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摘要 nA-.mWD_C q #Z@+(^ 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 hLd^ agX l6T-}h:=
 (>UZ<2GPL BOb">6C 建模任务 B 4c]}r+ N=T< _`$5 ]_ mb 7X> 仿真干涉条纹 ';w#w<yaI ;v)JnbsH} ?>D+ ge 走进VirtualLab Fusion :j9 l"5" I T E{@1  *KZYv=s,u oo/qb`-6 VirtualLab Fusion中的工作流程 =t#llgi~ iW]j9} t •设置输入场 }W C[$Y_@
−基本光源模型[教程视频] \+oQd= K@
•使用导入的数据自定义表面轮廓 EA@ .,7F
•定义元件的位置和方向 ?Ny9 'g>?
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 k_L7 kvpt •正确设置通道以进行非序列追迹 *)$Uvw E −非序列追迹的通道设置[用例] .;y.]Z/;
•使用参数运行检查影响/变化 m)ky*"(
−参数运行文档的使用[用例] $u$!t j
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