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摘自User's Manual 10.3节 b)'CP Cu* 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 ZS=H1 AANT [ P ] o]&q'>Rf 开头
BM?!? 以 F\+AA END ZcjLv 结束 YRVh[Bqg` 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: ")MHP~ ? 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 *B!Ox}CI.L 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 >I4BysR 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 lfM vNv G 0pq'7B 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 VC/n}7p M 34.567 A TH 4 L @T/4e./ A TH 5
sG#O s 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 7I w^ GNR 0.5 10 4 P 1 n+sv2Wv: 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 WMC^G2 n GOALS部分的输入正式地采用如下形式 6w &<j&V _@>*]g </_QldL_ 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 ]>)shH=Yx aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 V.`hk^V, M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 BN]o!Y 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 I-!7 EC2{! tZ62T{, a 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 rR@]`@9 M 55 .1 A TH 6 9{fP.ifdv7 为厚度编号6指定目标值55。 BEb?jRMjLg 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 Qc*p+N+$ LB0 &cyB}Gv LB1 Pq+|*Y<|& LB2 ]*a(^*}A% LB3 zu?112-v2 LB4 `m(ZX\W] ... )XonFI LB9 hb*Y-$Zp FLAG :a&M]+! FP1 .CEC
g*f FP2 ~\-=q^/! FP3 Ynf "g#( FP4 ^NU_Tp:2^ ... *<cRQfA1
fIpS
P@$< FP9 4S4MQ FM1 Hz,Gn9:p FM2 [K
#$W FM3 wE1 GyN FM4 ]vcT2lr] ... aO1.9!<v FM9 >yn?@ve@ APS , Zie2I?q LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 a+z>pV| M 55 .1 A TH LB2 r:o9:w: 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 @dK_w'W nWCJY:q;5 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 %9zpPrWF ZOOM nb Nz{qu}dt 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, $Xo_8SX, ZGROUP ALL )M7yj O! (像差,光线集,等) ;ja~Q .}4 END (结束该组) ?@x$ h 或者 [YlRz a++gwl ZGROUP 1 3 5 7 u=@zYA( ... ozS'n]8* END FiReb3zR ZGROUP 2 4 6 8 fGj66rMGw ... =4x6v< END tAjT-CXg (其他AANT条目) 3?aM\z; END (结束AANT文件) fMf; 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 k:/Z6TLk3 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 .3+8Ip#z ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 /C`AA/@ ]Y?ZUSCJ 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 5R.jhYAj ACON nb ,e OZv=: gYho$E 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 L1lDDS# AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 H]V(qq{ AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 yWc%z6dXC AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 dcemF AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 8M3DG=D ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 4Z{R36 { ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 Pj56,qd>s ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 -*&aE~Cs ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 A Ef@o+A AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 MftaT5 AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 XOS^&; ADT 监视透镜直径与厚度的比。 K vPLA{ AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 CO
ZfR~} t,w/L*r+w 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: mOjjw_3gq AANT pIm ]WNX( AEC &% (1?\~u GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 ,{"K^ GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 Kzt:rhiB GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 8PeVHpZ GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 Ub\&k[F GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 # NK{]H$fd GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 m=pH G GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 tg%<@U`7= GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 ]t17= Lr? GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 DB jUHirK M 33 .1 A BACK UK8k`;^KI ACA 60 1 N1n\tA? ACC 40 1 Zia6m[ ^Q END l~f9F`~'
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