|
|
摘要 E_sK D ybj IIrh|>d_7 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 EGpN @ RhwqAok|lj
 N3/G6wn KFQ 4vavNh 建模任务 L&h@`NPO a JxI\ss?O ^6R
Sbi\ 仿真干涉条纹 (=#[om( A
u@QP<[f
6&,n\ EXF 走进VirtualLab Fusion K+2k}Hx6J R\DdU-k  l
Ozi| iA*^`NMa T VirtualLab Fusion中的工作流程 ]`@= ;w i,#j@R@.C7 •设置输入场 G bW1Lq&"
−基本光源模型[教程视频] ;Q YUi R
•使用导入的数据自定义表面轮廓 wxC& KrRF
•定义元件的位置和方向 *B<Ig^c
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 J-iFA KN •正确设置通道以进行非序列追迹 hF m_`J&" −非序列追迹的通道设置[用例] z}Y23W&sX
•使用参数运行检查影响/变化 hd+(M[C<9
−参数运行文档的使用[用例] bogw /)1
!~sgFR8W  >i&"{GZ Std?p{
i VirtualLab Fusion技术 cD^`dn %$ =[A5qwyv 文件信息 K|n%8hRy x? 10^~R ]0[Gc
\h}
B=<>OYH
|
