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摘要 cZ{-h YM*{^BXp 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 GoK[tjb y()7m/
vnT'.cBB:^ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) "[[9i yaiw|j`A 建模任务 tw/~z2G _<`j?$P
}6;v`1Hr s3sAw~++ 单次FMM仿真结果 bcp+7b(IB bF5 mCR:
df=G}M( x4&<Vr 参数扫描(1D) xU4,R cgo '$@bTW
Q{ibH=^ WQ(*A
$ 参数扫描(2D) Lc<v4Bp 6PF7Wl7. {_GhS% Q:6i
3 Nr/ 文件信息 LZirw' %jgB;Y
BB&7VSgc- /1F5khN gr?[KDl~ QQ:2987619807 9"5J-a'
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