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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 m4 k:uk7N kB)u@`</mV 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） %E R"U dh *:5S*E&}V 所需工具：Grating Toolbox Basic NmuzAZr |rgp(;iO 相关Tutorials：G.001; G.014 _VUG!?_D$5 建模任务 ]<3n;*8k? 0P 5s'2w 理想平面波照射 fT2F$U `hl8j\HV<} 0.aIcc  }T5
E^ x5(6U>-Y *8bj 3A]vf 镀膜倾斜光栅 `f[ 目标平面 ( GW"iL#. |JL ?"cc 周期：10um [n2+`A 厚度：10um Ke;eI+P[ 倾斜角度：20度 57K\sT4[
Ki\\yK 光栅的参数 +a'LdEp 83 a dnm —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 ELN1F0TneH 45,): U5 —填充因子 2—后面的介质 r)
u@,P —膜层厚度 3—膜层材料 '8yC wk —光栅厚度 k-N}tk/5 7BS5Eq B= ~m'8<B5+  ri`;
dC<2%y L>Y3t1= 设置层数和转折点 :O' QL, j "s 7P% [v+5|twxpU  2 设置层数和转折点以确定膜层 Eq?U$eE bZ>dr{%%e *E wDwS$$ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 nWes,K6T Dv* d$ Pav W@ 实现可编程光栅 !,^y!+,Qy K(uz`(5 %a?\y_a=b  uznYLS
sVp ET xi<yB0MoA 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） VRZqY7j}g  Ne)3@? ' GUCX x 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） AHo }K\O?r :}R,a=N # N$\d4q 9 kWacc&*|  t2iQ[`/?~ gq]@*C 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） c*y*UG  H _JE)a:+ XtQwLH+F
2 双击Data Series Diagram ~z\a:+ &Hyy .a 采样结果 :-WNw
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可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. ULhXyItL sYfm]Faz
QQ：2987619807
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