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摘自User's Manual 10.3节 #t&L}=G{% 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 *b(nX,e AANT [ P ] j@jUuYuDgl 开头 7Y1FFw| 以 /o nZ14 END KN\tRE 结束 ]6?6 k4@ 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: :sJQ r._L 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 T5+9# 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 Gxh1wqLR 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 5P![fX|5 U~Rs?JmTdD 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 L<ET"&b;4 M 34.567 A TH 4 A0gRX] A TH 5 7toDk$jJRg 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 7) Qq GNR 0.5 10 4 P 1 ,^&amWey 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 t'e5!Ma GOALS部分的输入正式地采用如下形式 8QFg6#"O G57c 8}\4 5/m}v'S% 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 'DtC= aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 9%^O-8! M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 zEs:OOM 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 nm]m!.$d J42/S [Rt 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 5T]dQ3[v4 M 55 .1 A TH 6 RZqou|ki 为厚度编号6指定目标值55。 ~r?VXO p"
当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 a<lDT_2b LB0 V&J'2Lq LB1
Jju^4 LB2 I)q"M]~ LB3 D7v_< LB4 sTw+.m{F ... <^Jdl.G LB9 jAy0k
FLAG IRT0
FP1 2[g kDZ FP2 \U.js- FP3 o4nDjFhh FP4
aS, ... }mOo= )C! my%MXTm2 FP9 q0VR&b`?>D FM1 W7"UhM FM2 ZhY03>X FM3 #N;McF;W FM4 lwm
9gka ... nt$q< 57 FM9 V{n7KhN~Y! APS Cm;M;
? LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 7R$O~R3p M 55 .1 A TH LB2 1G)I|v9R 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 B0D /cZTj!M 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 DqHJ *x4 ZOOM nb y+nX(@~f] 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, XvVi)`8!u ZGROUP ALL ~]SCf@pRk (像差,光线集,等) Lr0:yo END (结束该组) vH/RP 或者 yX/{eX5dr |!{ Y:f; ZGROUP 1 3 5 7 U'@ ![Fp ... 7QRkXs END fNz(z\ ZGROUP 2 4 6 8 ch33+~Nn ... izs=5 END I>{o]^xw-D (其他AANT条目) 6B+?X5-6DH END (结束AANT文件) zxkO&DGRbN 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 /QT>" 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 q7<=1r+ ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 jXPbj. hDXaCift 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 #_WkV ACON nb n'[>h0 <<R2
X1 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 3^5h:OaT AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 6-FM<@H{ AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 RAWzQE} AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 ~O|~M_Z AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 NxnaH!wS ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 |AS~sjWSJ ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 @saK:z ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 udmLHc ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 W8F@nY AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 bOSqD[? AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 =J|jCK[r ADT 监视透镜直径与厚度的比。 .5);W;`X AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 #8zC/u\`= %7 QSBL 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: xT(0-o* AANT +\$c_9|C+ AEC 0!oqP1 GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 MJkusR/ GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 suE8"v!sk GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 {Qc,Nl
[? GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 ZMLN
;.{Na GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 TU':Rt GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 <@[;IX`YN GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 W =;,ls GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 "U+c`V=w GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 (H"{r M 33 .1 A BACK h=\1ZQKC) ACA 60 1 -}PE(c1%?q ACC 40 1 Bh'!aip k END HB`'S7Q
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