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摘要 /*B^@G |]' S].=gR0: 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 K%TlB K V (bP\_F5D
 ((Bu Bu> v&CKtk!3{ 建模任务 @WuB&uF=d G[V?# 7. Oh9jr"Gm= 仿真干涉条纹 e< |' 7.O1
~- r{~K8!=oU] 走进VirtualLab Fusion kzs}U'U @C ),-TM  _J}vPm VU>s{_|{ VirtualLab Fusion中的工作流程 8e_ITqV% ^:0NKq\ •设置输入场 7 R1;'/;
−基本光源模型[教程视频] x)@G+I \u
•使用导入的数据自定义表面轮廓 |qra.\
•定义元件的位置和方向 oL' :07_
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 5p&&EA/ •正确设置通道以进行非序列追迹 TI -#\v9 −非序列追迹的通道设置[用例] 'ad|@Bh
•使用参数运行检查影响/变化 g+ `Ie'o<
−参数运行文档的使用[用例] #+Lo&%p#3
7QiJ1P.z  1KxtHLLU 3mWd?!+m= VirtualLab Fusion技术 Q"]C" ? @:DS/#! 文件信息 } -{l(8- i,/|H]Mzr -0| '{
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