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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 8*&-u +@% Q (N'Oj:J 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） ( 9( xJ) Ay6T*Nu` 所需工具：Grating Toolbox Basic &u|t{C#0 n1|]ji[c 相关Tutorials：G.001; G.014 [wSoZBl 建模任务 4d@0v n{ `2U,#nZ 4 理想平面波照射 *g}==o ` h{- en50tN BeRs;^r+  8bMw.u=F {=I,+[( !-qk1+<h 镀膜倾斜光栅 E l .eK9L 目标平面 EhO\N\p(Q= Kc
r)W 周期：10um Ap\]v2G 厚度：10um 6C .!+km 倾斜角度：20度 o+ OX^F0 _d~GY,WTdO 光栅的参数 #|769=1 n @@tO#!\ —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 0|va}m`<3G (.oDxs()I —填充因子 2—后面的介质 w0js_P-uv —膜层厚度 3—膜层材料 Yy[=E\z —光栅厚度 oKS W:A n$j B "1
ArX*3  \K9Y@jnr
|OF3J,q .O~rAu*K 设置层数和转折点 [uie]*^ -=rGN"(M
_ 25, [<Ao  2 设置层数和转折点以确定膜层 !Y^$rF-+ 4b yh,t Vas Q/ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 B7{j$0fm* :1iXBG\ %iV\nFal> 实现可编程光栅 R'K /\ t@cBuV`9c ?1]B(V9nBq  }?{. 'Hv0
)Knsy `b@"GOr 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） &xlOsr/n  [MC}zd'/ |@-y+vbA* 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） gJOswN;([ Yic'p0<
?V yCg>]6B Q%GLT,f1.  SR)@' -Wd |("5 :m 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） Z[j-.,Qu  <* PjG}Z. e8]mdU{) 2 双击Data Series Diagram S
1J i\ f;ycQc@f 采样结果 zgpPu4t  ',RR*{I
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. / dn]`Ge) wIbc8ze
QQ：2987619807
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