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摘要 "T{WOGU+ 3}!u8,P 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 8lzoiA_9 ;N?(R\*8
tcT=a@ w7.,ch 建模任务 `FQ]ad Fz 1O<6=oH Jx~H4y=z 仿真干涉条纹 8toOdh 0&j90J$` 9I]Bt=2z 走进VirtualLab Fusion a#"orc j /AADFa n@xQ-v v@tEHRadz VirtualLab Fusion中的工作流程 !p).3Kx0 @fYVlHT%E •设置输入场 51b%uz −基本光源模型[教程视频] bj}Lxc ], •使用导入的数据自定义表面轮廓 X!K> .r_Dg •定义元件的位置和方向 vQyY
% − LPD II:位置和方向[教程视频]QQ1824712522 bsDA&~)s •正确设置通道以进行非序列追迹 S4`X^a}pY −非序列追迹的通道设置[用例] L7;~4_M9.V •使用参数运行检查影响/变化 "WuUMt −参数运行文档的使用[用例] v:/\;2 s{R,- \_ 9D+k71"+ \OtreYi VirtualLab Fusion技术 erW2>^My 0t%]z! 文件信息 !IdVg $7 &`@YdZtd" Rlk3AWl2u
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