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    [转载]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线飞跃小河
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-04-26
    摘要 6+HpN"?e  
    l(|@ dp  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 l?E7'OEF:  
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    仿真干涉条纹 !l1UpJp  
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    走进VirtualLab Fusion & %4x  
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    3gZ|^h6 +  
    VirtualLab Fusion中的工作流程  boAu  
    apQ` l^  
    •设置输入场 n]G!@-z  
           −基本光源模型[教程视频] <}x_F)E[t  
           •使用导入的数据自定义表面轮廓 1B+uv0lA  
           •定义元件的位置和方向 a& b75.-  
           − LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522     I_xvg >i  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 tM3eB= .*  
    −非序列追迹的通道设置[用例] N3 qtq9{  
           •使用参数运行检查影响/变化 *k$&U3=  
           −参数运行文档的使用[用例] xu[6h?u(h8  
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    mk#xbvvG  
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    VirtualLab Fusion技术 #`R`!4  
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    文件信息 luD.3&0n  
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