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摘自User's Manual 10.3节 57@6O-t- 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 &UrPb%=2H AANT [ P ] :O)\+s- 开头 5!-+5TJI 以 ^1`Mz< END l5P!9P 结束 #w]UP#^io 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: .D3k(zZ 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 M!tR>NMH 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 E%%iVFPX 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 @b&_xT 4++
&P9 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 vC^Ul M 34.567 A TH 4 n:"0mWnL$y A TH 5 EQ [K 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 %p;;aZG GNR 0.5 10 4 P 1 MX7Y1 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 B=}s7$^ GOALS部分的输入正式地采用如下形式 ~e<^jhpJ A1Es>NK[qW 7S/\;DF 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 %`bn=~T^ aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 NG5k9pJ M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 GLp~SeF# 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 sa?s[ ]P*H,&I`# 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 j4wsDtmAU M 55 .1 A TH 6 k
1lK`p 为厚度编号6指定目标值55。 \_)[FC@ 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 X=@bzL;eq LB0 @$fvhEkrT@ LB1 :sX4hZK=G LB2 rL,kDSLs LB3 NT=)</v LB4 f"-3'kqo ... m1D,#=C,_ LB9 o&$Of FLAG 14`S9SL{V FP1 /H*[~b FP2 kq*IC&y FP3 Gvl,M\c9- FP4 >r>pM(h ... l0PXU)>C ,(B/R8ZF~ FP9 V]Kk= FM1 |JiN;
O+K FM2 *7{{z%5Pu FM3 s54AM]a{j FM4 +3J5j+ ... *JOp)e0b FM9 1()pKBHf APS W[LQ$uj LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 'soll[J M 55 .1 A TH LB2 G;e)K\[J 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 \0;EHB Lh-+i 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 E~S~Ld% ZOOM nb QsPZ dC 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, zG7y$\A ZGROUP ALL xUPg~c0 (像差,光线集,等) lQL/I[} END (结束该组) H on,-< 或者 Ow{NI-^K O{Z
bpa^ ZGROUP 1 3 5 7 #iT3aou ... &r!jjT END 8aY}b($*ZI ZGROUP 2 4 6 8 q4niA ... 0KN'\KE END \98|.EG (其他AANT条目) hdpA& OteR END (结束AANT文件) 2U3WH.o 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 q+)s 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 Bam 4%G5 ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 eK/rsr -l<[CI 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 Sr-!-eC ACON nb DuRC1@e m, SWG[~ 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 {'o\#4Wk AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 <$8e;:#: AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 w"!zLB&9[ AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 K>TvM& AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 lmx'w ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 ,Z(J; ~ ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 %`j2?rn ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 TYedem<$ ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 | EFbT> AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 cC$E"m AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 F"a31`L>H ADT 监视透镜直径与厚度的比。 Bz6Zy)&sAL AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 =
$6pL gal.<SVW 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: $B@K AANT }#E~XlX^ AEC :2MHx}]il GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 T]?QCf GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 L)_L#]Yy GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 Q46sPMH+_ GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 ]dHV^! GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 **Q
K}j[D GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 6M@m`c GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 #}zL?s^G GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 ]|/\Sd GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 / Hexv#3 M 33 .1 A BACK #VM-\02o ACA 60 1 !S[7IBk% ACC 40 1 d=:&tOCg2 END M-NY& |