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摘要 I"xo*} "H2EL}3/] 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 (|F*vP' M|VyV(f
JX<)EZ!F 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) sZ'nYo a a<8,; 建模任务 _qU4Fadgm wDw[RW3
@<,X0S '-wj9OU 单次FMM仿真结果 FOb0uj=(v %]\kgRr
~cWAl,(B<F #OZ>V3k 参数扫描(1D) 7 G)ZN{' p}jE
eFipIn)b y@1+I~@ 参数扫描(2D) O3;u G.:1 rUTcpGH '-QwssE ~W*FCG#E 文件信息 0*VWzH
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