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摘要 \8{C$"F &P[eA u 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 Kdik7jL/J :Oa|&.0l?
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]WAjT t+q:8HNh 建模任务 S-.!BQ@RMZ 5<,}^4wWZ .OXvv _?< 仿真干涉条纹 19 bP0y f o4j^,` 224I%x., 走进VirtualLab Fusion BU<A+Pe> uD Q
d48>  H5^ 'J`0\ Co[ rhs VirtualLab Fusion中的工作流程 B=u@u([. |DwI%%0(F •设置输入场 }y x'U 3
−基本光源模型[教程视频] PZeVjL?E
•使用导入的数据自定义表面轮廓 o-GlBXI;
•定义元件的位置和方向 ;}=v|Dr&I.
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 Y.[^3 •正确设置通道以进行非序列追迹 M=`F $ −非序列追迹的通道设置[用例] GT|=Apnwr%
•使用参数运行检查影响/变化 WnvuB.(@3
−参数运行文档的使用[用例] {-7];e
"9 & 6bBa  6_^ u}me a}hpcr({? VirtualLab Fusion技术 \_De(
p aO yAP-m, 文件信息 @Zjy"u 8`U5/!6fu #RbPNVs
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