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摘要 >C y \s?OvqI: 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 s^ rO I~ t W 53&q\=
 J_YbeZ] 1MHP#X;| 建模任务 0#4_ vg . GdG1e%y]z *F* c 仿真干涉条纹 GHj1G,L@\ S>}j sP:V 9C}Ie$\ 走进VirtualLab Fusion vpXC5|9U g]85[xz  t+Kxww58 9 tkj:8_ VirtualLab Fusion中的工作流程 LSb3w/3M _Z+tb ] •设置输入场 eO; i1 >
−基本光源模型[教程视频] <q
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•使用导入的数据自定义表面轮廓 H
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•定义元件的位置和方向 ]#R'hL%f
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 a(Ka2;M4J •正确设置通道以进行非序列追迹 '< ~r V −非序列追迹的通道设置[用例] UgDa i?b1
•使用参数运行检查影响/变化 :kh l}|
−参数运行文档的使用[用例] @Tb
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