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摘要 f%(e,KgW= Nys'4kx7 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 gFH;bZU $bM#\2'
0t/z" 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) HY%6eUhj Bm2}\KOI 建模任务 2t
Z\{= 9\W5
&].1[&M] 0B!mEg 单次FMM仿真结果 t9=|* =;9) &p(*i@Ms
AyI}LQm]u !:!@dC%8_ 参数扫描(1D) BGk<NEzH R'$ T6FB5
jv?aB JUUF^/J 参数扫描(2D) -
KoA[UJ a 7mKshY( RQ$o'U9A 85d7IB{28 文件信息 Z<m'he bvxxE/?Ni
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