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摘要 O&VA79\UO b8Hzl!zO 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 'rVB2
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*V[I&dKq 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 6
tB\X^ *R7bI?ow 建模任务 Xc~BHEp ZzP&Zrm
g(G$*#}o8A nEbZ8M 单次FMM仿真结果 %CUwD _!w69>Nj
Rv.IHSQUo j*d+WZm8-g 参数扫描(1D) %Z-xh<& SEE:v+3|
p=|S% r>sXvzv 参数扫描(2D) {z9z#8`C; $)KNp dXh Q9;VSF) QB;TQZ 文件信息 @3~Wukc {CFy
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