先进光学元件微纳制造与精密检测技术

《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表，完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统；重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术；围绕实现确定性抛光，详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术；介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术，加工轨迹规划原理和数据处理方法，以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 YiYV>gaf"H  
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《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富，理论分析深入，既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展，又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果，对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。 hbU+Usx  
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目录 b5,x1`#7k  
第1章 绪论 &GNxo$CG  
1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求 jlp:lX  
1.1.1 先进光学元件的特点 {)DHH:n  
1.1.2 先进光学元件的应用 }>)@WL:q  
1.1.3 先进光学元件的制造技术要求 MWI4Y@1bS  
1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴 qZ]pq2G  
1.2 先进光学元件的制造技术 ;WgJ<&33  
1.2.1 光学元件的模压成形技术 ub7zA!%  
1.2.2 光学元件的精密切削技术 >:zK?(qu,N  
1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术 ,B08i o-  
1.2.4 光学元件精密研抛技术 ~)qtply  
1.2.5 精密光学加工环境控制技术 e`d%-9  
1.3 先进光学元件的检测与评价技术 2LNRtW*  
1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点 .P.z
B}0=  
1.3.2 光学元件的检测技术 wtmB+:I  
1.3.3 光学误差的评价方法 KQ`qpX^d  
参考文献 Qhs/E`k4  
%Rz&lh/  
第2章 先进光学元件加工装备技术 DjI3?NN  
2.1 机床设计理论 ;^La"m  
2.1.1 机床设计要求 l_EM8pL,f  
2.1.2 机床设计方法 )>b.;  
2.2 超精密机床关键部件及技术 k4,BNJt'Z  
2.2.1 主轴部件 ?9! Z<H  
2.2.2 直线导轨部件
7a#4tqM#  
2.2.3 微位移进给部件 53c0 E  
2.3 超精密机床数控技术 3l[McZ  
2.3.1 数控技术 4Y,R-+f
 
