先进光学元件微纳制造与精密检测技术

《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表，完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统；重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术；围绕实现确定性抛光，详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术；介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术，加工轨迹规划原理和数据处理方法，以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 P=Jo+4O  
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《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富，理论分析深入，既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展，又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果，对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。 ^*Q ?]N  
(OL4Ex']  
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目录 djG*YM\B  
第1章 绪论 h"Q8b}$^)  
1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求 5d^sA;c  
1.1.1 先进光学元件的特点 69Ne
Q$](  
1.1.2 先进光学元件的应用 Lv7(st%`  
1.1.3 先进光学元件的制造技术要求 ,PW'#U:  
1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴 WDD%Q8ejV&  
1.2 先进光学元件的制造技术 2- h{N  
1.2.1 光学元件的模压成形技术 R|, g<  
1.2.2 光学元件的精密切削技术 sb*G!8j  
1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术 Eyqa?$R  
1.2.4 光学元件精密研抛技术
%OCb:s  
1.2.5 精密光学加工环境控制技术
LL|r A:  
1.3 先进光学元件的检测与评价技术 m?}6)\ob  
1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点 M"Hf :9Rk  
1.3.2 光学元件的检测技术 ()?(I?I
I  
1.3.3 光学误差的评价方法 1(R}tRR7R  
参考文献 tSUEZ62EY  
F~W6Bp^W  
第2章 先进光学元件加工装备技术 fU}ub2_in  
2.1 机床设计理论 [l??A
3G  
2.1.1 机床设计要求 B
dfw
a  
2.1.2 机床设计方法 MJO-q $)c  
2.2 超精密机床关键部件及技术 @b%=H/5\  
2.2.1 主轴部件 /C:gKy4  
2.2.2 直线导轨部件 yx[/|nZDC4  
2.2.3 微位移进给部件 |syR
6(U}  
2.3 超精密机床数控技术 vn8aFA  
2.3.1 数控技术 U'_Q>k  
2.3.2 超精密加工数控系统 Pmx-8w  
2.3.3 开放式数控系统 }R2u@%n{  
2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例 V2EUW!gn 2  
2.4 超精密磨削加工装备 b_taC^-l  
2.4.1 超精密加工装备技术综述 iWkWR"ysy  
2.4.2 超精密磨削成形机床 \*?~Yj#  
2.5 超精密加工工具技术 _;
y9
$"A  
2.5.1 超精密切削加工刀具技术 VCkq"f7cw  
2.5.2 超精密磨削砂轮技术 Q3~H{)[Kq  
参考文献 Hvi49c]]  
&6!)jIWJ  
第3章 先进光学元件磨削技术 *N<]Xy@  
3.1 超精密磨削加工发展 g:@#@1rB6  
3.1.1 先进光学元件磨削技术概述 (5YM?QAd  
3.1.2 延性磨削和镜面磨削 sll\g  
3.2 超精密磨削过程分析 .~;\eW[  
3.2.1 超精密磨削机理 9.-S(ZO  
3.2.2 磨削过程基本参数 0[(8  
3.3 超精密磨削加工关键技术 !;A\.~-!G  
3.4 砂轮修整 M7~2iU<#  
3.4.1 杯形砂轮修整 6d}lw6L  
3.4.2 ELID在线电解修整 @Nx9)  
3.4.3 放电修整 tDcT%D {:  
3.4.4 激光修整 K69'6?#  
3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术 JH9J5%sp  
3.5 非球面磨削加工技术 \}b%E'+_T  
3.5.1 微小非球面加工技术 dZ
@63a>>@  
3.5.2 大口径非球面磨削加工技术 .L~AL|2_  
3.5.3 自由曲面磨削加工技术 &p@O_0nF  
3.6 工艺软件设计开发 ~<bZ1TD   
3.6.1 数控编程格式 #c!lS<z  
3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例 
U8?mc  
3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例 g3y~bf  
3.7 超声振动复合磨削加工技术 TD0 B%  
