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摘自User's Manual 10.3节 #Cg}!38 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 `'[7~ Ew[ AANT [ P ] SLQ\Y%F 开头 B8cBQ v 以 .# !'c END *l> [`U+ 结束 L@1,7@
所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: w?]ZU- 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 E^Q@9C<!d 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 .-SDo"K.h 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 JCcN>DtP F[>7z3I 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 T-L|Q,-{- M 34.567 A TH 4 zY7*[!c2 A TH 5 Yw$a{5g 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 D+@-XU<Lp< GNR 0.5 10 4 P 1 w)45SZ. 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。
F^ I\X GOALS部分的输入正式地采用如下形式 eV[`P&j_C JP{UgcaF xN#bzma 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 L*zbike aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 u~$WH, P3 M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 %v5)s(Yu 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 DJmoW !UBy%DN~k 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 nkCecwzr- M 55 .1 A TH 6 ;EgzC^2e 为厚度编号6指定目标值55。 VK @$JwdL 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 ^y:FjQC: LB0 Z} c'Bm( LB1 2{Wo-B,wt~ LB2 `d75@0: LB3 q>^hoW2$C LB4 E|pk. ... .
_1jk LB9 J&A;#<qY FLAG M,crz FP1 ,VPbUo@ FP2 %oAL FP3 Wm<z?.lS FP4 z)5S^{( ... )8[ym/m D+f'*| FP9 ddoST``G FM1 J#0GlK@" FM2 u FMIY(vB FM3 *Wzwbwg
FM4 ]\OWZ{T'j ... b& V`<'{ FM9 L'>s(CR APS c\M#5+ 1j LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 -<_7\09 M 55 .1 A TH LB2 IQT cYl 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 {] O`gG L{=l#vu 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 PfyRZ[3)c ZOOM nb mV<i JZh 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, sYI~dU2H ZGROUP ALL t)ld<9)eB (像差,光线集,等) [(1O" END (结束该组) -PM)EGSk{ 或者 ~uB'3`x )%s +? ZGROUP 1 3 5 7 aM), M]m[ ... Yb}w;F8( END S."7+g7Ar ZGROUP 2 4 6 8 GJX4KA8J ... a'uU,Eb}#w END yIOLs}!SF (其他AANT条目) Q!K`e )R END (结束AANT文件) y?>#t^ 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 @44P4?; 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 @F?=a*s"! ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 k^^:;OR AliRpxxd 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 _S"f_W ACON nb ET)>#zp+s 2Pp&d>E4 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 %w7m\nw@ AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 -u|l}}bh AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 >Rt9xP AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 W
(`c AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 IZ 8y}2 ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 NhA#bn9y? ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 Q2eXK[?* ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 )r9b:c\ ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 y? "@v. AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 [Uli>/%JB AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 pCC 7(Ouo ADT 监视透镜直径与厚度的比。 1TjZ#yP%1 AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 <qhBc:kc s*Ih_Ag=: 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: S5_t1wqBJ AANT u g\w\b AEC se!mb _! GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 Q2/.6O8 GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 JRO$< GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 M$A#I51 GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 HM&1yubh# GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 -(>qu.[8= GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 $D'^t( GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 wGJjA=C GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 |)o#|Qo
GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 RH(V^09[o M 33 .1 A BACK aqMc6N`z ACA 60 1 &[@\ f^~ ACC 40 1 NP/>H9Q2% END EfiU$8y
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