|
|
摘自User's Manual 10.3节 /ckk qk " 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量，像差输入文件必须以 r^6@Zwox] AANT [ P ] k6"(\d9o 开头 LCSvw 以 Aa_@&e END vLxaZWr 结束 |$
^ 3 5F 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差，有六种类型： Q9 AvNj>X 在默认模式下（开关29打开），SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P]，并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭，可以控制列表的形式；[P]产生一个输入图像，而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 "Y^j=?1k 如果开关89打开，则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长，并且很少需要检查所有列表，因此默认关闭此开关。 S`YT"|~ 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入，如 r+m.! +  HI{q# 在这里，GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量（在这种情况下是镜头的TOTL总长度）最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项，用A、S、MUL和DIV结合。例如，要控制厚度4和5的总和，可以输入 C) R hld M 34.567 A TH 4 h STcL:b
A TH 5 OqS!y(
( 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 u=Ik&^v
Wq GNR 0.5 10 4 P 1 r'y N c&~ 在这个例子中，生成一个光线网格，参数0.5和10是权重，每半个光瞳4条光线，全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 7b08Lo7b GOALS部分的输入正式地采用如下形式 iJE:>qOTD5  ECA<%'$?E
oh:9v+ 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 '*L6@e#U aname是一个最多8个字符的可选字符串，全部由数字组成或以字母开头，名称中没有标点符号或空格。 IV!` ~\@ M表示最小化到指定目标；MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化，而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 4v/MZ:%C` 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量，其他类型的像差可包含任何数量的分量。 yYGs] + lCUYE"o 许多像差定义允许参考特定的表面编号，例如输入 LDEc}XXb M 55 .1 A TH 6 Bk3\NPa 为厚度编号6指定目标值55。 (/<Nh7C1c 当提到镜头内的表面编号时，有时使用如下特殊代码是方便的 o}G`t
Bz LB0 bwhH2 ^ ! LB1
+kd1q LB2 &-qQF`7 LB3 Q<u?BA/ LB4 TW>GYGz ... Lu6g`O:[' LB9 Cp/f18zO FLAG \~A qA!)6 FP1 rxX4Cw]\"y FP2 ;PC! FP3
;AJ Q2 FP4 dq.U#Rhrx ... Lfi6b %/z v[|W\y@H/3 FP9 ^wWbW&<Tg FM1 vTx>z\7q, FM2 l+ >eb FM3 XfE9QA[ FM4 hT 1JEu ... P~{8L.w!>W FM9 gZ^ Qt.6Z APS DqQ p47kp LB0、LB1、LB2指定“last but zero”，“last but one”，“last but two”，依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面，则参考表面6的示例可写为 XEA5A.uc M 55 .1 A TH LB2 ;<Z6Y3>I8 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面，则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”，依此类推，让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面（在RLE文件中具有用SN APS ...声明）可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时，表面的数量不断变化，并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 MuOKauYa =3(Auchl$Y 在设计变焦镜头时，可以在AANT文件中的用指令 \X&8EW ZOOM nb xrvM}Il 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置，直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置，可以使用ZGROUP ... END 格式。例如， Y&yfm/R u ZGROUP ALL 9x@|%4Zm" （像差，光线集，等） 2%fIe END （结束该组） 9}9 VZ r? 或者 1}a4AGAp {,sqUq ( ZGROUP 1 3 5 7 ]87BP%G ... xA(z / % END gm)Uyr$ ZGROUP 2 4 6 8 LE<J<~2Z ... exhU ! p8 END T8A(W （其他AANT条目） GqR XNs! END （结束AANT文件） j~ {cT/5Y_ 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组；第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 o:Kw<z,$H 注意，ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组，而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 ]7Vg9&1` ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0，将JSN表面后的空气间隔增加DT，为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 Oq.ss!/z [ -$
Do 对于多重结构优化，在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 |~BnE
ACON nb J;obh.}u"{ To>,8E+GAb 除了上述定义之外，还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 `Fn"QL- AEC 监视边缘厚度，其中TH是变化的。 ;B=aK"\ AGE 监视玻璃元件的边缘厚度，其中TH是变化的。 ffmtTJFC5 AFE 和AGE一样监视边缘，但在EFILE点A和E给出的孔径，或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径，则在CAO处。 KCTX2eNN&h AAE 监视空气间隔的边缘厚度，其中TH是变化的。 wv3,%
lN ACC 控制元件的最大中心厚度，其中TH是变化的。 sRD
fA4/TF ACM 控制最小中心厚度，其中TH是变化的。 6"Fn$ :l? ASC 防止表面斜率太陡，其中CV是变化的。 Gf\h7)T\ ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角，其中CV变化。 @ M"gEeI9 AAC 孔径控制，监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 7v%c. AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 ac l<dY6 ADT 监视透镜直径与厚度的比。 tsc `u> AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 }aRib{L VQla.Y 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分，而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子： EpAgKzVpJ AANT Vbl -Ff AEC 12n:)yQy GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 qazA,|L! GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 /J#(8p GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 2 DW @}[G GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 TsTc3 GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 u Mg\s\Z GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 GkJcd; GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 [Iks8ZWr_ GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 1 .!U{>$ GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 >-A@6Qe_ M 33 .1 A BACK R7bG!1SHl ACA 60 1 . Ima M ACC 40 1 |GnTRahV. END yc] (
|
