|
|
摘自User's Manual 10.3节 w2'q9pB+ 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量，像差输入文件必须以 6 6,(yxg AANT [ P ] #$x,PeG 开头 OtmDZ.t;` 以 ]i $0 s END BEvY& 3%l 结束 5dI=;L >D 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差，有六种类型： jJ$B^Y"4 在默认模式下（开关29打开），SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P]，并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭，可以控制列表的形式；[P]产生一个输入图像，而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 LSou]{R 如果开关89打开，则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长，并且很少需要检查所有列表，因此默认关闭此开关。 kt2_WW[ 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入，如 t -iXY0%&  `}l%61n0 在这里，GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量（在这种情况下是镜头的TOTL总长度）最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项，用A、S、MUL和DIV结合。例如，要控制厚度4和5的总和，可以输入 "Zgwe,# M 34.567 A TH 4 WJh TU@' A TH 5 .EL3}6"A 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 pqb'L ] GNR 0.5 10 4 P 1 "dX~J3$ 在这个例子中，生成一个光线网格，参数0.5和10是权重，每半个光瞳4条光线，全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 ES&u*X: GOALS部分的输入正式地采用如下形式 J 7R( X  a+cM XMf
QIGU i,R 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 GHcx@||C? aname是一个最多8个字符的可选字符串，全部由数字组成或以字母开头，名称中没有标点符号或空格。 uI7n {4W*x M表示最小化到指定目标；MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化，而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 M ONX&$ 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量，其他类型的像差可包含任何数量的分量。 OX]$Xdb2: z}!g2d 许多像差定义允许参考特定的表面编号，例如输入 V2Vr7v=Y" M 55 .1 A TH 6 KUUA>'= 为厚度编号6指定目标值55。 CW
&z?B ra 当提到镜头内的表面编号时，有时使用如下特殊代码是方便的 o{sv<$ LB0 &L+uu',M0c LB1 1RYrUg"s" LB2 @./h$]6 LB3 "=Br&FN{| LB4 2F :qaz ... 3Tl<ST\ LB9 #{q.s[g*+1 FLAG T?pS2I~ FP1 E{|B&6$[} FP2 Ik0g(-d FP3 $ ZBYOA FP4 5[
zN M ... GEWjQ;g 10FiA; FP9 d&j FM1 ,0W^"f.g{m FM2 ^?V Q$o2 FM3 'Zu S FM4 $y8-JR~ ... FOXSs8"c]! FM9 .T'@P7Hdx APS h 3CA,$HJ LB0、LB1、LB2指定“last but zero”，“last but one”，“last but two”，依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面，则参考表面6的示例可写为 |"gL {D e M 55 .1 A TH LB2 >NKJ @ 4Y 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面，则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”，依此类推，让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面（在RLE文件中具有用SN APS ...声明）可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时，表面的数量不断变化，并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 f jx `|MJ R@o&c%K" 在设计变焦镜头时，可以在AANT文件中的用指令 HT;^u"a~ ZOOM nb ~lw9sm*2v2 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置，直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置，可以使用ZGROUP ... END 格式。例如， Y,}_LS$f ZGROUP ALL =fcg4h5( （像差，光线集，等） jW'YQrj{<Y END （结束该组） L^sjV/\oW 或者 FH~:&; {~U3|_"[pX ZGROUP 1 3 5 7 bF"l0
jS ... 4V JUu`[ END 5R P kAC ZGROUP 2 4 6 8 entU+O r ... \R#SoOd END %j7b0pb （其他AANT条目） )) "gWO END （结束AANT文件） "n%s>@$ 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组；第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 ^#Ii=K-[^ 注意，ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组，而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 FnO@\{M"A ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0，将JSN表面后的空气间隔增加DT，为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 EwP2,$; y}?|+/ dN 对于多重结构优化，在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 T`&z QQ6F' ACON nb n Nt28n@ <Riz!(G 除了上述定义之外，还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 2e`}O AEC 监视边缘厚度，其中TH是变化的。 6_j |@ AGE 监视玻璃元件的边缘厚度，其中TH是变化的。 _'=,c" AFE 和AGE一样监视边缘，但在EFILE点A和E给出的孔径，或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径，则在CAO处。 FZHA19Kb AAE 监视空气间隔的边缘厚度，其中TH是变化的。 KF. {r ACC 控制元件的最大中心厚度，其中TH是变化的。 _ \D % ACM 控制最小中心厚度，其中TH是变化的。 c[h~=0UtJ ASC 防止表面斜率太陡，其中CV是变化的。 n4K! Wv&u ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角，其中CV变化。 '2(m%X\6 AAC 孔径控制，监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 6Tl6A>%s AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 [9; @1I<x ADT 监视透镜直径与厚度的比。 4>KF`?%4 AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 76nH)^%l< *1)>He$qL 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分，而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子： vF72#BNs AANT SMN .AJ
J AEC
~>u .d GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 Vj*-E GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 |+ #Zuq GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 6nx\|F GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 ]fyfL|(; GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 -k'<6op GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 j q+(2 GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 z(|^fi( GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 xcB\Y:
GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 9K+> ;` M 33 .1 A BACK o<G 9t6~ ACA 60 1 zggnDkC5 ACC 40 1 9zp!lw~;+ END 4E$MhP
|
