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摘要 -U"h3Ye^ sAG#M\A6 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 yRt>7'@X ^t{2k[@
]a}K%D)H 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 9+o`/lk1 ogrh" 建模任务 Fuuy_+p@G gLyE,1Z}u
O*8.kqlgt B]o5HA<k 单次FMM仿真结果 G(~
s(r{%I cU^Z=B
I#m0n%-[ nYc8+5CcK' 参数扫描(1D) ?'dsiA[ 9J0JSy
Y%B:IeF} AD , 参数扫描(2D) G2A^+R0\ O~1vX9 \LQ?s)~ BmP!/i_ 文件信息 AP8YY8,
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?IWLH-fkP =/J{>S>(i nF8|*}w QQ:2987619807 7vRFF@eq}
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