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摘自User's Manual 10.3节 H,TApF89A 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 (km
$qX AANT [ P ] 7HW:;2dL 开头 NB<8M!X/ 以 L@O>;zp; END C<teZz8/w 结束 H^kOwmSzh 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: ??e|ec2% 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 k(Xs&f
` 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 zf)*W#+ 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 G?v<-=I *J^FV^E`` 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 }.D18bE( M 34.567 A TH 4 (t3gNin A TH 5 hwUb(pZ 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 ;g8v7>p GNR 0.5 10 4 P 1 XSof{:V 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 u= dj3q GOALS部分的输入正式地采用如下形式 =LIb0TZ2 00IW9B- g]h@U&`~u_ 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 1E!.E=Y?M aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 I-8I/RRkmP M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 z l`m1k-X 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 P%&|?e~D^ T]Q4=xsv 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 #\N8E-d M 55 .1 A TH 6 k;<@2C 为厚度编号6指定目标值55。 0J[B3JO@M 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 kK4+K74B LB0 1F>8#+B/W LB1 ?A\+s,9 LB2 61QA<Wb LB3 =?4[:#Rh LB4 AW\uE[kg ... C8v LB9 a{e
2*V FLAG @$kzes\ FP1 &b,A-1`w_ FP2 Ha]vG@?+ FP3 s+_8U}R FP4 .KG9YGL# ... Rf)|p; \2~\c#-k FP9 Q;l%@)m+~ FM1 IDpLf*vSG FM2 2N |iOog FM3 4VvE(f FM4 0iC5, ... si~zg\uY FM9 T1RY1hb|g> APS WoNJF6=? LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 9
4bDJy1 M 55 .1 A TH LB2 3&E@#I^], 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 +>eX1WoTy qmPu D/c 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 e\aW~zs 2 ZOOM nb SR.xI:}4 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, ro?.w ZGROUP ALL ;H8`^; (像差,光线集,等) -/B*\X[ END (结束该组) Wn=I[K&& 或者 N`,,sw dj9i*#F ZGROUP 1 3 5 7 (7,Q4T ... 8kd):gZKZ END ~ [/jk !G ZGROUP 2 4 6 8 *'-C/ ... BuAzO>= END 3qu?qD (其他AANT条目) 2YQBw,gG END (结束AANT文件) +7lr#AvU/ 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 @o}J ) 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 =d~pr:.F ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 J^DyhCs ow`F 7 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 ZF#lh] ACON nb Zs0;92WL {#@[ttw$U 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 #@V<{/;49 AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 Ln+ .$ C AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 *\iXU//^) AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 ,G?Kb# AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 h?ijZHG $ ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 *>EV4Hl ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 wr:-n ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。
{fEb> ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 M
$EHx[*5 AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 N48X[Q* AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 )VG>6x
ADT 监视透镜直径与厚度的比。 .DnG}884 AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 fOsvOC \ ux{J 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: -m=!SQ >9 AANT RMs8aZCa AEC )"tM[~e` GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 o?= &kx GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 5[*8CY GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 <?;KF2A({ GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 >wYmx4W> GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 By*YBZ GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 Kxh WZ3 GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 Mbly-l{| GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 Y)GU{ GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 4`V&Yqwl M 33 .1 A BACK .UN?Ak*R ACA 60 1 UH(w, R` ACC 40 1
l] END 3RlNEc%)
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