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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 -cJ(iz9! "PnYa)?1 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） 8+ `cv" vR#A7y @ ! 所需工具：Grating Toolbox Basic Z<xSU?J )]rGGNF* 相关Tutorials：G.001; G.014 vFy / 建模任务 C\E Z 8 {hVSVx8ZL 理想平面波照射 lD\lFN(: ])0&el3- @$Z5A g!  7dN]OUdi 'X{7b
< D3BX[ 镀膜倾斜光栅 : |P "`j 目标平面 hnH:G`[F o"TEmZUP 周期：10um k'
pu%nWN 厚度：10um "'s` ? 倾斜角度：20度 x7t"@Gz =yfr{5}R 光栅的参数 :P;#Y7}Y$ mqwN<: —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 JA())0a \- `L}$ —填充因子 2—后面的介质 A#LK2II^ —膜层厚度 3—膜层材料 Hq6VwQu? —光栅厚度 Mx0c
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v]Pw]m5=U K\=bpc"Fy 设置层数和转折点 Ab8~'<F$B F1gDeLmJ {ZN{$Ad3 /  2 设置层数和转折点以确定膜层 W= PDOzB>K ';zLh $F;$-2 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 bAt!9uFn *)g*5kKN g oWD~'\ 实现可编程光栅 80l(,0`, es&+5 ~"+[VE5  5#q
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Gn4AW_ Pr @ EpO 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） P @
1D  f}nGWV%, <f8@Qij 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 9S.R%2xw` 'HPw 5 L 1QjrL@$>15 N~Ax78T X  ]wdudvS@6r plb 'EP>e 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） JI@~FD&  75I* &Wl =]U[ 2 双击Data Series Diagram tJ2l_M^ KDg!Y(m{ 采样结果 T b:n6a@  i|.!*/qF
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. \#G`$JD :t^=~x O9
QQ：2987619807
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