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    [转载]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线飞跃小河
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-04-26
    摘要 @2"uJ6o  
    er_6PV  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 [,U l  
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    建模任务 Y"t|0dO%b  
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    仿真干涉条纹 }N9PV/a  
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    走进VirtualLab Fusion $E[O}+L$#  
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    y3( ~8n  
    VirtualLab Fusion中的工作流程 8o:h/F  
    2. nT k   
    •设置输入场 O)^F z:  
           −基本光源模型[教程视频] ~<u\YIJ  
           •使用导入的数据自定义表面轮廓 d0T 8Cwc b  
           •定义元件的位置和方向 c k[uvH   
           − LPD II:位置和方向[教程视频]QQ1824712522
    WS&a9!3;  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 ,8DC9yM,  
    −非序列追迹的通道设置[用例] bo/U5p  
           •使用参数运行检查影响/变化 ?4%#myO3a  
           −参数运行文档的使用[用例] 5n>zJ ~  
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    VirtualLab Fusion技术 Zah<e6L  
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    文件信息 E @r &K  
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