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摘要 I^ ![)# FC K/f-9hE F 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 q{f\_2[ F`x_W;\
V@-Q&K# KA?%1s(kJ 建模任务 LPu*Lkx ;R#RdUFH =mZYBm,IQ 仿真干涉条纹 {j]cL!Od JW^ ${4 jK*d 走进VirtualLab Fusion I#O"<0
*r T@IzfX7 *PL&CDu=) 4* >j:1 VirtualLab Fusion中的工作流程 {4Kvr4)4 NQ 6oyg@& •设置输入场 GPhhg −基本光源模型[教程视频] 7]T(=gg / •使用导入的数据自定义表面轮廓 qmFbq<& •定义元件的位置和方向 2-8Dc4H]r − LPD II:位置和方向[教程视频]QQ1824712522 GF%/q :9 •正确设置通道以进行非序列追迹 !ae?EJm" −非序列追迹的通道设置[用例] ~Hub\kn •使用参数运行检查影响/变化 Komdz/g −参数运行文档的使用[用例] ``VE<:2+ ,
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