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摘要 21bvSK T=(/n= 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 msM ZZ?0%9
'Xoif" 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) tisSj ?+ [5e}A& 建模任务 Urj8v2k jB!p,fqcb
aTuD|s t, #7F$t 单次FMM仿真结果 {mrTpw $~!%Px)
N9tH0 VdjS\VYe, 参数扫描(1D) Qn(2UO!pD bGOOC?[UX
@X+m,u _VGAh:v 参数扫描(2D) m_zl*s*6 uf]SPG#/D H?*EQK`7?0
&a5UQ> 文件信息 W@`2+} y$|%K3
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lVi@ ~~a,Fyko2 QQ:2987619807 `ltc)$
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