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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。
vxPr)"Vvz )cQ KR4x0^ 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) GBg d=+zOF 所需工具:Grating Toolbox Basic 7W},5c R$}Hv 相关Tutorials:G.001; G.014 D6e?J. 建模任务 9fbo )2W7>PY 理想平面波照射 p[WlcbBwT 4?(=?0/[ I31Nu{ }3Ke &~.|9P/45 dQH8s 镀膜倾斜光栅 h-Ks:pcR 目标平面 ueW/i TGG=9a]m 周期:10um ?en-_'}~a 厚度:10um ?^-fivzS> 倾斜角度:20度 .u7grC C 4>Ht_B<< 光栅的参数 .aWwJZ=[ (mi=I3A( —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 g] IPNW^n )knK'H ( —填充因子 2—后面的介质 KTo}xLT
—膜层厚度 3—膜层材料 DD7D&@As —光栅厚度 mDwuJf8} ]x& R=)P s;Z i Gyi0SM6v5& NV}fcZ lnMU5[g{ 设置层数和转折点 A;/,</ =VWH8w.3 g rQ,J 2 设置层数和转折点以确定膜层 4yMi9Ri4H I L&PN`# .Q</0*sp 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 %AT/g&M&1# HuA4eJ(2 @1k-h;`, 实现可编程光栅 7we='L&R 8*VQw?{Uee N^[MeG,8 44^jE{,9 qMO(j%N5 [e|9%[.V 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) X"f] Kx;l a #;P-*P 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) _lH:%E* ZS&+<kGD \<}e?Yx% uqBV KE wUS w9xg tOQnxKzu 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) /5>A 2y 1B{u4w7S4e $U^ Ms!'L 2 双击Data Series Diagram *'@T+$3s *MCkezW7{ 采样结果 m$'ZiS5 Lp{uA4:=K 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. )Ee`11 _ ^0UK|[ QQ:2987619807
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