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摘自User's Manual 10.3节 JK:i- 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 T+p?VngF AANT [ P ] 7+wy`xi 开头 9^ITP!~e* 以 "<6X=|C END _bB:1l?V 结束 qP? V{N 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: feg 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 A2 'W 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 D"kss5>w 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 ~)Z{ Yj9)S .bcoH 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 yH}(0 M 34.567 A TH 4 rN0G| A TH 5 nT.i|(xd. 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 8Mx+tA GNR 0.5 10 4 P 1 i*-[-hn-V 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 :E
]Ys GOALS部分的输入正式地采用如下形式 >2Z0XEe J^t-p U \@IEqm6 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 V`*N2ztSL aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 ^e*Tg& M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 PuyJ:#a 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 9i+OYWUO iveJh2!#< 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 &sh5|5EC M 55 .1 A TH 6 z4GcS/3K 为厚度编号6指定目标值55。 $7k"?M_ 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 @)[Q6w`x LB0 x"/DCcZ LB1 xi5G?r LB2 Udj!y$? LB3 er<yB#/;- LB4 S$O+p&!X ... tOUpK20q.@ LB9 K&T[F! FLAG b$7p`Ay FP1 "cJ))v-' FP2 Uk@du7P1k FP3 ..FEyf FP4 JATW'HWC|I ... Ep>} S rlUo# FP9 l', +l{\Z FM1 :#_Ne?\a@ FM2 j!1
:+H_L FM3 EKQ\MC1 FM4 Ez()W,6]g ... *dmBJi} FM9 !{u`}:\ APS IKaa=r~ LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 @k+&89@G M 55 .1 A TH LB2 \kN?7b^ 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 "2l$}G V{A_\ 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 :mYVHLmea ZOOM nb <8J_[
S 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, ;?{[vLHDL ZGROUP ALL #uRj9|E7 (像差,光线集,等) (5rfeSA^ END (结束该组) \v\f'eQ 或者 RpmOg
e]9Z]a2 ZGROUP 1 3 5 7 {l0[`"EF ... 8]@$7hy8 END 3Q0g4#eP ZGROUP 2 4 6 8 5>Kk>[|. ... Lg%3M8-W~ END $@Bd}35 J (其他AANT条目) VTUY#+3 END (结束AANT文件) yg@8&;bP` 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 M)qb6aD0 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 twWzS
4; ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 ur$=%3vM 5^5hhm4 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 I4"(4u@P ACON nb J@}PBHK+ 1m~-q4D)V 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 @S<6#zR AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 7Gwo:s L AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 ln1!%B; AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 dZWO6k9[H AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 mu*RXLai ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 WGwIc7 ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 Fp&tJ]=B. ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 {j8M78 }3 ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 H`bS::JI- AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 ,{C
hHnJ%# AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 A8X3|<n= ADT 监视透镜直径与厚度的比。 \1ncr4 AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 Ur9L8EdC I7
= 4%)A 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: VPr`[XPXb AANT FP<mFqy AEC J#?`l, GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 kXroFLrY GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 Z mc" GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 HO_!/4hrU GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 G' '9eV$ GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 Ie]k/qw+ Y GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 O))YJh"'_ GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 r_hs_n!6 GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 B,fVNpqo GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 ipe8U1Sc M 33 .1 A BACK `iNH`:[w ACA 60 1 -pHUC't ACC 40 1 yvWM]A END 8F
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