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摘要 jJ#D`iog5 Bl b#h 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 "iSY;y o 4 /_jrZO
]-\68b N 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) jY=y<R_oK 4 Ej->T. 建模任务 6$urrSQ`N0 A9xeOy8e
c4fH/- qp})4XT v 单次FMM仿真结果 \CjJa(vV _
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oco,sxT syl7i>P 参数扫描(1D) //7YtK6 ]?y~;-^
OJ&'Z}LB <2pp6je\0s 参数扫描(2D) IC
cr ##jJaSxG PuNL%D a=MN:s?Fc0 文件信息 Q!l(2nva vb>F)X?b_
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MR QQ:2987619807 ?|5M'o|9
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