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摘要 mya_4I
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 ]w.;4`l* ,G2TVjz
 M8tRjNWS? @7B$Yy# 建模任务 Z4lO?S5%J /Z$&pqs! rnF/H=I/ 仿真干涉条纹 <kCU@SK U-|NY _ ]Z s,Hy 走进VirtualLab Fusion R00 eisd 1&-
</G#  ;1a~pF S -YCOP0 VirtualLab Fusion中的工作流程 {HCz p,Y f`[R7 Q5 •设置输入场 <"_d ]?,
−基本光源模型[教程视频] =F@W g n,
•使用导入的数据自定义表面轮廓 *FM Mjz
•定义元件的位置和方向 }b-g*dn]5
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 (_"*NY0 •正确设置通道以进行非序列追迹 og
kD^ −非序列追迹的通道设置[用例] N|6M P
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•使用参数运行检查影响/变化 VSSu &Q
−参数运行文档的使用[用例] "OdXY" G
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