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摘要 NxNR;wz>l
L]9!-E 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 8Qu7x[tK? $7TYix8=
5ez"B]&T 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) _ H$Cm ~#I1!y~` 建模任务 U( W#H| @WhcY*R2
7*'_&0 3tnYK& 单次FMM仿真结果 "uGJ\ /,Ln)?eD
Zdh4CNEeFP wIxLr{ 参数扫描(1D) x 9Gm)~ ~Ufcy{x#
XZd !c Ff fQ#mx.|8y 参数扫描(2D) t=XiSj\n ?aSL'GI d#ld*\| L}>9@?;GW 文件信息 AKa{C
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