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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 *'"T$ib I9o6k?$K 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） wOQ#N++C [md u!!* 所需工具：Grating Toolbox Basic EA.D}X C &`Y!;@K9W# 相关Tutorials：G.001; G.014 &)i|$J 2. 建模任务 RUC PV[{b ( nW67YTr 理想平面波照射 Ae^X35 @
P@c.*}s xRu Fuf8  eMOD;{Q?X D3Jr3
%> p3ISWJa! 镀膜倾斜光栅 b1pQ`q t 目标平面 x\?;= @AW ej&<GM| 周期：10um L_ Q#(in 厚度：10um *O:r7_ Y0 倾斜角度：20度 Z' ) pf B) $c|dUV 光栅的参数 I O%6 O n f b]VN~( —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 3`O?1 6O G{aT2c —填充因子 2—后面的介质 _a_xz v' —膜层厚度 3—膜层材料 {^{p ,9 —光栅厚度 NT%W;)6m9
gB\T[R V \&V0vN1  C0.'_
gw+9x<e {qKxz9.y 设置层数和转折点 IM=bK U d;tkJ2@NO HhA -[p  2 设置层数和转折点以确定膜层 P ]N
[y *fO3]+)d+ & a!BD/ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 Fhq9D{TeY, I~PDaZP ufa41$B'yG 实现可编程光栅 c_{z(W" v,NHQyk ?[ly`>K pJ  NIZ<0I*5
"%WgT2)m. ,!G{ 5FF8: 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） puSLqouTM  |1Dc!V'?" fBBa4"OK= 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） TAL/a*7\ dGZntT 2D +w w^ev% #gQ F '  | sqZ $M u Js g
I ' 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） . F&9.#>  lM\LN^f5* &a> lWE 2 双击Data Series Diagram 2. }R F9c`({ 6 k 采样结果 7>o .0  0X..e$ '
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. ^ s7,_!.Pq z
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