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摘自User's Manual 10.3节 OS;
T; 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 MZ$uWm`/ AANT [ P ] bKmwXDv' 开头 WtZI1`\qe 以 p&RC#wYu END 7Q&-ObW 结束 nyi!D 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: w1"+HJd 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 U&WEe`XM 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。
Qh&Qsyo% 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 cw!,.o%cD )
FR7t 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 <r:AJ; M 34.567 A TH 4 "QdK
Md A TH 5 <v0`r2^S{- 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 q5R|
^uf GNR 0.5 10 4 P 1 lcZ.}
在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 ;WSW&2 GOALS部分的输入正式地采用如下形式 `?Q
p>t d:';s~ r+Ki`HD% 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 0mSP aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 "wOfs$w%s M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 95mf 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 VdK%m`;2 3>1^$0iq 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 pjFO0h_Y M 55 .1 A TH 6 Y'|,vG 为厚度编号6指定目标值55。 :_R:>n9 p 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 Z#d#n!Lz LB0 &Pr\n&9A LB1 +\Vm t[v LB2 \A[l(aB LB3 Lg7A[\c
~ LB4 ?+d`_/IB ... ps 3)d LB9 =D/zC'l FLAG !e|\1v'0 FP1 >-A@6Qe_ FP2 |EE1S{!24m FP3 lDYgtUKG FP4 5X!-Hj
... |HK:\)L% |Ghk8 WA FP9 +Dy^4p?o FM1 O{LCHtN FM2 G|g^yaq> FM3 B'}?cG] FM4 W*C~Xba< ... gN=.}$Kfu FM9 Ym6d'd<9( APS `t U LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 Y b+A{` M 55 .1 A TH LB2 ~29p|X< 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 ]Btkoad <>3)S`C`p 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 A0DGDr PD ZOOM nb LCHMh6 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, iQ/~?'PB ZGROUP ALL F_
F"3'[ (像差,光线集,等) Tz]R}DKB& END (结束该组) !__0Vk[s 或者 [C "\]LiX Y2
@8B6 ZGROUP 1 3 5 7 K!-OUm5A ... <gp?}Lk END VPUVPq~& ZGROUP 2 4 6 8 .;?!I_` ... xl\Kj2^ END p-[WpY3 (其他AANT条目) R+M&\ 5 END (结束AANT文件) U[C4!k:0 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 eM5?fE&!& 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 3'4+3Xo ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 ywa*?3?c [qYr~:` -[ 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 o<`hj&s ACON nb "D(Lp*3hj& g$nS6w|5H 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 rJ!cma AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 7j]v_2S` AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 JVE\{ e) AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 iM+`7L' AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 JWn26, ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 K;?D^n. ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 H9cPtP~a) ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 ?{ir$M ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 g*Y,. AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 8|a./%gixs AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 &k}f"TX2 ADT 监视透镜直径与厚度的比。 I.<c{4K5 AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 ~6 6xO9s f9D e!"*& 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: R?{+&r.X AANT >L7s[vKn AEC 'YL[s GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 1vj/6L GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 ?8b19DMK6 GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 z|l*5@p GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 3N7H7(IR GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 tq3Wga!5 GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 K+B978XD GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 UiFH*HT GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 X\|! GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 ^kez]> M 33 .1 A BACK m~=~DMj ACA 60 1 ^Co-!jM ACC 40 1 mB?x_6#d9 END V2MOD{Maat
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