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摘要 pW O-YZ#+ FW& P`Iu 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 Mh'QD)28c bT- (lIU
 f|Kd{ $VO 3 2Q/4 建模任务 oQ~Q?o]Ri _=B(jJZ ,$ 5; 仿真干涉条纹 uxk& 5RY # {7= udB:ys 走进VirtualLab Fusion $1oU^V Y =wK3\rG  R?+Eo(0q, E*IkI))X0 VirtualLab Fusion中的工作流程 td4 *+)'FY #O ]F5JB •设置输入场 : Oo
−基本光源模型[教程视频] mn\e(WoX
•使用导入的数据自定义表面轮廓 n|NI]Qi*
•定义元件的位置和方向 5R4h9D5
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 I%%\ ;Dy •正确设置通道以进行非序列追迹 <oV
_EZ −非序列追迹的通道设置[用例] U6FM`w<
•使用参数运行检查影响/变化 `d6
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−参数运行文档的使用[用例] = sedkrM
KXcG;b[7n  o L k>|J ! Qrlb>1z- VirtualLab Fusion技术 X;sl?8HG!< K"eR 6_ k 文件信息 jD0^,aiG :Y
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