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摘自User's Manual 10.3节 efF>kcIC 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 D+vHl} AANT [ P ] g&"__~dS-F 开头 j5;eSL@/ 以 S_B;m1 END ?Y#0Je 结束 nzHsyL 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: u;Q'xuo3 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 AtN=G"c>_ 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 \P_1@sH= 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 *@r)3 q|.
X[~e| 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入
Z\d7dbv M 34.567 A TH 4 {g *kr1JM A TH 5 p`3pRrER 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 C{
{DZ* GNR 0.5 10 4 P 1 i#
1:DiF 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 f`?Y+nu} GOALS部分的输入正式地采用如下形式 WX}"Pj/6 4#Fz!Km $gN1&K 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 0FFx aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 ui,#AZQ#{4 M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 eM*@zo<- 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 )}
y1 V Z[[zYe 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 D^Bd>Ey4 M 55 .1 A TH 6 E3\O?+h# 为厚度编号6指定目标值55。 3n/U4fn_ 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 0.-2FHc9L LB0 I%43rdoPe LB1 VrA9}"1x~* LB2 WVp7H LB3 [{ak&{R,9{ LB4 n)w@\Uyc ... w<<G}4~u| LB9 ~\c]!%)o FLAG t,;1?W# FP1 =~% B}T FP2 ;6I{7[ FP3 MC!K7ji FP4 ?]081l7cd ... yG5T;O& Af:4 XSO6 FP9 &>Q_ FM1 }*m:zD@8$ FM2 Z<Rz}8s FM3 Dcq\1V.e`W FM4 ur-&- G^ ... 1%|+yu1 FM9 !ec\8Tj APS wxARD3% LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 .}6 YKKqS M 55 .1 A TH LB2 8@|_];9#. 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 >De\2gbJ o_p//S#q 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 A+3@N99HeH ZOOM nb K3&v6 #] 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, pJx88LfR
ZGROUP ALL ^u#!Yo.!( (像差,光线集,等) J4h7]
qt END (结束该组) ho2o/>Ef3 或者 8w~I(2S:# !}^c.<38Q ZGROUP 1 3 5 7 6#On .Q ...
GWgjbp END B3u5EgZr ZGROUP 2 4 6 8 AZxx%6 ... 0ANqEQX END `~[zIq:}7 (其他AANT条目) VcT(n7 END (结束AANT文件) j|9;")
1 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 =Z iyT$p 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 3@?#4]D{' ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 7rc^-!k `f}c 1 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 ;Yyg(Ex ACON nb N
VzR 2 ' eO4h^ 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 0]{h,W3]@[ AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 3Ec5:Caz AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 w`,[w,t AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 }8p;w T! AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 ,IxAt&kN ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 s
d>&6R^ ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 XQ--8G ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 dl@ ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 ~N;.hU%l AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 7NRq5d(lP AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 1?`,h6d*= ADT 监视透镜直径与厚度的比。 V{@<Z8sW# AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 R{5Qb?&wOp U^?/nRZ 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: tQbDP!,A*= AANT b{s_cOr/ AEC MFaK=1 GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 .t4IR
=Z GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 B%Dy;zdWd/ GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 U2=5Nt5 GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 QKYIBX GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 <)n1Z[4 GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 41mg:xW(J GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 ~K 8eRT GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 {7[^L1 GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 .B{3=z^
M 33 .1 A BACK Zaf] .R ACA 60 1 L{ ?& .iA ACC 40 1 {f3)!Pei`J END uO>$,s
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