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摘要 &W45.2 0z>IYw|UB 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 ~su>RolaX Gdow[x
 D_l$"35? [U&k" s? 建模任务 t/ [2{'R 4 Cj= R\@ \@@ G\\)er 仿真干涉条纹 In?rQiD9 MSCH6 R"5 HxO+JI`'3 走进VirtualLab Fusion %r^tZ ;; l hkPMu@BI  V D#q\ & D P"RWT/ VirtualLab Fusion中的工作流程 z4YDngf=4 mnA_$W3~I •设置输入场 v?He]e'
−基本光源模型[教程视频] F$UL.`X
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•使用导入的数据自定义表面轮廓 I#OZ:g^
•定义元件的位置和方向 D"4*l5l
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 W> TG?hH •正确设置通道以进行非序列追迹 tR!C8:u −非序列追迹的通道设置[用例] <-1:o*8:}
•使用参数运行检查影响/变化 _W S8I>
−参数运行文档的使用[用例] -8)Hulo/{U
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