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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 _c>8y o&MOcy D 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） R1~wzy qF Xx/FZ 所需工具：Grating Toolbox Basic x7!gmbMfK' c2wgJH !g 相关Tutorials：G.001; G.014 TjS & V 建模任务 R!rj :f!> c@Xb6 z_> 理想平面波照射 ?T)M z
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|;gQ {ObU J3  F^CR$L& K H;MyT Vl W>(w&k]%B 镀膜倾斜光栅 :6J&%n
目标平面 D"CU J? TTGWOC 周期：10um e2kW,JV/<$ 厚度：10um 3z% W5[E) 倾斜角度：20度 ;)q"X>FMZe rgF4 W8 光栅的参数 4{ [d '-H5 3.6Gh|7 —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 6&o?#l;| uM, R +)3 —填充因子 2—后面的介质 $"ACg!=M —膜层厚度 3—膜层材料 7Y5.GW\^ —光栅厚度 U(2=fKK; Muyi2F)j $f=6>Kn|^]  C!U$<_I\2
= w/AJ%6 B+z>$6 设置层数和转折点 \_x~lRqJJ 4UHviuOo8 R>B6@|}?  2 设置层数和转折点以确定膜层 g3f; JB <m~{60{ zUq(bD 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 iN_P25Z<r beB3*o _'l" Dk 实现可编程光栅 w?P e x]i{ J-qUJX~4c qRHT~ta-?  S]NT +XM
1024L; dDa&:L 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） V''fmW o7  Yl =-j 8erG]( 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） [Sj "gLj l,Fn_zO ]D4lZK>H ]Ljb&*IEj  x_CY `Y ;*0nPhBw0> 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） %y7ZcH'  7$x%A&] _mJhY0Oc 2 双击Data Series Diagram 5H 1N]v+ *qu5o5Q 采样结果 m&s>Sn+  #M4LG; B
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. a l9(
9) UA (4mbz+
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