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摘自User's Manual 10.3节 gy`WBg(7x 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 ?CD[jX}! AANT [ P ] 2C
Fgit 开头 Xaw ~Hh) 以 &J\<"3 END 4 KX\'K 结束 (zX75QSKV 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: aH_0EBRc 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 1+#E|YWJ 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 B|"-Ed 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 f28bBuv1? aL&nD1f=!- 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 a%2K,.J M 34.567 A TH 4 ,u=+%6b)A A TH 5 q?qH7={,eu 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 =gB8(1g8 GNR 0.5 10 4 P 1 ffMk.SqI 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 @R Jr
~y0 GOALS部分的输入正式地采用如下形式 Z7NR%u_|[ <1#hX(Q uO)vGzt3^x 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 }]Nt:_UCX aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 7h.fT` M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 2wJa:=$ 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 v_Hy:O}R 26;Gt8 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 F5y&"Y_ M 55 .1 A TH 6 '6cXCO-_P 为厚度编号6指定目标值55。 $*:g~#bh 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 q+} \(| LB0 !X9^ L^v} LB1 0g;)je2_2? LB2 + KaVvf LB3 l.P;85/+ LB4 +sV~#%% ... .Q^V,[on1T LB9 D"2bgw FLAG %OsxXO? FP1 .K]Uk/W FP2 :cf#Tpq" FP3 ?E<9H/ FP4 Sx8C<S5r< ... Omi/sKFMi 0gGr/78
FP9 Ss0I{0 FM1 GKKDO+A=! FM2
CvR-lKV< FM3 H@u5& FM4 ,"F0#5 ... ~N2=44e FM9 _u'y7- APS DN iH" 0% LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 %P{3c~?DH M 55 .1 A TH LB2 M ziOpraj 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 >FKwFwT4D 7#c4.9b? 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 ^KnK
\ ZOOM nb =ZO lE|4 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, Sfa=AV7K ZGROUP ALL pTB7k3g (像差,光线集,等) |fW_9={1kQ END (结束该组) [9B1 %W 或者 0m=57c$O N:okt)q:% ZGROUP 1 3 5 7 +xgP&nw[- ... #a2gRg END tj*/%G{Y ZGROUP 2 4 6 8 awI{%u_(nA ... lD, ~% END j@w1S[vt (其他AANT条目) ~A1!!rJX END (结束AANT文件) ~@)s)K 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 qGX#(,E9; 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 =R~zD4{" ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 0\vG
< 0AdxV?6z 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 s2GF*{ ACON nb [3I|MZ x(xi%?G 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 4P"bOt5izR AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 15q^&l[Q AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 jd,i=P% AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 ZHa>8x;Mjl AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 6}?d%K ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 01n132k ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 F>3 o0ke} ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 #r]Z2Y] ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 ?Pp*BB,*y AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 D/~1?p AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 xb<|m2<)H ADT 监视透镜直径与厚度的比。 *coUHbP9> AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 Kvo&_: fU?#^Lg 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: 1+WVh7gF AANT 5 7t.Ud AEC ,a,2I GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 3l45(%g+ GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 lux
g1> GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 o5
fV,BJZO GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 vq^';<Wh. GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 ux)*B}/xh GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 } `r.fD GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 5h`L W AB GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 @+H0D" GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 83SK<V6 M 33 .1 A BACK 9Dgs
A`{$ ACA 60 1 fn=A_
i ACC 40 1 vdAd@Z~\ END ruvfp_:
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