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摘要 &x\u.wIa )=8X[<^i 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 HSyohP8 7 qA&N6`
'|Cs!Zl 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) \Q]2Zq VNaa(Q 建模任务 17J|g.]m-& , Lhgv1
E5.)ro=$ KeY)%{ 单次FMM仿真结果 Av7bp[OD #j'OrD
trg+")a Wrt3p-N"D 参数扫描(1D) *h$Dh5%P x1wm ]|BIf
L1M]ya!l OyFBM>6gh 参数扫描(2D) |f.=Y~aY 4RJ8 2yq- par
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