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摘要 Hb=#` |Kd#pYt%O 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 M~taZt4 |p6d]#z3
n[3z_QI 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) a: "1LnvR }iUK`e 建模任务 +/ukS6>gr 2LwJ%!
P1eSx#3bR C}8#yAS9M 单次FMM仿真结果 aA`eKy) \ +:FXtO>n"
QL/KY G d51lTGH7Z 参数扫描(1D) y]j.PT`Cw {"ST
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jrib"Bh3, *2/Jg'de 参数扫描(2D) L`+[mX&2B }_D .Hy5 <0CjEsAB] @nktD. 文件信息 uH[WlZ4 Rt8[P6e"q
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