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摘要 ` ?6m0|\@ y~S[0]y> 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 G:e} >' ^LC5orO
U.6hLFcE 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
]aakEU H[Pb Wy: 建模任务 "a"[B' ;LrKXp
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|5ekwk P7y[9|^ 单次FMM仿真结果 @xkM|N? Ol%*3To
7_Q86o &1':s|c 参数扫描(1D) [7s5Vt| P|(J]/
#uXOyiE vp_ $6 参数扫描(2D) >Ia(g0 q3P3euK3 7R2)Klt \A~
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