漏电定位EMMI

主要用途 q[-|ZA bbr  
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当氧化层崩溃、静电放电破坏、闩锁效应时，产生了过量的电子和空穴结合并产生跃迁光子，由探测器通过显微镜收集这些光子并精确地定位出其位置，通常这个位置就是存在异常的缺陷位置。 m;dm|4L^  
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性能参数 M|d={o9Hp  
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a)InGaAs检测器，分辨率：320*256 像素； '!p=aF9L  
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b)侦测波长范围900nm - 1700nm >QXzMN}o  
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c)像素尺寸：30um x 30um )B6
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d)曝光时间 20ms - 400s 2gt+l?O<PS  
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e)放大倍率：25x, 50x, 200x ,1000x sI'a1$  
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f)Back side EMMI *.oKI@  
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应用范围 "f4<B-9<$  
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　1.P-N接面漏电 o]<jZ_|gB  
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　2.饱和区晶体管的热电子 (?vK_{  
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　3.P-N接面崩溃 TjxA#D)   
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　4.闩锁效应 )>\4ULR83  
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　5.氧化层漏电流产生的光子激发