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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 muIJeQ.C Ksvk5r&y 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） :Oi}X7\ B1z7r0Rm , 所需工具：Grating Toolbox Basic rh6 e Ft?Y c 5 相关Tutorials：G.001; G.014 F2dwT 建模任务 |pR'#M4j4A ! +n'0{ 理想平面波照射 H.)J?3 D fVSG1g ]t_ Wl1*|  3tCT"UvTD "VA'W/yv! '2m"ocaf 镀膜倾斜光栅 sJm v{wM 目标平面 L.% zs
{5JYu 周期：10um 1A N)% 厚度：10um 7 }vx]p2 倾斜角度：20度 C iIIlE4 =+"-8tz8FV 光栅的参数 cp4~`X a0hgF_O1 —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 P7;q^jlB s,7 OoLE —填充因子 2—后面的介质 BXUd
i&'O —膜层厚度 3—膜层材料 A2I\T, Z —光栅厚度 .zvv k j/hm)*\io "cDc~~3/@  /X?%K't2r
Q8NrbMrl Q57Z~EsF 设置层数和转折点 9oVprd >%@ g7Z3GUCGL L%/atl!  2 设置层数和转折点以确定膜层 ,/UuXX zu``F ]B {N@ tJ,Fh{ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 p}q]G J a-9 sc6@ Wfh+D[^ 实现可编程光栅 Uk4G9}I c5t7X-L B Sh 7ob2  m<|fdS'@
{$v>3FG Y2(,E e2 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） x24&mWgU  *TYOsD**9 y@dTdR2Wc 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） *m`F-J6U =${ImMwj ^\3z$ntF O
@{<?[  T@Th? g HKA:j`c 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） i^V3u  JiRfLB $H1i gYc 2 双击Data Series Diagram d&%}u 1 . tdnd~ WSR 采样结果 W+aW2  'BNZUuUl
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. UsdUMt!u TU?$yNE
QQ：2987619807
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