膜层厚度 3—膜层材料 ^V;h>X| —光栅厚度 s%OPoRE PN"s ^]4 fC<pCdsg  Smc= -M}
^Ee"w7XjD > u=Dc.lX 设置层数和转折点 @SX-=Nr Xc H_Y ]ur_G`B  2 设置层数和转折点以确定膜层 [19QpK WM Eb.k:8?Tn 8H7=vk + 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 /U P1*L kH|cB!?x u,&[I^WK`C 实现可编程光栅 *+rWn *L d:&=|kKw U5!~ @XjG>  ^0T DaZDLp
L[r x s[7~ 'OjsV$_ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） fnZ?YzLI  s+ a} _a: - :~"c@D 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） b2vCr F; K?$|Y-_D^M :rzq[J^ WT_4YM\bz  QTLGM-Z dHO8 bYBH 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） A(v5VvgZE  S |pf .l 5u=$m^@{ 2 双击Data Series Diagram '5;
/V {,Z-GJ 采样结果 EgB$y"fs  + rN&@}Jt.
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. 8lZB3 p]X |SSe n#PYp
QQ：2987619807
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