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    [转载]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线飞跃小河
    技术员
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-04-26
    摘要 s\pukpf@  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 6 /5,n0  
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    仿真干涉条纹 IGQBTdPUa  
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    走进VirtualLab Fusion !Q15qvRS  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 $!MP0f\q g  
    #dL,d6a  
    •设置输入场 wbrOL(q.m  
           −基本光源模型[教程视频] ]oVP_ &E  
           •使用导入的数据自定义表面轮廓 6PYt>r&TO  
           •定义元件的位置和方向 j1%8r*Jj  
           − LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522     nJ]7vj,rB  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 =eUKpYI  
    −非序列追迹的通道设置[用例] &:&l+  
           •使用参数运行检查影响/变化 )9_W"'V  
           −参数运行文档的使用[用例] gBv!E9~l  
     N%}J:w  
    BVNJas  
    ~`FRU/@r  
    VirtualLab Fusion技术 -d A9x~o  
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    文件信息 zKGZg>q  
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