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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 pt?q#EfFJ ~ ?FpU 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） yX0dbW~@y b j"J' 所需工具：Grating Toolbox Basic | >JS!NM
I a 8 mVFm 相关Tutorials：G.001; G.014 Vy938qX 建模任务 )Hk3A$6( mM-8+ H?~b 理想平面波照射 1PP $XJtyD }XSfst5-H kT!9`S\  Wv/%^ 3 V` 1/SQX i2&ed_h <? 镀膜倾斜光栅 ~tR~?b T 目标平面 _Gjk;|Sx<I fI~Xmw+}} 周期：10um d nb)/ 厚度：10um 0#S W! b|% 倾斜角度：20度 g;8jK 8 Kh x\s|n{ 光栅的参数 N 0= ac5 !cA yTl(_ —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 j;fpQ_KL a8i]]1B lz —填充因子 2—后面的介质 0 rX x RQ —膜层厚度 3—膜层材料 2 4 )(5!:" —光栅厚度 3rcKzS7 )Ib<F 7 v y LdVd
P  'b#0t#|TM
]b%Hy 7~G B;1 n 设置层数和转折点 },>pDeX^P V %YiAr> mqAWL:VvQ7  2 设置层数和转折点以确定膜层 v {jQek4 v%s`~~u%^ , 'ZD=4_ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 Mc%Nf$XQ xg NJ eQ L?Qg#YSd ~ 实现可编程光栅 /~Z?27F6@ '&gF> n ;$5Cq!v=  *WIj4G.d
bLQ ^fH4ww 0 0SbH$SU 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） vt;{9\Y  ALNc'MW! '`XX
"_k3 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） M5*{ C_n9T{k S`"LV $8 3'c0#h@VD  .Y3pS/VI YR>B_,Gl 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 20iq2  _%B^9Yl3( v}tag#f5>? 2 双击Data Series Diagram rSHpS`\ou DVK)2La 采样结果 )Lwc  =7 C%P%yt
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. mXUGe:e8
Tjl:|F8
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