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摘要 kTcW=AXu O#k eoC4 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 (5;nA' GkIhPn(d
&Hyy .a 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) }U(bMo@; }[=)sb_ 建模任务 D59q/@ L]%!YP\<T
~"_!O+Pj +\*b?x 单次FMM仿真结果 C23p1%#1 '"+Gn52#
*kpP)\P P3IBi_YyG1 参数扫描(1D) PJ4/E PhPe7^
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