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摘要 awz.~c++ FBouXu# 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 &P35\q z}$.A9yn
".( G,TW 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) !SGRK01 PGYx]r 建模任务 :h3U^ !>Q\Y`a,*
3X ',L*f Jx`7W1%T 单次FMM仿真结果 e8(Qx3T?b D88IU9V&n
i 2uSPV!Tf ;Kg7}4`I 参数扫描(1D) G6x'Myg I (./Iq#@S
pSYEC,0B P (Y\l 参数扫描(2D) -*J!Ws(9 /"~UGn]R z" ?WT$ $cm9xW& 文件信息 m,]9\0GUd zq ?xY`E
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