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摘自User's Manual 10.3节 }~\].I6 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 g!kRa.`u1 AANT [ P ] d8 BK/b 开头 $RFu
m'`5 以 Vp-OGX[ END n`I
jG 结束 TeN1\rA, 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: [;LPeO 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 !
{o+B^^ 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 R\Ynn^w
最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 !VZCM{ N4]6LA6x6 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 :)V0zHo&( M 34.567 A TH 4 7u3b aM A TH 5 I;m@cSJ|j 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 @U.}Ei GNR 0.5 10 4 P 1 ;@-5lCvC(+ 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 68br GOALS部分的输入正式地采用如下形式 FEi,^V Pg8= nhxd 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 F1[[fH aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 1#_j6Q2 M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 AA%g^PWpR 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 p`.fYW:p 5OqsnL_V 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 ZC-evy M 55 .1 A TH 6 m3!MHe~t 为厚度编号6指定目标值55。 exN#!&;
当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 <?@46d?C LB0 ZZJ"Ny.2 LB1 ..{^"`FQ LB2 Ytnr$*5. LB3 jP6G.aiO LB4 ]T$w7puaJ ... ^
J@i7FOb LB9 q'-l;V| FLAG {j4:.fD FP1 _Wsk3AP FP2 8r| FP3 Pw{{+PBu R FP4 Bq=](<>> ... ]1$AAmQH x(6.W"-S FP9 JV{!Ukuyp+ FM1 /FZ )ej\ FM2 1,D
^, FM3 s/|'1E\F FM4 ebwoMG,B- ... I,Y^_(JW FM9 QN5N hs APS 0`zq*OQ LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 J-?(sjIX M 55 .1 A TH LB2 D4S?bZFHo 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 Z+Zh;Ms ?Og ;W9i 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 e%7P$. ZOOM nb PEhLzZX+ 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, "Z?":|%7 ZGROUP ALL I9&<:` (像差,光线集,等) 'B:De"_(N END (结束该组) GgZf6~b1J 或者 O3GaxM\x <xz-7EqbwX ZGROUP 1 3 5 7 @D{[Hj`< ... g{{SY5qDj END 01w/,r ZGROUP 2 4 6 8 <VsZ$ ... FJ.
:*K[ END #Jb$AA!z (其他AANT条目) r{;4(3E2 END (结束AANT文件) @2O\M ,g5 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 \dbtdhT;Z 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 ;!Bkk9r"H ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 c67!OHu mP j0M;2 3@[ 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 1 .k}gl0< ACON nb ZS;kCdL t')I c6.?i 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 >qZRIDE5$ AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 l,8|E AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 M,lu)~H AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 MkG->* AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 3P>@ : ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 zj4JWUM2 ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 l)bUHh5[ ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 I<#kw)W! ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 pYQs|5d AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 IC42O_^ AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 M](U"K? ADT 监视透镜直径与厚度的比。 jlZNANR3 AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 O;tn5 Ric$Xmu 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: ]sE^=;Pv? AANT \NRRN eu| AEC N/p_6GYMa GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 o!d0 GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 dD!SgK [Jv GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 I}{eYXh GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 =="SW"vNi GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 3+'w% I GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 U)6JJv GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 [ j_jee GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 v4zARE9# GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 &kt#p;/p? M 33 .1 A BACK SuSZ,> ACA 60 1 M,P_xkLp ACC 40 1 4|UIyDt8 END )LUl?
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