2.3.2 超精密加工数控系统 N;Dni#tQ`  
2.3.3 开放式数控系统 AgOp.~*Z~V  
2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例 v$(lZa1  
2.4 超精密磨削加工装备 \ {qI4=  
2.4.1 超精密加工装备技术综述 u\LiSGePN  
2.4.2 超精密磨削成形机床 b8$gx:aJ>$  
2.5 超精密加工工具技术 #?*WPq  
2.5.1 超精密切削加工刀具技术 vohoLeJTj  
2.5.2 超精密磨削砂轮技术 &j?#3Qt'_  
参考文献 %YSpCI  
(T>nPbv)  
第3章 先进光学元件磨削技术 -od!J\KCy  
3.1 超精密磨削加工发展 AtU v71D:  
3.1.1 先进光学元件磨削技术概述 fGw^:
,B  
3.1.2 延性磨削和镜面磨削 &LF` W  
3.2 超精密磨削过程分析 s7g(3<(  
3.2.1 超精密磨削机理 $={:r/R`i  
3.2.2 磨削过程基本参数 lY~4'8^  
3.3 超精密磨削加工关键技术 D'L'#/hK  
3.4 砂轮修整 AS E91T~  
3.4.1 杯形砂轮修整 2-=\~<)  
3.4.2 ELID在线电解修整 hX`hs-*qM  
3.4.3 放电修整 3uZJ.Fb  
3.4.4 激光修整 YY&l?*M<  
3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术 4(Ov1a>  
3.5 非球面磨削加工技术 K TsgJ\W  
3.5.1 微小非球面加工技术 N;A@' tu8  
3.5.2 大口径非球面磨削加工技术 R)F;py8)I  
3.5.3 自由曲面磨削加工技术 rj6tZJZ#o0  
3.6 工艺软件设计开发 mNb ?*3\  
3.6.1 数控编程格式 CT KG9 T  
3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例 >N;F8v  
3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例 oq4}3bQ  
3.7 超声振动复合磨削加工技术 [q_`X~3  
3.8 加工实例 U\veOQ;mW  
参考文献 [zL7Q^~  
5DXR8mLoaJ  
第4章 先进光学元件抛光技术 d"5oD@JG:  
4.1 超精密抛光加工发展 |J+(:{}~  
4.2 平面光学元件抛光技术 ! iptT(2  
4.2.1 平面抛光原理 rC.eyq,105  
4.2.2 平面抛光轨迹控制 a-"k/P#  
4.2.3 平面抛光材料去除模型 :Xn7Ha[f  
4.3 非球面光学元件抛光技术 {/X4(;~0  
4.3.1 非球面气囊抛光原理 j4>a(  
4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制 qw7@(R'"  
4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制 f'<Q.Vh<  
4.3.4 气囊抛光材料去除模型 Q\GDrdA  
参考文献 /0W9g  
=/u%c!  
第5章 先进光学元件精密检测技术 ]c<qM_HWg  
5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术 _(d.!qGz  
5.1.1 摆臂式轮廓检测法 4B4Z])$3  
5.1.2 长行程轮廓检测法 i
]=&  
5.1.3 五棱镜轮廓检测法 dWXstb:[  
5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术 :U d  
5.2.1 零位干涉检测技术 JXixYwm  
5.2.2 非零位干涉检测技术 I.Y['%8,5~  
5.3 光学非球面精密检测平台 ZT[3aXS  
5.3.1 小型光学非球面精密检测平台 tV_t6x_.  
5.3.2 大型光朝E球面精密检测平台 R64!>o"nED  
参考文献 HxBm~Lcqy  
|.F  
第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术 j ,)P9V  
6.1 先进光学元件检测轨迹规划 9prU+9  
6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划
AsPx?  
6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划 $B#6tk~u  
6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术 mAeuw7Ni  
6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术 X*g(q0N<S  
6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术 7_wJpTz  
6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究 65oWD-  
6.3.1 数据处理系统总体设计 !PMU O\y  
6.3.2 数据预处理 ~ ^>417>  
6.3.3 误差补偿及结果 WEa2E?*  
参考文献 @v}B6j b;  
jSOS}!=  
第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术 dL
vJh#`o  
7.1 超精密加工环境监控技术概述 0l=+$&D  
7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展 E"%2)  
7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展 'JdkUhq1V  
7.2 超精密加工环境无线监控系统原理 x lsqj`=  
7.2.1 加工环境无线监控系统构成 3IR ^  
7.2.2 加工环境无线监控对象 B_ja&) !s1  
7.2.3 加工环境无线监控系统网络 hH
->%*  
7.3 加工环境无线监控系统技术体系 R8
-^RvG  
7.3.1 系统硬件组成 .lBgp=!  
7.3.2 系统软件组成 .6m "'m0;  
7.4 加工环境无线监控系统监控实例 li] 6Pj,  
参考文献 _
1*7Z=|  
Olfn  
第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制 "o&HE@t  
8.1 亚表面损伤概述 ?( =p<TUw  
8.1.1 表面质量与完整性的研究内容 1^dJg8  
8.1.2 亚表面损伤的表现形式 6yu]GK}es  
8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响 RA],lNs  
8.2 亚表面损伤的形成机理 J9%@VZut  
8.2.1 亚表面裂纹的形成机理 v8/6wy?  
8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理 Q}*y$se!  
8.2.3 亚表面层材料组织变化机理 F_ 7H!F  
8.3 亚表面损伤的检测与评价
m,>  
8.3.1 损伤性检测技术 h(B,d,q"  
8.3.2 无损检测技术 a$9A(Pte  
8.3.3 亚表面损伤的评价 j2M+]Zp.  
8.3.4 亚表面损伤的预测 b[@VYa  
8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制 w%c  
8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术 W~ULc9  
8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术 `7+j0kV)  
参考文献 C;Ic
  
Y-~~,Yl~