先进光学元件微纳制造与精密检测技术

发布:cyqdesign 2021-01-13 12:43 阅读:1769
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表,完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统;重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术;围绕实现确定性抛光,详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术;介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术,加工轨迹规划原理和数据处理方法,以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 _5H0<%\  
qK,PuD7i"  
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富,理论分析深入,既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展,又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果,对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。 r%FfJM@!  
KOit7+Q  
@WTzFjv@?4  
; G4g;YHy|  
目录 1+9}Xnxb  
第1章 绪论 i _YJq;(  
1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求 w'&QNm>  
1.1.1 先进光学元件的特点 VskdC?yIp  
1.1.2 先进光学元件的应用 f <LRM  
1.1.3 先进光学元件的制造技术要求 P$Fq62;}r4  
1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴 gh<2i\})'  
1.2 先进光学元件的制造技术 Ak+MR EG  
1.2.1 光学元件的模压成形技术 &b=OT%D~FU  
1.2.2 光学元件的精密切削技术 QRz5eGpW  
1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术 A ^X1  
1.2.4 光学元件精密研抛技术 `FRdo  
1.2.5 精密光学加工环境控制技术 YjzGF=g#  
1.3 先进光学元件的检测与评价技术 N(Xg#m   
1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点 n7iIY4gZ  
1.3.2 光学元件的检测技术 Xr]<v%,C  
1.3.3 光学误差的评价方法 j7 \y1$w  
参考文献  ?h3t"9  
qV:TuR-|w  
第2章 先进光学元件加工装备技术 2'7)D}p  
2.1 机床设计理论 4rH:`494  
2.1.1 机床设计要求 ]<:qMLg  
2.1.2 机床设计方法 [=& tN)_  
2.2 超精密机床关键部件及技术 *5q_fO  
2.2.1 主轴部件 r%vO^8FQ  
2.2.2 直线导轨部件 x?n13C  
2.2.3 微位移进给部件 8w9?n3z=}  
2.3 超精密机床数控技术 s E0ldN"  
2.3.1 数控技术 f6JC>Np  
2.3.2 超精密加工数控系统 .aD=d\  
2.3.3 开放式数控系统 u$nYddak  
2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例 4nU+Wj?T  
2.4 超精密磨削加工装备 Ag_I'   
2.4.1 超精密加工装备技术综述 %%^by  
2.4.2 超精密磨削成形机床 gbjql+Mx+  
2.5 超精密加工工具技术 \ 3FOI  
2.5.1 超精密切削加工刀具技术 B;^YHWJ6i  
2.5.2 超精密磨削砂轮技术 aJSBG|IC  
参考文献 'WcP+4c  
C$7dmGjZ  
第3章 先进光学元件磨削技术 baz~luM  
3.1 超精密磨削加工发展 5v5K}hx  
3.1.1 先进光学元件磨削技术概述 LNI]IITx/  
3.1.2 延性磨削和镜面磨削 ?vV&tqnx%  
3.2 超精密磨削过程分析 r"=6s/q7  
3.2.1 超精密磨削机理 _OvIi~KW+  
3.2.2 磨削过程基本参数 0` UrB:  
3.3 超精密磨削加工关键技术 ?f4jqF~Fh  
3.4 砂轮修整 1 2J#}|  
3.4.1 杯形砂轮修整 N\W4LO6  
3.4.2 ELID在线电解修整 k?qd -_sC  
3.4.3 放电修整 Or"+d 5  
3.4.4 激光修整 Ou wEO   
3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术 ["SD'  
3.5 非球面磨削加工技术 t[HA86X  
3.5.1 微小非球面加工技术 +=g9T`YbE  
3.5.2 大口径非球面磨削加工技术 T56%3i  
3.5.3 自由曲面磨削加工技术 V^qkHm e  
3.6 工艺软件设计开发 4=7h1qex  
3.6.1 数控编程格式 N)o/}@]6  
3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例 sX|bp)Nw  
3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例 w0Y V87  
3.7 超声振动复合磨削加工技术 mH5[(?   
