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    [转载]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线飞跃小河
    技术员
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-04-26
    摘要 KZZY9  
    ~ *"iLf@,  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 xYYa%PhIC  
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    建模任务 @d 7V@F0d  
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    仿真干涉条纹 Gvh"3|u ?z  
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    BYM6cp+S  
    走进VirtualLab Fusion _[Imwu}  
    HSRO gBNI:  
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    Bh cp=#  
    VirtualLab Fusion中的工作流程 W~D_+[P|_  
    8Ala31  
    •设置输入场 J-dB  
           −基本光源模型[教程视频] v7./u4S|V  
           •使用导入的数据自定义表面轮廓 [ fzYC'A=  
           •定义元件的位置和方向 JVy|SA&R  
           − LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522     $>O~7Nfst7  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 }a~hd*-#  
    −非序列追迹的通道设置[用例] [NO4Wzc  
           •使用参数运行检查影响/变化 7G-?^  
           −参数运行文档的使用[用例] O |P<s+  
     hPBBXj/=  
    1a{r1([)  
    At=d//5FFP  
    VirtualLab Fusion技术 EXVZ?NG  
    2y^:T'p  
    文件信息 eeCG#NFY5  
    Q9O_>mZy  
    ^-k"gLg  
    ={oNY.(Q  
     
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