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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 @A4$k
dJ2 G %'xEr0n 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） jc!m; U t 27 k( `{K 所需工具：Grating Toolbox Basic I4W@t4bZ t0+i ] lr 相关Tutorials：G.001; G.014 2n) ?)w]!M 建模任务 KL3Z( GLgf%A`5/_ 理想平面波照射 aaP_^m O 8N%nG(
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Yo u\V^g 镀膜倾斜光栅 I)tiXcJw 目标平面 @/F61Ut |>yWkq 周期：10um !$ A/.;0$ 厚度：10um V"m S$MN 倾斜角度：20度 zcKQD )] V( _1q 光栅的参数 "$XX4w
M O&1qL) —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 RFM Ph<Ac xNz Gp5H —填充因子 2—后面的介质 /TyGZ@S>m —膜层厚度 3—膜层材料 <XIIT-b[ —光栅厚度 <q8@a0e@ |RFBhB/u MC* Hl`C  W7^[W.
TG%B:^Yz! `PC9t)%.pV 设置层数和转折点 #L~i|(=U5 U }LW8886 I |U'@E  2 设置层数和转折点以确定膜层 OvtE)u l@ s U"%,Q5 DcW?L^Mst 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 P.}d@qD{) hb J>GSoZ, `
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C7 实现可编程光栅 h q)1YO {%f{U"m /]_ t->  64<; 6*
/' + >/ MKl0 d 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） HeO dCr-PN  b6bs . _ y @] .G 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） +n)n6} S }d<R
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sGI p+;& Gg54  7l D-|yx w G %W{T$ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） Mfj82rHg  =V[uXm y0%1Y Y 2 双击Data Series Diagram wDJ`#"5p{ ilA45 @ 采样结果 l3>S{  K#0TD( "
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. " 8xAe0-4 i[o 2(d,
QQ：2987619807
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