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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 *Q2;bmIc jVP70c 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） h( }$-' g z_%G{H+:l 所需工具：Grating Toolbox Basic KrO oxrDcp +mRFHZG 相关Tutorials：G.001; G.014 sYV 7t*l 建模任务
.G}E Ynnp gR. 理想平面波照射 T ymE(,1 _&S?uz m wMy$T<:  89@\AjI ~3}Gu^@ \s<7!NAE4 镀膜倾斜光栅 IV{,'+hT 目标平面 36>pa IOA"O9; 周期：10um ,h21 h?6 厚度：10um _^4\z*x 倾斜角度：20度 ?DcR D)X =`2nv0%2 光栅的参数 eUQ., mP <>aBmJs4 —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 Z09FW>"u mhnjY K9 —填充因子 2—后面的介质 =PHl|^ —膜层厚度 3—膜层材料 "8K>Yu17 —光栅厚度 }Ictnb g*b
4N _ ,4y' (DA  $>E\3npV
%bf+Y7m wUzQ`h2 设置层数和转折点 Nf LvK o8 j0J}d _ Q,Tet&in )  2 设置层数和转折点以确定膜层 N[ 4v6GS t}-[^|)7 w?CbATQ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 .(o]d{ '-} gA
]7YHc ~Z U;0# 实现可编程光栅 Z4FyuWc3 }aYm86C] & {QB}r  d7N;F a3yL
XfA3Ez,} `} o 4 &$ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） N/)mw/?i  $,08y r` u}n 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） -oq!zi4: R_ h(Z{d ga#, 42)H Q0 ~5h?V'  .lu:S;JSnS PK1j$ &F 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） m%V+px  zjgK78!< 1wUZ0r1' 2 双击Data Series Diagram ulFU( % & FD(zj ^* 采样结果 Hxr2Q]c?u  Qi Wv
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. hT I8hh lEi,duS)
QQ：2987619807
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