先进光学元件微纳制造与精密检测技术

《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表，完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统；重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术；围绕实现确定性抛光，详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术；介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术，加工轨迹规划原理和数据处理方法，以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 (c*7VO;  
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《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富，理论分析深入，既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展，又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果，对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。 5@r_<J<>  
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目录 YiQeI|{oN  
第1章 绪论 kp<}  
1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求 c5mhl;+'  
1.1.1 先进光学元件的特点 8wH41v67F  
1.1.2 先进光学元件的应用 V.P5v{  
1.1.3 先进光学元件的制造技术要求 v|,[5IY  
1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴 7}iewtdy,  
1.2 先进光学元件的制造技术 EU&3Pdnd  
1.2.1 光学元件的模压成形技术 bTo@gJkn  
1.2.2 光学元件的精密切削技术 :vgh KI  
1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术 GqK&'c  
1.2.4 光学元件精密研抛技术 ;&t1FH#=  
1.2.5 精密光学加工环境控制技术 '@}?
NV0  
1.3 先进光学元件的检测与评价技术 e$xv[9  
1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点 u`H@Q&(^wa  
1.3.2 光学元件的检测技术 &:e}4/G  
1.3.3 光学误差的评价方法 OV@h$fg  
参考文献 D=I5[t0c4  
2'UFHiK  
第2章 先进光学元件加工装备技术 UV *tO15i  
2.1 机床设计理论 ZjI/zqBm  
2.1.1 机床设计要求 _.J[w6  
2.1.2 机床设计方法 Ow .)h(y/  
2.2 超精密机床关键部件及技术 >I66R;  
2.2.1 主轴部件 [Yahxw}  
2.2.2 直线导轨部件 g]PLW3  
2.2.3 微位移进给部件 $M3A+6["H  
2.3 超精密机床数控技术 w]5f3CIm  
2.3.1 数控技术 39a]B`y  
2.3.2 超精密加工数控系统 T~ q'y~9o  
2.3.3 开放式数控系统 glKs8^W  
2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例 :+dWJNY:  
2.4 超精密磨削加工装备 3PR7g  
2.4.1 超精密加工装备技术综述 w2C!>fJ]1  
2.4.2 超精密磨削成形机床 z1@sEfk>  
2.5 超精密加工工具技术 p7=^m>Z6  
2.5.1 超精密切削加工刀具技术 B| 0s4E  
2.5.2 超精密磨削砂轮技术 $>rfAs!  
参考文献 ka9v2tE\  

