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    [转载]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线飞跃小河
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-04-26
    摘要 l{{wrU`  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 _uR-Z_z  
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    建模任务 v%e-vl  
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    仿真干涉条纹 C(7Y5\"P  
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    走进VirtualLab Fusion 9P3jx)K  
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    e%v<nGN.-  
    VirtualLab Fusion中的工作流程 +b7}R7:AFH  
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    •设置输入场 EzDj,!!<w  
           −基本光源模型[教程视频] G n_AXN  
           •使用导入的数据自定义表面轮廓 L29,Y=n@  
           •定义元件的位置和方向 o|s JTY  
           − LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522     pX:FXzYQ  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 OZF^w[ `w  
    −非序列追迹的通道设置[用例] %G<!&E!0h  
           •使用参数运行检查影响/变化 )TceNH  
           −参数运行文档的使用[用例] J {gqm  
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    VirtualLab Fusion技术 ~=Y <B/  
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    文件信息 H:X=v+W  
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