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摘要 d ][E;$ iU3co|q7 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 Ft]sTA+C .v;Npm2
7W>T=
@ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) LvR=uD -H]svOX 建模任务 3"B|w^6'2 aw,8'N)
A[b'MNsv )JjfPb64 单次FMM仿真结果 g` Wr3 Ghj6&K%b0
:ortyCB:H 9/'j<v6M 参数扫描(1D) :s4CWEd J/mLB7^R
}3+(A`9h f `0so)2ty+ 参数扫描(2D) TKmC/c ZpwB"%e$ lr|-_snx2 2^juLXc|R 文件信息 a E#s#Kv dx~F [
f5O*Njl )Ev [o#y OtC/)sX QQ:2987619807 -j(/5.a
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