3.8 加工实例 @Xl/<S&  
参考文献 B'~CFj0W%=  
?b3({P  
第4章 先进光学元件抛光技术 o 12w p  
4.1 超精密抛光加工发展 RinaGeim  
4.2 平面光学元件抛光技术 ,,CheRO  
4.2.1 平面抛光原理 hVd PO  
4.2.2 平面抛光轨迹控制 \Zmn!Gg  
4.2.3 平面抛光材料去除模型 3p#BEH<re  
4.3 非球面光学元件抛光技术 l t{yo\  
4.3.1 非球面气囊抛光原理 ;/)u/[KAv  
4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制 vz}_^8O  
4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制 Bxs0m]  
4.3.4 气囊抛光材料去除模型 3FhkK/@  
参考文献 ,B||8W9  
MH h;>tw  
第5章 先进光学元件精密检测技术 P#N@W_""YD  
5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术 x5"F`T>Y  
5.1.1 摆臂式轮廓检测法 0)nY- f0  
5.1.2 长行程轮廓检测法 drW}w+ !  
5.1.3 五棱镜轮廓检测法 #xe-Yw1!  
5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术 @zAav>  
5.2.1 零位干涉检测技术 j6r.HYX!  
5.2.2 非零位干涉检测技术 C ehz]C  
5.3 光学非球面精密检测平台 {aVL3QU  
5.3.1 小型光学非球面精密检测平台 L__J(6,V2  
5.3.2 大型光朝E球面精密检测平台 P h/!a6y  
参考文献 2kV{|`1  
K f}h{X  
第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术 /I@Dv?  
6.1 先进光学元件检测轨迹规划 <OA[u-ph%S  
6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划 Mxk0XFA  
6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划 ZD t|g^  
6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术 6Cz%i 6)  
6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术 wh)Ujgd  
6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术 SVj4K \F  
6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究  <6[P5>  
6.3.1 数据处理系统总体设计 n|Smy\0  
6.3.2 数据预处理 $<v{$UOh  
6.3.3 误差补偿及结果 <WGx 6{  
参考文献 ?^3Q5ye  
V{+5Fas^l  
第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术 3_cZaru  
7.1 超精密加工环境监控技术概述 f<}>*xH/k  
7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展 ua HB\Uc  
7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展 8zWKKcf7t  
7.2 超精密加工环境无线监控系统原理 LG> lj$hO  
7.2.1 加工环境无线监控系统构成 SRBQ"X[M2  
7.2.2 加工环境无线监控对象 Sz3Tp5b  
7.2.3 加工环境无线监控系统网络 9&7$oI$!J  
7.3 加工环境无线监控系统技术体系 U?sio%`(  
7.3.1 系统硬件组成 j%@wQVxq  
7.3.2 系统软件组成 [lbe_G;  
7.4 加工环境无线监控系统监控实例 FNB4YZ6  
参考文献 X4dXO5\  
;JAb8dyS2  
第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制 A@qwD300Vo  
8.1 亚表面损伤概述 sV5S>*A[  
8.1.1 表面质量与完整性的研究内容 cO^}A(Ma(  
8.1.2 亚表面损伤的表现形式 `ot <BwxJ  
8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响 P K9BowlW  
8.2 亚表面损伤的形成机理 Bgy?k K2[  
8.2.1 亚表面裂纹的形成机理 ts=KAdcJ  
8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理 ?84B0K2N s  
8.2.3 亚表面层材料组织变化机理 <$ oI  
8.3 亚表面损伤的检测与评价 ^,WXvOy  
8.3.1 损伤性检测技术 jpI=B  
8.3.2 无损检测技术 /\C5`>x  
8.3.3 亚表面损伤的评价 5U5)$K'OA  
8.3.4 亚表面损伤的预测 nD/; Gq  
8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制 `-QY<STTP9  
8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术 zy!mP  
8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术 [H&Z / .{F  
参考文献 <oP"kh<D4  
cJ#|mzup  
关键词: 光学元件
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