先进光学元件微纳制造与精密检测技术

发布:cyqdesign 2021-01-13 12:43 阅读:1500
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表,完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统;重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术;围绕实现确定性抛光,详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术;介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术,加工轨迹规划原理和数据处理方法,以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 Rt{`v<  
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《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富,理论分析深入,既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展,又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果,对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。 XazKS4(  
~GWn>  
F$QAWs  
+C(v4@=nd  
目录 t#0/_tD  
第1章 绪论 $m:4'r  
1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求 %!>~2=Q2*  
1.1.1 先进光学元件的特点 $YyN-C  
1.1.2 先进光学元件的应用 2+Tu"oG;rB  
1.1.3 先进光学元件的制造技术要求 nnZ|oEF  
1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴 DjX*2O  
1.2 先进光学元件的制造技术 ^.d97rSm  
1.2.1 光学元件的模压成形技术 7fOk]Yl[  
1.2.2 光学元件的精密切削技术 P K]$D[a0  
1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术 x-e?94}^  
1.2.4 光学元件精密研抛技术 onuhNn_=>  
1.2.5 精密光学加工环境控制技术  MR/8  
1.3 先进光学元件的检测与评价技术 ET&Q}UOE  
1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点 'kD~tpZ  
1.3.2 光学元件的检测技术 AV0C9a/td  
1.3.3 光学误差的评价方法 {cNH|  
参考文献 qQ_o>+3VAy  
)cMW,  
第2章 先进光学元件加工装备技术 _TRO2p0  
2.1 机床设计理论 CS:mO |  
2.1.1 机床设计要求 Use`E  
2.1.2 机床设计方法 D&xb tJd  
2.2 超精密机床关键部件及技术 IkU:D"n7  
2.2.1 主轴部件 qGE?[\t[6  
2.2.2 直线导轨部件 ;!CYp; _  
2.2.3 微位移进给部件 t^ =6czk  
2.3 超精密机床数控技术 bIP'(B#1K  
2.3.1 数控技术 `dYM+ jpa  
2.3.2 超精密加工数控系统 [S}o[v\  
2.3.3 开放式数控系统 B@,L83  
2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例 >?$+hZz<  
2.4 超精密磨削加工装备  [>'P  
2.4.1 超精密加工装备技术综述 0.^9)v*i  
2.4.2 超精密磨削成形机床 n%Vt r  
2.5 超精密加工工具技术 2EeWcTBU}.  
2.5.1 超精密切削加工刀具技术 S >PTD@  
2.5.2 超精密磨削砂轮技术 uM8YY[b  
参考文献 CL^MIcq?  
CaZ{UGokL  
第3章 先进光学元件磨削技术 7kBULeBn|  
3.1 超精密磨削加工发展 ldJ:A*/M6  
3.1.1 先进光学元件磨削技术概述 B}.G(-u?7  
3.1.2 延性磨削和镜面磨削 r$~w3yN)v  
3.2 超精密磨削过程分析 ~ituPrH%<  
3.2.1 超精密磨削机理 !!=%ty  
3.2.2 磨削过程基本参数 n')#]g0[  
3.3 超精密磨削加工关键技术 D cN s`2  
3.4 砂轮修整 lg0iNc!  
3.4.1 杯形砂轮修整 u3 mTsq!  
