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摘要 =;)=,+V~q k,<7)- 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 k
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\LQZoD?W 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) C{G=Y[?oc =JPY{'V O 建模任务 {9j0k`A Q?([#
a0B%x!y^ Rp:I&f$Hk/ 单次FMM仿真结果 9U3 }_ UMF M.GI
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