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摘要 x,CTB DC&3=Nd 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 % oPt],> bOEO2v'cQ
Yf=an`" 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) /G{;?R {6_M$"e. 建模任务 e(e_p# gdPPk=LD
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4tQ~Z6Jn; 单次FMM仿真结果 IE)$.%q;) -<g&U*/E
4AIo,{( 1Q5:Vo^B# 参数扫描(1D) iMT[sb &dH[lB
jOkc' `Z#0kpXk_ 参数扫描(2D) \
F\ /< I]4L0r- _u[2R=h (6y[,lYH 文件信息 Fjs:rZ#{ r<%ua6@
t!=qt* {^5LolCCH /?ZO-]q QQ:2987619807 6UAn#d9
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