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摘要 dR\yRC]I >KrI}>!9r 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 7MrHu2rZ= Fn`Zw:vp6
,S`n?.&& 7 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 4_QfM}Fyp /fT"WaTEK 建模任务 !% W5@tN @B>D>B
iU 6,B *Ts$Hj[ 单次FMM仿真结果 m"Mj3Z: Posz|u<x
]m 3cm Q<V1`e 参数扫描(1D) aIa<, nD
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3/Y T=-UcF 参数扫描(2D) m\jjj^f a ZXb{-b?[` U'" #jT @,sjM] 文件信息 u=qK_$d4 vJ&D>Vh4e
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