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    [转载]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线飞跃小河
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-04-26
    摘要  G6ES]  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 #)eJz1~  
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    建模任务 >$9yQ9&|  
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    仿真干涉条纹 ':>*=&  
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    走进VirtualLab Fusion xa^HU~  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 r:Tb{cA  
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    •设置输入场 W3j|%  
           −基本光源模型[教程视频] rNO;yL4)ey  
           •使用导入的数据自定义表面轮廓 (:muxby%  
           •定义元件的位置和方向 lR3^&d72?  
           − LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522     1 ![bu  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 @z RB4d$  
    −非序列追迹的通道设置[用例] Q 8E~hgO  
           •使用参数运行检查影响/变化 %dR./{txT  
           −参数运行文档的使用[用例] #9"_|d=l  
     F<WX\q  
    ;z=C]kI6M  
    9m9=O&C~-<  
    VirtualLab Fusion技术 G* 6<pp  
    RN| ..zml  
    文件信息 Qeog$g.HI  
    0)44*T  
    mf'1.{  
    JOq<lb=  
     
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