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摘要 .{ljhE: %+,*$wk#* 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 sR8 3e|4I Xx[,n- rA
 /3^XJb$Sa DCZG'eb 建模任务 ]Q0bL 1 hFh F^ BY [7`@ 仿真干涉条纹 g] }! 1P1h);*Z EirZ}fDJzB 走进VirtualLab Fusion hgW1g# [xrsa!$  DUl+Jqn4B !03JA 9lo VirtualLab Fusion中的工作流程 Jq(;BJ90R XMkRYI1 ~ •设置输入场 {5{VGAD&]>
−基本光源模型[教程视频] X0^@ E
•使用导入的数据自定义表面轮廓 y9/nkF1p
•定义元件的位置和方向 h Luv
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 .81Y/Gad_ •正确设置通道以进行非序列追迹 @~|;/OY>" −非序列追迹的通道设置[用例] ^,ISz-4
•使用参数运行检查影响/变化 Fp@> (M#3
−参数运行文档的使用[用例] Wu|MNB?M
Sa 9VwVUE  w}OBp^V^ l5VRdZ4Uf VirtualLab Fusion技术 $H)!h^7^9 dm=?o 文件信息 ^t7u4w! %s+'"E "E ^< cJ;u*0
DW9MX `!Xc
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