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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 .}TZxla0Zr m8h k:4 Ae 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） [!#L6&:a8 .jE { 3^ 所需工具：Grating Toolbox Basic Hk.TM2{w /]Md~=yNp 相关Tutorials：G.001; G.014 &.Qrs :U 建模任务 oIzj,v8$ qiBVG H 理想平面波照射 k9 I%PH G@X% +$I K;H&n1  '$(^W@ M#6 : bq8N@P/ rcG"o\g@+ 镀膜倾斜光栅 +_ oJ}KI 目标平面 {Gk1vcq {]@= ijjf 周期：10um e 2oa($9 厚度：10um " &?kC2Y| 倾斜角度：20度 )' cMYC $Sip$\+* 光栅的参数 Z0" , !6nS DA,?} —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 p%=u# QNi :J&oX
<nF^ —填充因子 2—后面的介质 Jk
n>S #SZ —膜层厚度 3—膜层材料 4!yzs PJL —光栅厚度 ={&j07,*a wc4{)qDE Kn;"R:  3; {kJ Q
bwMm# f
$G@5qxcV 设置层数和转折点 m&,(Jla Z=o2H Bm7 z$. 88 ^  2 设置层数和转折点以确定膜层 u `6:5k &@OT*pNna =X:Y,? 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 xY(*.T9K f46t9dxp$ +\
.Lp 5 实现可编程光栅 &B1Wt W [hv~o~q 0 /U{p,r6`  \Uq(Zga4)
33B]RGq VjZ|$k 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） "@0]G<H
 7;wd(8 U$z-e/ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） Lk}J8 V^2 = m#?neop y766;
X:J ]Q)OL  TK mf+ZT*r yYA$I'Bm\ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） R!gEwTk  {B*s{{[/' -gX1-,dE 2 双击Data Series Diagram ` Eo.v#< w%jII{@, 采样结果 00~mOK;1  ^8N}9a
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. Y&Z.2 >b 56 kI
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QQ：2987619807
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