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摘自User's Manual 10.3节 ^5gB?V, 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 bU"2D.k AANT [ P ] AqP7UL 开头 a
s?)6 以 {{4Sgb END OOX}S1lA 结束 L {i|OK^e 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: iPPW_Q9x 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 9AdA|/WV 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 U:
Q&sq8U 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 S+(-k0 a5xp[TlXn. 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 P 6|\
^ M 34.567 A TH 4 o=VDO,eS A TH 5 nZ2mY!* 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 2oFHP_HVfu GNR 0.5 10 4 P 1 9Iod[ x 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 RK`C31Ws GOALS部分的输入正式地采用如下形式 XZFM|=%X !
uyC$8V*l }[OOkYF#r 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 "R/Xv+; aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 DVq5[ntG M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 B@W`AD1^{ 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 tb-:9*2j- Yw\PmRL"p 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 ,!s;o6|*y M 55 .1 A TH 6 eD4o8[s 为厚度编号6指定目标值55。 hkq[xgX 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 RMx$]wn_ LB0 }t[?g)"M#- LB1 75LIQ!G|= LB2 VSlIeZ LB3 X^U)j
N2 LB4 *3A[C-1~. ... dt(#|8i% LB9 jCMr[ G= FLAG #;32(II FP1 {\Eqo4A5} FP2 n~g,qEI;<x FP3
RTW4r9~' FP4 &K_"5.7-56 ... i0%S6vmaS s3*h=5bX= FP9 !kl9X-IiI FM1 a;Q.R FM2 0P<bS?e<l FM3 _^<HlfOK FM4 .'q0*Pe ... SG{> t*E FM9 ",c(cYVW APS 1{8SKfMdP LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 ]e'Ol$3U9= M 55 .1 A TH LB2 CVh^~!"7j 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 4{h?!Z* Jbud_.h9 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 q89#Ftkt ZOOM nb \o-Q9V 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, Sxrbhnx ZGROUP ALL v(?^#C>6W (像差,光线集,等) R)AFaP | END (结束该组) ]E1aIt 或者 d?RKobk +)#d+@- ZGROUP 1 3 5 7 S(^*DV ... {CM%QMM END =gCv`SFW ZGROUP 2 4 6 8 J
00%,Ju_ ... T>l=0a # END ;~Ke5os=s (其他AANT条目) h\k!X/ END (结束AANT文件) ;O*y$|+PA 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 ?8g[0/ 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 4+t9"SD ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 9Z,vpTE 0f).F 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 $6~D 2K ACON nb 4#$~gTc@ PK#; \Zw 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 28u)q2s^W| AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 (Yz EsY AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 ?u/Uov@rD AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 P;D)5yP092 AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 2f8fA'|O ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 .]+oE$,! ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 A2{u("^[6 ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 @|:_ ? ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 Hmt}@ AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 qEC-'sl< AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 kw8?::
< ADT 监视透镜直径与厚度的比。 Xqt3p6 AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 SomA`y+ERn ^YddVp 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: Y27x;U AANT a"^0;a AEC m}\G.$ h4 GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 EQDsbG0x GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 fcd\{1#u GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 f>k<I[C< GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 CeD O:J=, GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 ,E{z+:Es GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 xS%Z
GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 29DYL GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 bmT_tNz GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 Hi$J@xU M 33 .1 A BACK (0jT#&# ACA 60 1 Fp>iwdjFg ACC 40 1 ;Wa4d`K END 7e\g
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