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摘自User's Manual 10.3节 'x$>h)t] 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 c!d>6:\ AANT [ P ] :U$<h 开头 )`, Bt 以 b%z4u0 END 7`9J.L&,; 结束 gf$5pp- 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: PQ9.aJdw@- 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 yhhW4rz 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 }D02*s 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 ~<!b}Hv 5v<X-8" 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 MBXja#(k M 34.567 A TH 4 n#8N{ya5x1 A TH 5 1iyd{r7| 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 t6V@00M@ GNR 0.5 10 4 P 1 sq1Z;l31" 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 vu-QyPnS|w GOALS部分的输入正式地采用如下形式 c
4xh A14} &.~Xl:lq 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 s
wgn( - aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 #!!Ea'3Iq M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 Hry*.s - 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 v,qK=]ty ~`-z"zM:p 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 =23JE'^= M 55 .1 A TH 6 Sg;c |u 为厚度编号6指定目标值55。 S^ij % 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 TNs;#Q LB0 $C@v LB1 H%2Y8} LB2 eTVI.B@p LB3 c@iP^;D LB4 H]>b<Cs ...
|_7nvck LB9 CtItzp FLAG u7R:7$H FP1 rWk4)+Tk FP2 O
:P%gz4 FP3 mNUc g{+/ FP4 p<%76H
A ... R?bF
b|5t B]jI^(P FP9 ^}nz^+R FM1 P){F2&!P FM2 O{WJi;l FM3 *oR`l32O0z FM4 n$>E'oG2t ... :i'jQ<|wZN FM9 I[b@U<\ APS D4jf%7X!Lu LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 f{_K%0* M 55 .1 A TH LB2 7kbeAJ+{ 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 )'\pa2 X2ShxD| 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 nFE0y3GD8 ZOOM nb L\p@1N?K 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, bqBgq ZGROUP ALL B/@9.a.c (像差,光线集,等) $'M:H_T END (结束该组) |cZKj|0> 或者 7vBB <\ +;nADl+Q ZGROUP 1 3 5 7 {UX[SAQ ... etbB;!6 END tF> ?] ZGROUP 2 4 6 8 h9Zf4@w ... ba_T:;';0 END JpuF6mQ (其他AANT条目) ,XmTKOc END (结束AANT文件) mRIW9V 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 Vj.5b0/( 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 e%#8]$ ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。
%trtP <&&xt
?I. 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 cB5|%@$I ACON nb "D V.%7*^ G~Oj}rn 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 enu",wC3 AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 z1oikg:?4 AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 <{\UE~ AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 y@!kp*0 AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 XWo=?(iA ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 LGb.>O^ ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 k]*DuVCOX ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 V+A1O k) ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 (0%0+vY AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 x
Hw$ AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 qx! NU}6 ADT 监视透镜直径与厚度的比。 @Bfwb?& AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 G:qkk(6_# &HKrmFgX{ 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: :z=/z!5:j AANT
5" U8| AEC 7. y
L> GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 H
>@yC GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 -Kt36:| GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 p-U'5<n GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 7Kx3G{5ja GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 >M7e'}0; GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 `m5cU*@D GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 \IQP`JR GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 cm]D"GFLY GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 '{EBK M 33 .1 A BACK ["N>Po ACA 60 1 gM|X":j ACC 40 1 x9PEYhL? END AR\1w'
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