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摘要 !{ >'j vH 6j/g/!9c! 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 "wy|gn QJ rO[ cm}
 m:SG1m_6 '1+s^Q'pc 建模任务 f{mWy1NH\ U[,."w]T $KHw=<:)/ 仿真干涉条纹 m E\sD<b y(^t &tgjS @G,pM: t 走进VirtualLab Fusion l1HMH?0| xq$(=WPI  D`d*bNR X$BN &DD VirtualLab Fusion中的工作流程 <hkSbJF 3b{ 7Z 2 •设置输入场 ![1+=F !
−基本光源模型[教程视频] Z(F['Zf
•使用导入的数据自定义表面轮廓 }:+SA
•定义元件的位置和方向 vxE#6
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 )cP &c= •正确设置通道以进行非序列追迹 0 gTv:1F / −非序列追迹的通道设置[用例] MD|T4PPz,}
•使用参数运行检查影响/变化 &tVIl$e
−参数运行文档的使用[用例] nQ*9E|Vx
2~` vV'K  K-,4eq! .bYZkO:oy VirtualLab Fusion技术 yzyBr1s #z6[ 8B 文件信息 <$z6:4uN_ nSy{ {d >^:*x_a9
L!;"73,&(8
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