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摘要 DFt=%aV[ M/::`yJQu 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 eT7!a']x fe&
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 ;n( #b8r9 tnQR< 建模任务 5}.,"Fbr bE7(L
$UF Bo\a 仿真干涉条纹 D..{|29,: sDaT[).Hm u)q2YLK8 走进VirtualLab Fusion t*Z .e.q+ .4S^n P  @Og\SZhn w0a+8gexi VirtualLab Fusion中的工作流程 SY!`a:I t OPvj{Dv$0 •设置输入场 }aHB$}"!
−基本光源模型[教程视频] #}[S j-Vp
•使用导入的数据自定义表面轮廓 &^CL] &/
•定义元件的位置和方向 FbN H+?
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 !(MA5 L- •正确设置通道以进行非序列追迹 ,XWay%8{E −非序列追迹的通道设置[用例] ZI2K- z'e
•使用参数运行检查影响/变化 A&NC0K}G!
−参数运行文档的使用[用例] R`Ys;g/!
f"5lOzj`C  v7{ P].M D-TNFYYy2 VirtualLab Fusion技术 Pi&fwGL ;#5- .z 文件信息 &X#x9|=&O ;Zx K3/(7 ?M V[=LPL
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