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    [转载]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线飞跃小河
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-04-26
    摘要 GE\({V.W  
    y|3!E>Up  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 kqGydGh*"  
    oUB9)C~  
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    建模任务 nFwdW@E9  
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    仿真干涉条纹 =q[ynZ8O\w  
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    走进VirtualLab Fusion y tTppmJF  
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    Ef=4yH?\j  
    VirtualLab Fusion中的工作流程 @"m+9ZY  
    5,R<9FjW  
    •设置输入场 <g, 21(bc  
           −基本光源模型[教程视频] _HkQv6fXpE  
           •使用导入的数据自定义表面轮廓 oOGFg3X  
           •定义元件的位置和方向 9W j9=  
           − LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522     .C1g Dry]  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 l{V(Y$xp3  
    −非序列追迹的通道设置[用例] ,fj~BkW{  
           •使用参数运行检查影响/变化 Po.izE!C  
           −参数运行文档的使用[用例] YW"nPZNPy~  
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    VirtualLab Fusion技术 v=D4O.  
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    文件信息 &pAmFe  
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