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摘要 D7(kkr:r $_0~Jzt, 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 `]l*H3+hg ]tDuCZA hG%J:} Qo \;) 建模任务 d"hW45L :=^_N} *mj3 T
Oxhc!9F 正弦光栅—效率与高度(TEA) y6 _,U/9 aMycvYzH (cEjC`] m%G:|`f7 正弦光栅—透射相位曲线 BF(.^oh"n0 d(8X?k.S $
-n?q w }O7b&G:nW 正弦光栅—透射相位曲线 ^SH8*7l7 pz@wbu=($4 kc&MO`2 W\ 3Zeh$DZ 正弦光栅—衍射效率 y72=d?]W HOrD20 auV<=1<zJ v08Xe*gNU 正弦光栅—效率与周期 )=c/{ f)/5%W7n} 5 U{}A\q #:n:3]t 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 b )mU9 W.t` ct#3*] w-M,@[G 闪耀光栅—效率与高度(TEA) h1`u-tc2x }Kc03Ue`%e mUW4d3tE JVgV,4 1 闪耀光栅—透射相位曲线 eL7\})!W */JMPw& W8R"X~!V #.kDin~! 闪耀光栅—衍射效率 Nn%[J+F Y^~Dr|5% eURj'8o), "<y0D!& 闪耀光栅—效率与周期 D[ -Gzqh >
R5<D'cEN orcPKCz|" ui\yY3? 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 2!+saf^-, `"* ]C Dy[_Ix/Y, g~i%*u,Y< VirtualLab Fusion一瞥 QC+K:jL 3h-C&C U:n3V yRt>7'@X VirtualLab Fusion工作流程 utDjN" ]a}K%D)H hkhk,bhI • 设置光栅结构 2MapB* −使用界面配置光栅结构[用户案例] `X06JTqf: • 分析光栅衍射效率 gLyE,1Z}u −光栅阶次分析器[用户案例] O*8.kqlgt • 通过参数运行检查不同参数的影响 =83FCq" − 利用参数运行文档[用户案例] GYq.!d@O T3W?-, /Dl{I7W Av#_cL VirtualLab Fusion技术 a2MFZe NQx`u"= ?pF7g$>q y)B>g/Hoh 文件信息 l,pI~A`w_ {xzs{)9|Y4 ~$O.KF: "?<$>\@;
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