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摘要 s'Wu \r' DZE@C^0% 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 r`GA5}M A$ Ok^
sw$$I~21 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) K)[DA*W g,]GzHV1 建模任务 X/' t1 dcbE<W#ss
WYXh1_nyk N(=Z4Nk5 单次FMM仿真结果 hX9vtV5L YwnYTt
0S71&I$u] s2*~n_B 参数扫描(1D) GZWU=TC2{2 Cu&y',ee~
e> -fI_+b Sahz*f 参数扫描(2D) ?3=y]Vb+ N83c+vs%c Hx#1TqC/ K|sk]2. 文件信息 xka&,`z BOdd~f%&tn
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