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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 M =r)I~ MFk5K 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） XpJ7o=?W3 gB'6`' 所需工具：Grating Toolbox Basic [ibu/ W$ |
%Vh`HT 相关Tutorials：G.001; G.014 ea')$gR 建模任务 I2 P@L?h [q #\D 理想平面波照射 ixD)VcD-f w+CA1q< HC,Se.VYS  pIX`MlBdF e^ D]EA ]% b1?'gn ~ 镀膜倾斜光栅 N<injx 目标平面 )P |),S,;Z u4 h4.NH X 周期：10um &KRX[2 厚度：10um Y/zj[> 倾斜角度：20度 ]GQ G~ H^ <GaS36ZW 光栅的参数 6V0 1F8&w SI-Ops~e —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 >I&5j/&}+ I9hK } D —填充因子 2—后面的介质 J nM["Q=` —膜层厚度 3—膜层材料 v^ V itLC —光栅厚度
Z>5 b;8 E0 9 :E :&9s,l  [K0(RDV)%
7E~; xn; @t_=Yl2; 设置层数和转折点 HCC#j9U N6 VS8Rx.? Z@PmM4F@S  2 设置层数和转折点以确定膜层 @i IRmQ L0WN\|D 'AS|Z Rr/ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 <B6H. P = *YuF0Yt ZX./P0 实现可编程光栅 338k?nHxv e h?zNu2= 1NA.nw.  %aVq+kC h
-4{<=y?"a CdjI` 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） PBTnIU  JYbL ?N o u{2@" 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） mSl.mi(JiZ ;,:`1UI N~zdWnSZ@G }*pi<s  9N 3o-= Uf;^%* P4 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） K: # I  -**g~ty) |[ai JR[Q 2 双击Data Series Diagram x\G'kEd |"CZ T# 采样结果 _H7x9
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可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. kzUIZ/+ZL, EDl! w:
QQ：2987619807
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