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摘要 ,U%=rfB~ -SJSTO[/J 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 baIbf@t/ d~<QAh#rG
aFG3tuaKrQ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) _j 5N=I{U ih!~G5Xi9i 建模任务 )nnCCRS6 E!@/N E\-
C<t RU5| Yzd2G,kZ= 单次FMM仿真结果 _:5=|2-E }Z-I2
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?48AY6 "=ElCaP} 参数扫描(1D) l7Y8b` Vr\Q`H.
VV\Xb31J &Y=.D:z< 参数扫描(2D) i7f%^7! y.fs,!|%@ &gWiu9WbS B<+pg 文件信息 &>V/X{>$`K jIZ+d;1
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