|
|
摘自User's Manual 10.3节 xgn@1.}G 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量，像差输入文件必须以 Bwj^9 J/ob AANT [ P ] 5, R\tJCK 开头 'e^,#L_!o 以 kngkG|du END TUHC[#Vb? 结束 <k-& Lh:o3 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差，有六种类型： uCO- f<b 在默认模式下（开关29打开），SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P]，并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭，可以控制列表的形式；[P]产生一个输入图像，而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 [y-0w.V=oE 如果开关89打开，则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长，并且很少需要检查所有列表，因此默认关闭此开关。 r CU f,) 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入，如 `T7gfb%1-3 @[h)M3DFd 在这里，GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量（在这种情况下是镜头的TOTL总长度）最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项，用A、S、MUL和DIV结合。例如，要控制厚度4和5的总和，可以输入 7Za rXv
z M 34.567 A TH 4 /tR@J8pV A TH 5 JX8Hn | 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 I4 {uw ge GNR 0.5 10 4 P 1 1)yEx1 在这个例子中，生成一个光线网格，参数0.5和10是权重，每半个光瞳4条光线，全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 -9TNU7 ^ GOALS部分的输入正式地采用如下形式 Q%)da)0:c l/0"'o_0v#
2 Z K:S+c 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 @yiAi:v@ aname是一个最多8个字符的可选字符串，全部由数字组成或以字母开头，名称中没有标点符号或空格。 n6 D9f~8" M表示最小化到指定目标；MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化，而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 %EkV-%o* 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量，其他类型的像差可包含任何数量的分量。 .|W0B+Z8 CeQL8 yJ; 许多像差定义允许参考特定的表面编号，例如输入 %\Dvng6$ M 55 .1 A TH 6 d S]TTU1 为厚度编号6指定目标值55。 ZGO% lkZ. 当提到镜头内的表面编号时，有时使用如下特殊代码是方便的 29 {Ep LB0 S.& =>
LB1 Ey<vvZ LB2 ?.Mw LB3 qd$Y"~Mco LB4 Xi"+{6
... +g/TDwyVH LB9 c6/+Ye =h FLAG cV^ r_E\m FP1 &/QdG= r + FP2 q "BM*:W FP3 IIrh|>d_7 FP4 lh^-L+G:Ok ... ) H=}bqn D>Ij FP9 XG_h\NIL FM1 fLkZ'~e! FM2 ;Z>u]uK4+ FM3 /zxLnT;
5 FM4 ab"6]%_ ... F<FNZQ@<U FM9 |,!]]YO.V APS qyi5j0)W LB0、LB1、LB2指定“last but zero”，“last but one”，“last but two”，依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面，则参考表面6的示例可写为 .quui\I3 M 55 .1 A TH LB2 fKE Zlrw 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面，则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”，依此类推，让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面（在RLE文件中具有用SN APS ...声明）可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时，表面的数量不断变化，并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 c %|K
x t!}QG"ma 在设计变焦镜头时，可以在AANT文件中的用指令 `y"(\ 1 ZOOM nb q8&2M 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置，直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置，可以使用ZGROUP ... END 格式。例如， >
mI1wV[ ZGROUP ALL g-G;8x'n （像差，光线集，等） `N<6)MX3>g END （结束该组） j}P
xq 或者 %LI[+#QE 4#<r}j12z ZGROUP 1 3 5 7 mEK0ID\ ... hG1 \ END NMaZ+g!t( ZGROUP 2 4 6 8 OYnxEdo7 ... ^(}D END Z8vMVo （其他AANT条目） ai,\'%N END （结束AANT文件） jh Rg47A 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组；第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 8&[Lr o9 注意，ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组，而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 "&$ [@c ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0，将JSN表面后的空气间隔增加DT，为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 =*paa #kGgz O 对于多重结构优化，在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 18`Y Y\u( ACON nb WG~|sLg C8^h`B9z&I 除了上述定义之外，还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 V]E# N AEC 监视边缘厚度，其中TH是变化的。 h=?V)WSM AGE 监视玻璃元件的边缘厚度，其中TH是变化的。 rE->z AFE 和AGE一样监视边缘，但在EFILE点A和E给出的孔径，或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径，则在CAO处。 y4N8B:j% AAE 监视空气间隔的边缘厚度，其中TH是变化的。 fEv`iXZG ACC 控制元件的最大中心厚度，其中TH是变化的。 s&Bk@a8 ACM 控制最小中心厚度，其中TH是变化的。 R N, 5>.w ASC 防止表面斜率太陡，其中CV是变化的。 u9 2);1R ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角，其中CV变化。 +,;"?j6<p AAC 孔径控制，监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 t(~V:+W 9 AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 /z=xEnU# ADT 监视透镜直径与厚度的比。 k4n 4 BL AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 8m prK`p #'5C*RO 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分，而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子： d+ca GpaR AANT g?7I7W~?` AEC X
jPPgI GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 Xu.Wdl/{Ra GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 ,(&p "O": GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 -RLY.@'d-M GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 kT-dQ3 2 GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 ul@swp GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 {th=MldJ? GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 Jn |sS(Q} GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 [TW?sW^0 GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 y
4
wV]1 M 33 .1 A BACK m{v*\e7 P ACA 60 1 mp'Z.4 ACC 40 1 2uCw[iZM END thU9s%,
|
