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摘要 qwF*(pTHq ~z
K@pFeH 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 qfGtUkSSb Bhu@ 2KdA
^0~c7`k`V 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 6b]1d04hT y=9Dxst"V 建模任务 inPE/Ux ,9Z2cgXwJ
q11QAx4p UOWIiu 单次FMM仿真结果 <r<Dmn|\a &{zwM |Q@?
J0Hm)* Z>x7|Q3CX 参数扫描(1D) *5y
W HkdN=q
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\f/#<|Hm 参数扫描(2D) eu}Fd@GO %6A-OF uNe}"hs 2y+70(E1 文件信息 &[5n0e[ ]yAEjn9cN
Gefnk!;; G@!_ZM8h /v"6BU QQ:2987619807 xd^&_P$=
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