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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 w\) | |t$Ma'P 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） ] weoTn: zy* /T>{# 所需工具：Grating Toolbox Basic t1E[uu ,V8 \ OlmF<~ 相关Tutorials：G.001; G.014 @FdSFQ/9 建模任务 c 1X1+ b, fs/*V~@ 理想平面波照射 Q)"A-"y XMG]Wf^%\< Uye|9/w8 !  S/;bU : -OSa>-bzNx Jk,; JQ 镀膜倾斜光栅 m%?V7-9!k 目标平面 IK*07h/! r$)w7Gk< 周期：10um x@8a'' 厚度：10um :[;hu}!& 倾斜角度：20度 |>@W
]CX[ q -8t'7 光栅的参数 Ty88}V A!^q
J# —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 VK@ !lJ u! UA|u U5 Q —填充因子 2—后面的介质 GfC5z n> —膜层厚度 3—膜层材料 "`N- * ;*W —光栅厚度 YKQr,
Now U*.0XNKp{ X$/2[o#g  EJ2yO@5 O
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Jmx Ko+- 设置层数和转折点 s+>:,U<A BT} &Y6 hlt[\LP=$  2 设置层数和转折点以确定膜层 s(W|f|R =-p$jXVW% 'uy/o)L 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 QY= = GfHt #c2ymQm sH\5/'? 实现可编程光栅 Dc)dE2 *2jK#9"MP 8V~vXnkM  $M Jm *6h
$ `7^+8vHV 7g3 >jh 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） j&k6O1_  5atYOe p 5ZBK Ru 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） oY, %Iq i~r l o ^ fDLG>rXPT 5xL~`-IA&v  }NB}"%2 <F04GO\ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） zP<pEI  08*v~(T P9 Z}H( ?C 2 双击Data Series Diagram 0V ?F'<qy 6^DR0sO 采样结果 }u1O#L}F5  )vxUT{; sH
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. 3 h< , {AQ=<RDRF
QQ：2987619807
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