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摘要 6z0@I* %UUH" 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 ev1 W6B-a QqNW}:#
(Rt7%{* 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) bHLT}x/Gw EtbnE*S 建模任务 WY^W.1X sg'pO*_&
;V^pL((5J c;0Vs,DUmG 单次FMM仿真结果 8to8!( bV8g|l-4(
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f m5mu: 参数扫描(1D) W[EKD 7 yz8mP3"c:o
bXUy9-L ~/^5) g_ 参数扫描(2D) G,Z^g|6 F
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