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摘要 V3 _b! f05"3L: 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 &J;H @d|| \at-" [.
 Ku0H?qft( 3Zaq#uA 建模任务 /nY) .lSH i{|lsd(+ 6R-C0_'h 仿真干涉条纹 dE5 5 iz9\D*or OC?Zw@ 走进VirtualLab Fusion J)$& z*! $(KIB82&  qu<B%v ~}$\B^z+ VirtualLab Fusion中的工作流程 9Q C"Od9H O>SuZ>g+7 •设置输入场 %
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−基本光源模型[教程视频] 1!>bhH}{D
•使用导入的数据自定义表面轮廓 462!;/ y
•定义元件的位置和方向 ;# R3k
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 h9<mThvgn •正确设置通道以进行非序列追迹 to!mz\F −非序列追迹的通道设置[用例] Th7wP:iDP
•使用参数运行检查影响/变化 ` $.X [\*U
−参数运行文档的使用[用例] %z-dM` i
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