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摘要 td$RDtW[3 n1R{[\ >1 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 5yV>-XT+- Gcxz$.(
 1guiuR4 9&B #@cw 建模任务 hS%oQ)zvE `!ja0Sq]U "18cD5-# 仿真干涉条纹 CA$|3m9)NM EQHCw< e :8+x&zn 走进VirtualLab Fusion ?g *.7Wc wYv++<
z  4VsttT s!F8<:FRJD VirtualLab Fusion中的工作流程 Eh9{n,5- Vm I
Afe •设置输入场 bi-z%!Z
−基本光源模型[教程视频] t|UM2h
•使用导入的数据自定义表面轮廓 cvtn,Ml6
•定义元件的位置和方向 zE}ry!{
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 {e[~ 1]j3 •正确设置通道以进行非序列追迹 !0KN A1w, −非序列追迹的通道设置[用例] Ogh,
•使用参数运行检查影响/变化 A* ] sN8
−参数运行文档的使用[用例] ojIGfQV
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