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摘要 ^2rj);{V CfrO1i F 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 Xqm?@JN rf+}J_
E,?IIRg& 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) `:r-&QdU o lAA6tlc#C 建模任务 Iy*Q{H3[ j&S.k
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}x 单次FMM仿真结果 -9+$z|K G2!<C-T{2
pQ7elv] GK11fZpO:i 参数扫描(1D) >{Mv+ o\Fv~^
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}8"i~>>a 参数扫描(2D) pg,JYn PK&&Vu2M 0lq?l:/ K9ih(fh) 文件信息 e9:pS WA-n +Gy9K
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