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摘要 jNy.Y8E& ?R#)1{(8d~ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 ~3 bPIg7D BF <ikilR
MqUH',\3 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) &!
?eL `~`k_7t. 建模任务 >dG[G> OBAi2Vw
8&aq/4:q0 {.\TtE 单次FMM仿真结果 eGHaY4| JO<wU
i7>tU= IN G@B#Cl 参数扫描(1D) puM3g|n@ t<viX's
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2|Bg,e 参数扫描(2D) I.k
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