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摘要 Gu~y/CE' _x z_D12 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 P
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X.xp'/d 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) NaG1j+LN R+gh 2
6e 建模任务 o&g=Z4jj< 5wRDH1z@{
wsP3hE' ] (G}*ho 单次FMM仿真结果 uwQ{y>SG gnNMuqt
H]"Z_n_ .Q?cNSWU 参数扫描(1D) Mc~(S$FU$ 9fvy)kX;s
(p68Qe%OuG f&H):. 参数扫描(2D) +f+x3OMX3 HV&N(;@ R7e`Wn %#02Z%?% 文件信息 rYeFYPS v/8K?$"q
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