3.4.2 ELID在线电解修整 3 ;F=EMz{  
3.4.3 放电修整 "tga FtC=w  
3.4.4 激光修整 <t{T]i+  
3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术 <y(uu(c  
3.5 非球面磨削加工技术 YQ`GOP#/  
3.5.1 微小非球面加工技术 ,6Kx1 c  
3.5.2 大口径非球面磨削加工技术 eD0Rv0BV^  
3.5.3 自由曲面磨削加工技术 FTtGiGd|Zy  
3.6 工艺软件设计开发 I9ga8mG4-'  
3.6.1 数控编程格式 ~;Ga65_6_  
3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例 SC~cryb  
3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例 (;o,t?:d  
3.7 超声振动复合磨削加工技术 7XE/bhe%S  
3.8 加工实例 Z2Bl$ \  
参考文献 z G {1;  
JLsy|}>  
第4章 先进光学元件抛光技术 =Tf uwhV  
4.1 超精密抛光加工发展 a*d>WN.;U  
4.2 平面光学元件抛光技术 $/%|0tQ  
4.2.1 平面抛光原理 (hefpqpi  
4.2.2 平面抛光轨迹控制 0kI.d X)  
4.2.3 平面抛光材料去除模型 kfo, PrW`A  
4.3 非球面光学元件抛光技术 E3#}:6m  
4.3.1 非球面气囊抛光原理 EPCu  
4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制 }>cQ}6n.  
4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制 %C%~f {4  
4.3.4 气囊抛光材料去除模型 L Ty [)  
参考文献 5 N(/K.^  
b$P=rIB  
第5章 先进光学元件精密检测技术 )o'&f"/  
5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术 *yqEl O  
5.1.1 摆臂式轮廓检测法 xp%,@] p  
5.1.2 长行程轮廓检测法 r%hnl9  
5.1.3 五棱镜轮廓检测法 ?d1H]f<M  
5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术 /JL2dBy#z  
5.2.1 零位干涉检测技术 pHlw&8(f"  
5.2.2 非零位干涉检测技术 |1G/J[E  
5.3 光学非球面精密检测平台 %|[+\py$Q  
5.3.1 小型光学非球面精密检测平台 B:=*lU.n  
5.3.2 大型光朝E球面精密检测平台 B*A{@)_  
参考文献 _r8.I9|  
IZczHHEL`b  
第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术 *5iNw_&  
6.1 先进光学元件检测轨迹规划 F8km8lPQl  
6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划 \?-`?QPux  
6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划 | 1H"ya  
6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术 le?hCPHkp  
6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术 n83,MV?-  
6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术 N^A&DrMF  
6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究 ,~t{Q*#_h  
6.3.1 数据处理系统总体设计 8V%(SV  
6.3.2 数据预处理 @cNX\$J  
6.3.3 误差补偿及结果 'v&k5`Qq  
参考文献 az~4sx$+}  
,Y EB?HA  
第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术 >Liv].  
7.1 超精密加工环境监控技术概述 0[g8  
7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展 /GNLZm^  
7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展 D^To:N 7U  
7.2 超精密加工环境无线监控系统原理 KwOn<0P  
7.2.1 加工环境无线监控系统构成 'u$e2^  
7.2.2 加工环境无线监控对象 5An| #^]  
7.2.3 加工环境无线监控系统网络 Q>u$tLX&  
7.3 加工环境无线监控系统技术体系 s`ly#+!.  
7.3.1 系统硬件组成 Sc;WraEn2  
7.3.2 系统软件组成 2-i>ymoOS  
7.4 加工环境无线监控系统监控实例 s.]7c CY  
参考文献 3Xaw  
|l(rR06#.]  
第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制 LD5n_W  
8.1 亚表面损伤概述 mXT{)pU  
8.1.1 表面质量与完整性的研究内容 =jjUwcl  
8.1.2 亚表面损伤的表现形式 dL'hC#!h  
8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响 l?v-9l M  
8.2 亚表面损伤的形成机理 KK`P<^8J  
8.2.1 亚表面裂纹的形成机理 /u{ 9UR[g  
8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理 FLJdnL  
8.2.3 亚表面层材料组织变化机理 ~?8B~l^  
8.3 亚表面损伤的检测与评价 .Ya]N+r*  
8.3.1 损伤性检测技术 ^EE 3E'  
8.3.2 无损检测技术 uBw1Xud[YI  
8.3.3 亚表面损伤的评价 8'?V5.6?|~  
8.3.4 亚表面损伤的预测 ?"\`u;  
8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制 =1fO"|L  
8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术 *yOpMxE  
8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术 -XIjol(  
参考文献 a? K=  
j8 nG Gx  
关键词: 光学元件
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