3.8 加工实例 /([kh~a  
参考文献 n-
;`Cy`k  
k4J+J.|  
第4章 先进光学元件抛光技术
N4!O.POP  
4.1 超精密抛光加工发展 _`T_">9r  
4.2 平面光学元件抛光技术 a;+9mDXx:  
4.2.1 平面抛光原理 ;A*]l'[-  
4.2.2 平面抛光轨迹控制 a1lh-2xX  
4.2.3 平面抛光材料去除模型 d$!RZHo10V  
4.3 非球面光学元件抛光技术 73;GW4,  
4.3.1 非球面气囊抛光原理 u*`GiZAO  
4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制 }Sv:`9=  
4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制 W|mo5qrLS2  
4.3.4 气囊抛光材料去除模型 U
5de@Y  
参考文献 WOap+  
/U9"wvg  
第5章 先进光学元件精密检测技术 (\x]YMLH  
5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术  qX{+oy5  
5.1.1 摆臂式轮廓检测法 VI86KJu  
5.1.2 长行程轮廓检测法 sO@Tf\d  
5.1.3 五棱镜轮廓检测法 xb8!B  
5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术 NBGH_6DROw  
5.2.1 零位干涉检测技术 W'TZ%K) I  
5.2.2 非零位干涉检测技术 kxv1Hn"`{E  
5.3 光学非球面精密检测平台 rx|pOz,:  
5.3.1 小型光学非球面精密检测平台 %'pgGC"|  
5.3.2 大型光朝E球面精密检测平台 rey!{3U  
参考文献 j#ab_3xH  
L!xi  
第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术 KZf+MSq? B  
6.1 先进光学元件检测轨迹规划 bk[!8-b/a  
6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划 ;4\;mmLVk  
6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划 ww1[rCh\+  
6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术 K$=zi}J W  
6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术 wibNQ`4k  
6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术 SmO~,2=  
6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究 J|73.&B  
6.3.1 数据处理系统总体设计 T>W,'H  
6.3.2 数据预处理 S f# R0SA  
6.3.3 误差补偿及结果 nxFBID  
参考文献 5{,<j\#L  
sYA1\YIii  
第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术 ~P-mC@C  
7.1 超精密加工环境监控技术概述 'I;zJ`Trd  
7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展 pQB."[n  
7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展 /)O"l@ }U  
7.2 超精密加工环境无线监控系统原理 `R^gU]Z,  
7.2.1 加工环境无线监控系统构成 Mi_$">1-W  
7.2.2 加工环境无线监控对象 [$UI8tV  
7.2.3 加工环境无线监控系统网络 hhvyf^o  
7.3 加工环境无线监控系统技术体系 JBZ@'8eqi]  
7.3.1 系统硬件组成 d<Tc7vg4|U  
7.3.2 系统软件组成 !&E-}}<  
7.4 加工环境无线监控系统监控实例 jL}v9$  
参考文献 Y'X%Aw;`  
j
?QDR  
第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制 w0unS`\4  
8.1 亚表面损伤概述 ^
-'fW7[m  
8.1.1 表面质量与完整性的研究内容 qH_Dc=~la  
8.1.2 亚表面损伤的表现形式 \i&<s;  
8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响 Tlr v={  
8.2 亚表面损伤的形成机理 1o>xEWt:0K  
8.2.1 亚表面裂纹的形成机理 6Kz,{F@  
8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理 ~gt@P  
8.2.3 亚表面层材料组织变化机理 @C aG9]  
8.3 亚表面损伤的检测与评价 #g!.T g'  
8.3.1 损伤性检测技术 2Tppcj v  
8.3.2 无损检测技术 |y!A&d=xYn  
8.3.3 亚表面损伤的评价 *VN6cSq  
8.3.4 亚表面损伤的预测 q@2siI~W  
8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制 Znv,9-  
8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术 -UT}/:a  
8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术 69.NPy@  
参考文献 BJ(M2|VH  
`M6)f?|$.