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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 FEopNDy@y #Q_<eo%lI* 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） \k6OP ]d%Ou]609 所需工具：Grating Toolbox Basic B VH)!]m0 .{bT9Sc5 相关Tutorials：G.001; G.014 L8zMzm= - 建模任务 DAtAc(05) )[&j&AI 理想平面波照射 prIJjy-F %wu,c e]* c$u#U~~  }0 95U(@ 6 W$m,3Dg ww%4MHPp8 镀膜倾斜光栅 {+kWK;1 目标平面 -%[6q U}=H1f, 周期：10um xs "\c7pC 厚度：10um -W})<{End 倾斜角度：20度 )^ )|b5, o@} qPvt0 光栅的参数 +_f813$C bOV]!) o —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 91T[@p w#bdb; —填充因子 2—后面的介质 `@:k*d —膜层厚度 3—膜层材料 Z%r8oj\n —光栅厚度 [f$pq5f=' " 68=dC 1JI7P?\B  !+Sd%2o
$uK[[k~=S IZ . b 设置层数和转折点 :ZM=P3QZ ,qdZ6bv,]| Y e >+  2 设置层数和转折点以确定膜层 J+ h ifO ap rgThoD [ID#P Ule 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 n{c-3w.uD IF? K5+ONA<c 实现可编程光栅 VOp+6ho< uv7tbI"r ZQ#AE VI,  lst nxi%x
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=5A8 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 6~8dMy;w  !t&C,@Ox Lez]{%+.`[ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） )Vx C v >9Y0 t^Fl @#5?tk0 U }}E
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参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） hB]<li)"C  28 xLa ob LO ,k'g g< 2 双击Data Series Diagram 0a v2w5>af ]LSlo593 采样结果 k=5v
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可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. HwZ@T &_4 K%>3ev=y.s
QQ：2987619807
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