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摘要 P%:?"t+J`; sUlf4<_zW 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 LM eI[Ji RNc:qV<H
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g%}P/ /k/X[/WO 仿真干涉条纹 CzG[S\{+ !-)!UQ~|8 $9?:P}$v 走进VirtualLab Fusion ueJ^Q,-t :h(RS ; vu)EB!%[ F'|K>!H VirtualLab Fusion中的工作流程 ho$}#o 9C)VW •设置输入场 J&j5@ −基本光源模型[教程视频] c1E{J<pZ •使用导入的数据自定义表面轮廓 Ub\^3f •定义元件的位置和方向 hV~M!vFxA − LPD II:位置和方向[教程视频]QQ1824712522 8XYxyOl •正确设置通道以进行非序列追迹 JOG-i −非序列追迹的通道设置[用例] Pd+*syOM •使用参数运行检查影响/变化 SZT n=\ −参数运行文档的使用[用例] VWzQXo VHPqEaR SZXSVz0j PESvx>: VirtualLab Fusion技术 Z-lhJ<0/Pa K&&T:'=/ 文件信息 .tKBmq0xo" =COQv= GT G>"n6v'^d
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