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摘要 M@\A_x(Mas <7-Qn(m, 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 c8'a<<sj DL$O274uZ
O2z{>\ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 7{0;<@ |^: A,%> 建模任务 iKs @oHW PtP{_9%Dz
Ll4/P[7:? (t$jb|Oa 单次FMM仿真结果 O"%b@$p\L "9Q @&C
=gSa?pd /K!&4mK 参数扫描(1D) of? hP1kl[ ,mkXUW
v[-.]b*5A$ fjD/<`}v 参数扫描(2D) b8Bf,&:ys yDmNPk/ O}$@|w(8; =8`!Ph@( 文件信息 =~qQ?;on LmCr[9/
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