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摘要 "$6 . L^9W vk>E Fm8l 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 <GRplkf` /j B 0
+.Cx.Nf( z c4l{+3 建模任务 qbZY[Q+F Mb
+ I4RUXi 5 仿真干涉条纹 K H&o`U(} o
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W% >m Xq= 9L4 走进VirtualLab Fusion C#3K.0a 1:Dm, d;  }u9wD08x G1z0q3< B VirtualLab Fusion中的工作流程 _ W + G~$[(Fhk •设置输入场 -q6d&D'B+
−基本光源模型[教程视频] M
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•使用导入的数据自定义表面轮廓 ;:l >Kac
•定义元件的位置和方向 S1& Df%Ra
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 WJJwhr •正确设置通道以进行非序列追迹 /tqQA vj −非序列追迹的通道设置[用例] ?$Tp|<tx#
•使用参数运行检查影响/变化 b xFDB^
−参数运行文档的使用[用例] @9ndr$t
H 7&bUt/  z($h7TZ$ zmdu\:_X9 VirtualLab Fusion技术 Z7: TPY$b ?loP1 8S
b 文件信息 g]a 5%8*{ -!JnyD -ZKo/ N>6}
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