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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 <_=a 1x @\e2Q& O 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） jY-{hW+r DDq*#;dP 所需工具：Grating Toolbox Basic vQ2kL`@ 8`Q8Mct$< 相关Tutorials：G.001; G.014 !e*Q2H+ 建模任务 B f~ r@5_LD@f 理想平面波照射 "
|[w.` c}kZ x1 y2gI]A  {" S"V >0~| iRySi h-+9Bv] 镀膜倾斜光栅 mw! D| 目标平面 R JYuyB (zIP@ H 周期：10um cq >{ 厚度：10um I eLG/ fB 倾斜角度：20度 w{f!t8C*s ;XNe:g.CR 光栅的参数 2>p K i
2hP4<;h —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 4G"T{A`O D+lzISp~e —填充因子 2—后面的介质 3? iRf6;n —膜层厚度 3—膜层材料 8u
Tq0d6( —光栅厚度 HhDiGzOSi + kP)T(6 e`
Z;}&
,  }u:@:}8K
_p <W ,V'+16xW 设置层数和转折点 hNgbHzW )8VrGg? !G =!^RA  2 设置层数和转折点以确定膜层 Pz7{dQqjk# F$ QN>wPpM vh 5`R/<3 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 Kmc*z (Q 7nM]E_ va F^[/
(g 实现可编程光栅 h}r* 0h/gqlTK1 `T7gfb%1-3  @[h)M3DFd
F^.w:ad9< (jd)sf6Tj[ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） /?uA{/8  Q xZYy}2 Aq674 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） nI7G"f[%r; R#gt~]x6k a NLRUdc. gEcRJ1Q;C  Xu\FcQ{ 8oiO:lyLSt 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） *"Yz"PK  `>KB8SY:qK P DQC^2Z 2 双击Data Series Diagram .|W0B+Z8 bC*( ,n<' 采样结果 %\Dvng6$  H8.Aq\2S
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. jo-jPYH T 29 {Ep
QQ：2987619807
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