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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 }4! R2c ~v 2E<S3 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） e%(,)WlTaU M>pcG.6V 所需工具：Grating Toolbox Basic V Q6&7@
c 6iiH+Nc 相关Tutorials：G.001; G.014 >Jl(9)e 建模任务 gg>O:np8 t,*hxzD" 理想平面波照射 f_*Bd. @ `w JR^O!e { XN"L3A  e5! LbsJv ):@XMECa #Z'r;YOzs 镀膜倾斜光栅 Vf67gux 目标平面 _E[zYSo` ZgN )sVJ 周期：10um YxEc(a" 厚度：10um kx J! #%w 倾斜角度：20度 <<z YF.9L] u? a* bW 光栅的参数 #S57SD yG) zrRU —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 LV4]YC eI z T(3( —填充因子 2—后面的介质 Gz]p2K Bg —膜层厚度 3—膜层材料 "v
@h —光栅厚度 jl;%?bx Sga/i?! @z8,XW
}  !TJCQ[Aa }
> .L\ > PVGvj c 设置层数和转折点 GXV<fc"1 ,O[HX? > (mHCK5  2 设置层数和转折点以确定膜层 Y ) kO" ;VY0DAp{ a#i JXI 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 |[ymNG t ta \.ic uqaP\ 实现可编程光栅 |K(j}^1 k LTGKs^i4 0v%ZKvSID  86c@ Kk7z
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%iZ_h^ VKW9R n9Qg 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） }g1V6 `8&  Byx8`Cx1 KTV~g@Jf 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） "0JG96&\ 3snr-) F ] e] | |=q "h3(  /&g5f4[|p YK[PC]w 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） W\V'o Vt  &F4khga`^: }P8@\2@=T 2 双击Data Series Diagram ?!R
Z~~d V87?J w%2 采样结果 >s yQDB  Q; ]g9T[)
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. v%_5!SR f A HK<G4
QQ：2987619807
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