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摘要 fXO_g Yd:Q`#7A 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 >3 l=*|9 hSB?@I4s<\
8eluO ?p 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) =m7H)z)i*J B5ea(j 建模任务 $X\va?( ]H ~Y7\N-v
ju|]Qlek W|MWXs5'1* 单次FMM仿真结果 m@jge)O&D whye)w
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