摘要 `)T13Xv Z$/xy" 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
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EK6:~ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
0Ziw_S\d&s K/IWH[ 建模任务 HTX?,C_ ]~'5\58sP ahJ`$U4n CxwoBuG=? 单次FMM仿真结果 MygfT[_ [YlKR'_ t gI{`jS% xMTKf+7 参数扫描(1D) `4=^cyt+ 0jy2H2 H4:`6 PSL fF7bBE)L/| 参数扫描(2D) I ?gSG*m u)}$~E> tX_R_]v3 L^@'q6*} 文件信息 dfKF%27 \Q0[?k |$8~?7Jv gG<~-8uQ 拓展阅读 J^SdH&%Z TaKLzd2 -
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