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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 3A'd7FJ0G IDcu#Nz` 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） A D~\/V&+ #XNe4# 所需工具：Grating Toolbox Basic .XS rLb? B YwG\2?~ 相关Tutorials：G.001; G.014 8 qt| 2% 建模任务 S[* e K
Z <y~`J`- 理想平面波照射 T w/ CJg
!sfUrUu 00<iv"8  )|\72Z~eq %!x\ |@C d(R3![: 镀膜倾斜光栅 eF:6 k qg 目标平面 ~I2 IgEj>] C9({7[k^% 周期：10um 1G$ kO90 厚度：10um !%]]lxi 倾斜角度：20度 :aco$ZNH5 ^D/*Hp _ 光栅的参数 oDA1#- ]Kil/ Y —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 @l BR;B" dH?;!sJ —填充因子 2—后面的介质 `P"-9Ue= —膜层厚度 3—膜层材料 b\H~Ot[i —光栅厚度 Mx[tE?!2 /q(+r5k \ Rl<~:,D
 BDc*N]m}B1
] J m9D= g9p#v$V 设置层数和转折点 N CX!ss tUL(1:-C l $MX \  2 设置层数和转折点以确定膜层 T3!l{vG
\O 5qB>Song -KbT[] 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 yD5T'np<4 X]Sr]M^EK "7iHTV 实现可编程光栅 3E:wyf)i"
M9 _h0 a)[t kjU  1rT}mm/e;
X~%Wg*Hm T?NwSxGo 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） d v"  y7$e7~}/ LYv+Sv 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） V#C[ I~l 19&!#z e#SNN-hKsJ !j( v-pQf"  `{8Sr) i#&]{]}Q v 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ^cBA8 1  h"M}Iz~|V? _8DY9GaE 2 双击Data Series Diagram +
ECV|mkk 2 u/(Q ># 采样结果 Vad(PS0  -9vAY+s.
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. {Km|SG[-q J4xt!RW!
QQ：2987619807
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