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    [转载]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线飞跃小河
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-04-26
    摘要 B I>r'  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 C61E=$  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 )9 {!=k  
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    •设置输入场 |zp}u(N  
           −基本光源模型[教程视频] 70A* !v  
           •使用导入的数据自定义表面轮廓 &*qAB)* *  
           •定义元件的位置和方向 {u$<-W-&  
           − LPD II:位置和方向[教程视频]QQ1824712522
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    •正确设置通道以进行非序列追迹 %bB:I1V\  
    −非序列追迹的通道设置[用例] Z"9D1Uk  
           •使用参数运行检查影响/变化 p=dM2>  
           −参数运行文档的使用[用例] E>1%7" i<  
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    VirtualLab Fusion技术 q!) nSD  
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