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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 /G*]3=cSe ndW]S 7 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） yR?S]
m5i?<Ko@ 所需工具：Grating Toolbox Basic haNi [| 7 dxTy n= 相关Tutorials：G.001; G.014 )wT @`p"4 建模任务 d2'1
6 .lV LC8&},iu 理想平面波照射 05
56#U&> GnT Cq_\ Z'hHXSXM  )?d(7d-l r nNB!T $)or{Z$& 镀膜倾斜光栅 J ZH~ { 目标平面 EhWYFQ b {
M'aV 周期：10um r@WfZ Z 厚度：10um /O `<?aP% 倾斜角度：20度 .|?UqZ(, zDK"Y{ 光栅的参数 `2
6t+Tb Pi/V3D) B —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 $0[t<4K`yn kg/<<RO —填充因子 2—后面的介质 A!GQ4.~% —膜层厚度 3—膜层材料 vyS8yJUY —光栅厚度 yq6Gyoi< !_i;6UVG PS:"mP7n  Ea<kc[Q
ny l[d|pVa vRI0fDu 设置层数和转折点 UI]UxEJ Z%m\/wr 59k[A~) ~  2 设置层数和转折点以确定膜层 O yG# HI\V29
a x?6
\C-i 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 S4O'N x 9]4 W T8t_+| (
G 实现可编程光栅 1`q>*S]( bnzIDsw!Q A6S|pO1)3  EK 8r V
wg}rMJoG| qGkD] L 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） hVGK%HCz&  JqTR4[`Z\ x\K9|_! 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） =6O<1<[y - Cc2|~n hd%O\D? Ha41Wn'tZ  `:*O8h~i^8 9D`p2 cO 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） @Af C$T  5sZqX.XVF D:=Q)Uh0I 2 双击Data Series Diagram C FW#+U#U g;-6Hg' 采样结果 s pG3"Eodi  A Ac*\K
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. [,TK"
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QQ：2987619807
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