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摘要 ,5L&$Q6 7NXT.E~2 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 {'}Ofj [yVU
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F%Mlid;1 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) j5/H#_. 4< H-ol 建模任务 `\.n_nM `zsKc 6%
$@#nn5^IX f9\7v_ 单次FMM仿真结果 I'yhxymZ; _* `AGda
$==hr^H 6 8_UQ. 参数扫描(1D) |w>DZG!}1- S%T1na^x
hB^"GYZ )8N/t6Q 参数扫描(2D) jgO{DNe(= ER|5_ |mM7P^I t)v#y!Ci" 文件信息 ,~kMkBkl~ %%3ugD5i!
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