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摘要 zh=0zJ /U!B2%vq_ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 vL[IVBG^ A&B|n!;b
%g5#q64 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) YIZu{ LWhy5H;Es 建模任务
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Qnt}:M+ 40`Qsv0# 单次FMM仿真结果 !O`j {g`!2"
RyukQY~<W q "T? 参数扫描(1D) YqWNp 4ME$Z>eN
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P\Z tq~f9EvC 参数扫描(2D) `EvO^L |Rx+2`6Dp *HHL a pp1Kor 文件信息 >7cj.% Ah@e9`_r
c V@^< \}k R'l B:UPSX)A QQ:2987619807 ZlE=P4`X:
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