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摘要 QFPx4F7(e }}_uN-m 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 SS~Q ;9o sdWl5 "
jhG7sS| 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) S+G)&<a^ B>ZPn6?y 建模任务 .B13)$C DO1{r/Ib.{
;Y^RF?un AF$ o>f 单次FMM仿真结果
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Ol[gck|~ DcA'{21 参数扫描(1D) g-FZel
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P{eRDQ= J"rwWIxO* 参数扫描(2D) 836m5/kH[ [{F7Pc z-5#bOABW SWb5K0YRn 文件信息 )yW_O: ]F;]<_
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