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摘要 :(P9mt =O5pY9UO 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 #A JDWelD ( R=:X+ k
?BeiY zg 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 7x|9n Ot_]3:`J~ 建模任务 E Nhl&J <lPm1/8
y.mda:$~= [}E='m}u9+ 单次FMM仿真结果 6H.0vN& hF~n)oQ
P~ >OS5^ nS }<-s 参数扫描(1D) gwuI-d^ _Xe>V0
5H<m$K4z U)]oO 参数扫描(2D) -P$PAg5"2 @zW]2 c aFX=C>M ZB=
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