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摘要 %nG>3.% PgA1:i&' 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 e\^}PU \m+=|
 wLb:FB2 wm Ie x 建模任务 f=VlO d g-B{K "z o!U(=:*b 仿真干涉条纹 g$zGiqzMK /y|Z AN FP }I+Ys 走进VirtualLab Fusion +6$ -"lf gs=ok8w 
U@CAQ? m{$}u@a VirtualLab Fusion中的工作流程 %d *0"<v WRwx[[e6z •设置输入场 Qe-Pg^PS]
−基本光源模型[教程视频] W7gY$\1<&
•使用导入的数据自定义表面轮廓 nC!]@lA
•定义元件的位置和方向 0
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− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 K =E+QvS G •正确设置通道以进行非序列追迹 ~WORC\kCW −非序列追迹的通道设置[用例] >)G [ww[
•使用参数运行检查影响/变化 ;\6@s 3
−参数运行文档的使用[用例] G-|c%g!ejf
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