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第3章 先进光学元件磨削技术 l<MCmKuYp  
3.1 超精密磨削加工发展 U%PMV?L{  
3.1.1 先进光学元件磨削技术概述 ?[4khQt  
3.1.2 延性磨削和镜面磨削 !
)*T  
3.2 超精密磨削过程分析 o)'=D(  
3.2.1 超精密磨削机理 o? xR[N-J  
3.2.2 磨削过程基本参数 kc(b;EA  
3.3 超精密磨削加工关键技术 .2S
IU4[P  
3.4 砂轮修整 ]H9HO2wGQ  
3.4.1 杯形砂轮修整 g:e8i~  
3.4.2 ELID在线电解修整 @LMV?  
3.4.3 放电修整 +
?m=f}>W1  
3.4.4 激光修整 96V, [-arf  
3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术 /:L&uqA  
3.5 非球面磨削加工技术 90(oV&  
3.5.1 微小非球面加工技术 J<$'^AR9"q  
3.5.2 大口径非球面磨削加工技术 #?d>S;)+  
3.5.3 自由曲面磨削加工技术 P9cI{RI  
3.6 工艺软件设计开发 &i}cC4i   
3.6.1 数控编程格式 *Lk&@(  
3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例 H&Lbdu~E  
3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例 =Q0)t_z_  
3.7 超声振动复合磨削加工技术 7a.#F]`  
3.8 加工实例 d_|v=^;  
参考文献 _ ~$0cj<  
OZ]3OL,  
第4章 先进光学元件抛光技术 e5\1k#@  
4.1 超精密抛光加工发展 CvSG!l.6f<  
4.2 平面光学元件抛光技术 Vm8_ !$F  
4.2.1 平面抛光原理 l:C0:m%  
4.2.2 平面抛光轨迹控制 J0)WRn"h  
4.2.3 平面抛光材料去除模型 ~#x!N=q  
4.3 非球面光学元件抛光技术 &aht K}u  
4.3.1 非球面气囊抛光原理 \Nn%*?f  
4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制 (Jr;:[4XC  
4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制 0<Y&2<v  
4.3.4 气囊抛光材料去除模型 tZ2iSc  
参考文献 O9IjU10:  
x};g!FYfkB  
第5章 先进光学元件精密检测技术 wDTV /"Y  
5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术 QO^X
7A"?X  
5.1.1 摆臂式轮廓检测法 .Zz7LG{  
5.1.2 长行程轮廓检测法 EHM 7=|#  
5.1.3 五棱镜轮廓检测法 v%e"4:K}?  
5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术 T:n^$RiT  
5.2.1 零位干涉检测技术 ]OUOL/J  
5.2.2 非零位干涉检测技术 J)&
+y;.  
5.3 光学非球面精密检测平台 4Lq]yUj  
5.3.1 小型光学非球面精密检测平台 PvCE}bY{}  
5.3.2 大型光朝E球面精密检测平台 I:7,CV  
参考文献 H~K2`Cr)4  
x%7x^]$  
第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术 ]b$,.t5  
6.1 先进光学元件检测轨迹规划 KD*4n'm!>  
6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划 W8rn8Rh  
6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划 .F|WQ7Mu  
6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术 TBp5xz`  
6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术 a8U2c;  
6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术 J}u1\Id%  
6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究 3CRBu:)m  
6.3.1 数据处理系统总体设计 ?uBC{KQ}Y  
6.3.2 数据预处理 3"%44'  
6.3.3 误差补偿及结果 |hyr(7  
参考文献 6%y: hLT  

<b40\Z{+  
第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术 R;ug+N  
7.1 超精密加工环境监控技术概述 2DQC)Pe+z  
7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展 iKKWn*u  
7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展 _n g
MC]-T  
7.2 超精密加工环境无线监控系统原理  ]bSt[  
7.2.1 加工环境无线监控系统构成 A84HaRlkF5  
7.2.2 加工环境无线监控对象 _kLoDju%  
7.2.3 加工环境无线监控系统网络 ;VBfzFH  
7.3 加工环境无线监控系统技术体系 l.)!jWY  
7.3.1 系统硬件组成 #nhAW  
7.3.2 系统软件组成 9R3=h5Y  
7.4 加工环境无线监控系统监控实例 Agf!6kh  
参考文献 GTe9@d  
b)@x@3"O  
第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制 /_(Dq8^g@  
8.1 亚表面损伤概述 Zt=X %M|aw  
8.1.1 表面质量与完整性的研究内容 a{,t@G  
8.1.2 亚表面损伤的表现形式 [J3;U6  
8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响 u'>CU  
8.2 亚表面损伤的形成机理 \H(,'w7H  
8.2.1 亚表面裂纹的形成机理 nQ6'yd"  
8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理 ,#haai(  
8.2.3 亚表面层材料组织变化机理 K.7gd1I  
8.3 亚表面损伤的检测与评价 U7=Z.*/62  
8.3.1 损伤性检测技术 95&HsgdxJ  
8.3.2 无损检测技术 g5[3
[Z(.  
8.3.3 亚表面损伤的评价 9tQk/niMM5  
8.3.4 亚表面损伤的预测 .&dcJh*O+  
8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制 h]$zub
 
8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术 t|lv6-Hy9  
8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术 WGn1pW  
参考文献 Y8(yOVy9  
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