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摘要 M-N2>i # {M/c! 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 k 5D'RD ]'(7T#
 \a Iy68rH, }e M<A$J 建模任务 $0T"YC% e-9unnk : !3 y>bP) 仿真干涉条纹 Bq@wS\W>b} K/`RZ! vc #oALc& 走进VirtualLab Fusion a}fClI-u sG2 3[t8  X vMG09 /T[ICd2J VirtualLab Fusion中的工作流程 :-La
$I> tr8Cx~< •设置输入场 ~aAJn IO
−基本光源模型[教程视频] V(LFH9.Mp
•使用导入的数据自定义表面轮廓 MdZgS# `
•定义元件的位置和方向 o '/C$E4W
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 $3 [\:+ •正确设置通道以进行非序列追迹 PMs_K"- K −非序列追迹的通道设置[用例] uz3pc;0LPY
•使用参数运行检查影响/变化 Ch"8cl;Fm
−参数运行文档的使用[用例] JZ /O0PW
[P=[ h j;  ^85n9a?8 BK9x`Oo 2 VirtualLab Fusion技术 e=sJMzm~ %@n8
?l4 文件信息 w/ 5^R Qk.Q9@ 3W cu aNAJ
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