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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 @1bH }QS Y@%`ZPJ 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） 2m" _ z W#{la`#Bu 所需工具：Grating Toolbox Basic 2+:'0Krc Xa,\EEmQ 相关Tutorials：G.001; G.014 Kt6>L5:94 建模任务 =|,A%ZGF$ 1TZPef^y 理想平面波照射 ")%r}:0 7@l<?
( k':s =IXW  NXI[q 'y !Lkm? ( _ \$pkk6Q3,w 镀膜倾斜光栅 "!KpXB c,> 目标平面 V`bs&5#S x Qx t@ V 周期：10um *_"u)<J 厚度：10um 4pPI'd&/7 倾斜角度：20度 %K1")s QDE$ E.a 光栅的参数 Qn|+eLY ,2,5Odrz —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 c AEok P URw 5U1 —填充因子 2—后面的介质 OCK>%o$[ —膜层厚度 3—膜层材料 g_q<ze —光栅厚度 <
kP+eD $Q/Ya@o f Iy]/  h}&b+ 1{X
; LMWNy4 /S~m)$vu 设置层数和转折点 ~pz FZ7n4 ~xDw*AC- E FY@Y[  2 设置层数和转折点以确定膜层 +S9PML){h .:9s}%Z r O3qM1-k}S 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 Nfn(Xn*J- [BDGR
B7d" "HlgRp]u 实现可编程光栅 &leK}je [ $$1qF"G F #/
"+  a$JLc a
79BaDB`{a BX< dSK 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） E\ th%q,mG  lZWX7FO' L*]0" E 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） Qh`:<KI PDP[5q r ax|1b`XUr" Y*LaBxt Q  `78V%\ 1-VT}J( 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） MGt]' }  Vrp[r *V@E \ x+ 3f 2 双击Data Series Diagram uaw < ||e AE) 采样结果 c` G&KCw)d  %b}gD Ws
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. #T3 h}= ziEz.Wn"
QQ：2987619807
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