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摘要 X$/2[o#g -*.-9B~ u 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 H#ClIh?'b |JCU<_<
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- ? 0Won9P 建模任务 [`
sL?&a R :B^ \l~*PG2 仿真干涉条纹 s.8{5jVG :%IoM E '] +Uu'a 走进VirtualLab Fusion X1~1&:V,< _YRE (YZ/  }f2r!7:x 0Fu~%~#E$ VirtualLab Fusion中的工作流程 8_N]e'WUh H /}]FmjN •设置输入场 .YuJJJv
−基本光源模型[教程视频] z;y:9l
•使用导入的数据自定义表面轮廓 =FD;~
•定义元件的位置和方向 0Lb4'25.
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 B$Kn1 k •正确设置通道以进行非序列追迹 kwsp9 0) −非序列追迹的通道设置[用例] OrK&RC
•使用参数运行检查影响/变化 n'emN Ra
−参数运行文档的使用[用例] Z@r.pRr'
= 9 T$Gr  MH a#?Q9 Dl}$pN VirtualLab Fusion技术 Dw zg/F( #Qkroji
qw 文件信息 o6p98Dpg ]LM-@G+Jz `jOX6_z?I
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