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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 @W|}|V5 V ^=o@I 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） Qh-k[w 0 "(ehf|%>% 所需工具：Grating Toolbox Basic -\yaP8V _$"qC[. 相关Tutorials：G.001; G.014 6/9 A' !4C 建模任务 W&y%fd\&3 @AL,@P/9= 理想平面波照射 C( C4R+U XiI@Px?FL Kx 6_Vp  kEWC
L's_lC ~DcX}VCm 镀膜倾斜光栅 $@q)IK%FDL 目标平面 5B| iBS l '.oEyZA;o 周期：10um 68R[Lc9q5 厚度：10um oQ@X}6B%S 倾斜角度：20度 ]t]s /;9]K &ZF sK c# 光栅的参数 DGdSu6s$ mY2 Ubn* —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 3 .B|uN YS k,kU —填充因子 2—后面的介质 d}%GHvOi —膜层厚度 3—膜层材料 IZeWs wz —光栅厚度 y!fV+S, NMmk, dkJ+*L5  / r Zj=
5> 4<_-Tm @rkNx@[~ 设置层数和转折点 %v:9 _nwO) K=VYR Y ]~CG zV
 2 设置层数和转折点以确定膜层 =dUeQ?>t= Ln vC{#TFO Ll lyx 20U 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 U,Nf&g "zR +} ] H) x 实现可编程光栅 8 $-(% OT{wqNI "CBe$b4  {,|*99V
CHv~H.kh' s2riayM9/
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） "n:z( "Q*  y^=\w?d z '3 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） QM`A74j0]\ > y" V % j%Y`2Ra B. 6g J2c  $fV47;U'* * Ibl+ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） U)=?3}s(  `$SX%AZA tM <6c+ 2 双击Data Series Diagram _a"5[ sG w0 x, ~ 采样结果 kJq8"Klg  ?kX$Y{M}
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. Q3u
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QQ：2987619807
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