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    [转载]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线飞跃小河
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-04-26
    摘要 ^#$n~]s  
     Sf'CN8  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 x4 yR8n(  
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    建模任务 vt8By@]:  
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    仿真干涉条纹 m@c)Xci  
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    走进VirtualLab Fusion $I=~S[p  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 WcAkCH!L  
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    •设置输入场 ! mHO$bQ"  
           −基本光源模型[教程视频] >A= f 1DF  
           •使用导入的数据自定义表面轮廓 vzM ^$V  
           •定义元件的位置和方向 C_Dn{  
           − LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522     wT@og|M  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 _b 0& !l<  
    −非序列追迹的通道设置[用例] )e{aN+  
           •使用参数运行检查影响/变化 mt .sucT  
           −参数运行文档的使用[用例] +[VXs~I q  
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    Ac@VGT:9  
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    VirtualLab Fusion技术 TbU#96"~.  
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    文件信息 N7"W{"3D  
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