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摘要 :ZV|8xI ,PTM'O@aU# 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 .d]/:T
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~oa}gJl:}- 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) /\w4k +[!S[KE 建模任务 vW1^ pj$JA
73;Y(uh9 \9)5b8 单次FMM仿真结果 9&n9J^3L _x,X0ncv]@
hG?y)g\A d m8t~38 参数扫描(1D) @:C)^f" /?'~`4!(
eU1F7LS $[>{s9E 参数扫描(2D) nK1eh@a9Qv TTz=*t+D S hI1f tYu<(Z(l) 文件信息 J\L'HIs $oBs%.Jp
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