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摘要 ~QQi{92 rI23e[ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 T 5$db-^ %L, mj
GAI(= 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) f_I6g uDPz YEqZ((H 建模任务 Q+YYj ?H3Ls~R
^M_0M 1CXO=Q 单次FMM仿真结果 `o4alK\ cdY|z]B
FX}kH ] K8,Q^!5]" 参数扫描(1D) ]6#bp, Vz[tgb]-
:QGgtTEV"" |soDt<y+L 参数扫描(2D) 1<766 v!~tX*q )"KKBil0 )jc`_{PQg 文件信息 =cz^g^7 ;=r_R!d@
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