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摘要 P$U" y/ HQP.7.w7 5 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 H7tv iSTd G*N[t w
 /X_ L >or pZ>yBY?R8> 建模任务 .3C::~: \+V"JIStUj } 8 z :L< 仿真干涉条纹 5=C?,1F$A t/;0/ql\ T9V=#+8#" 走进VirtualLab Fusion ! eZls *Mhirz% iD  /8e}c` "M5 VirtualLab Fusion中的工作流程 9PKXQp ,)[9RgsE •设置输入场 [cnu K
−基本光源模型[教程视频] sg7h&<Xx
•使用导入的数据自定义表面轮廓 9\.0v{&v
•定义元件的位置和方向 T ]w I)
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 gF p3=s0~ •正确设置通道以进行非序列追迹 G~5pMyO R −非序列追迹的通道设置[用例] Sh!c]r>\Q
•使用参数运行检查影响/变化 !=:>y WQ
−参数运行文档的使用[用例] h]s6)tI I
ym{@w3"S  O(W"QY R/v|ZvI VirtualLab Fusion技术 #1haq[Uv7 ;F258/J 文件信息 Z2M(euzfi3 +H3~Infr4f }eVDe(7_
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