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摘要 Uw<&Wm`' $A}QY5`+~S 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 M3zDtN #'hLb
$A$@|]}p 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) (H?ZSeWx IB|]fzy 建模任务 { ?{U,& E-1"+p
w.N,)]h -iCcoA 单次FMM仿真结果 9zgNjjCl] H0*5_OJ!i
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