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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 3rX 40>Cs8 QWE \Ud.q 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） , h<x Y> ,s/laZ)V 所需工具：Grating Toolbox Basic t+D= @"BZP 1p=bpJC 相关Tutorials：G.001; G.014 yw{r:fy 建模任务 1'|gxYT B qLL]%F 理想平面波照射 , P=.x% ]~ !CJ8d i`= %X{9  LIT`~ D Z/d {v:) (L:Mdo 镀膜倾斜光栅 @WiTh'w0 目标平面 TeF i[1 syCT)}T6z 周期：10um fNBI!= 厚度：10um 4' Y a-x x 倾斜角度：20度 <k {_YRB @U@O#+d'ZR 光栅的参数 [~c_Aa+6N ppGWh —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 5 9i2*<k x=kJl GT —填充因子 2—后面的介质 5&xbGEP$ —膜层厚度 3—膜层材料 2#N?WlYw<S —光栅厚度 d x+xs& `G%h=rr^c !M(SEIc4A  JP^\
x,|fblQz AnK X4Q 设置层数和转折点 We vd6)\ .&I!2F
>XX 93  2 设置层数和转折点以确定膜层 >pe!T
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UsTb]f 实现可编程光栅 RxNLn/?d@ Cq'{ % `g4N] <@z  o-JB, ^TE
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可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. 0C\cM92o a .?AniB0
QQ：2987619807
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