|
|
摘要 GE\({V.W y|3!E>Up 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 kqGydGh*" oUB9)C~
T7N\b]?j@Y J~ wu*x 建模任务 nFwdW@E9 |WW'qg]Uu l
s%'\} 仿真干涉条纹 =q[ynZ8O\w T;i+az{N:V z]j_,3Hff 走进VirtualLab Fusion y tTppmJF zoj
w^%W _V` QvnT} Ef=4yH?\j VirtualLab Fusion中的工作流程 @"m+9ZY 5,R<9FjW •设置输入场 <g, 21(bc −基本光源模型[教程视频] _HkQv6fXpE •使用导入的数据自定义表面轮廓
oOGFg3X •定义元件的位置和方向 9W j9= − LPD II:位置和方向[教程视频]QQ1824712522 .C1g Dry] •正确设置通道以进行非序列追迹 l{V(Y$xp3 −非序列追迹的通道设置[用例] ,fj~BkW{ •使用参数运行检查影响/变化 Po.izE!C −参数运行文档的使用[用例] YW"nPZNPy~ XOEf," vQ[ TcV U)1hC^[!
VirtualLab Fusion技术 v=D4O . l
Ng)k1 文件信息 &pAmFe 'JAe=K
H `U{#;
>8injW352
|