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摘要 s`Cy
a` }CxvT`/ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 CB~Q%QLG 5b/ojr7
hAj1{pA, 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) =_]2&(? r ]>\~&?^F 建模任务 na^sBq?\ VYw%01#
{7MjP+\ `c+/q2M 单次FMM仿真结果 umLb+GbI4 %c)[
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参数扫描(2D) UhmTr[& TzBzEiANn s/Xb^XjS1 ;W:6{9m ze 文件信息 iq*A("pU X bkb5EkA
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