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摘要 l:(Rb-Wy Es5p}uh.[Y 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 !dcwq;Ea <fO4{k*&
 \+PIe7f_ 3 /6/G}s 建模任务 TCVl8)j 3tS~:6-/ v"DL'@$Ut{ 仿真干涉条纹 - M5=r>1; h1"zV6U YoODR 走进VirtualLab Fusion CC >=UF s4= "kT]  ,w )p"[^b SS.jL) VirtualLab Fusion中的工作流程 rnm03 '{ 9l/E jF^ •设置输入场 vP-M,4c
−基本光源模型[教程视频] L#h:*U{@40
•使用导入的数据自定义表面轮廓 \>/M .2
•定义元件的位置和方向 |FR3w0o
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 l95<QI •正确设置通道以进行非序列追迹 L) : qu −非序列追迹的通道设置[用例] CZ{k@z`r
•使用参数运行检查影响/变化 D$e B ,~
−参数运行文档的使用[用例] F1azZ (
4jm K].  }o dV_WT _sHK*&W{CT VirtualLab Fusion技术 n]CbDbNw7) (zo^Nn9VJ 文件信息 'C+;r?1!h "i)Yvh[y /i|z .nNO
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