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摘自User's Manual 10.3节 (!u~CZ; 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 @-07F,'W, AANT [ P ] .|KyNBn 开头 .D"m@~j7 以 @,j*wnR END ZoW?nxY 结束 a@K%06A;' 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: !<8W
{LT 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 |*eZD-f 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 =+-UJo5 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 6dr%;Wp fCn^=8KOZ 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 ha<[bu e M 34.567 A TH 4 MTh<|$
A TH 5 .WJYQi 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 ,5p(T_V/ GNR 0.5 10 4 P 1 %g$o/A$ 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 ?#G$=4;i GOALS部分的输入正式地采用如下形式 F`W?II? Y=?3 js?O Xf]d. : 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 9MJG;+B~ aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 qH>d M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 q'F+OQb1 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 |$Sedzj' !;v|' I 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 #$07:UJ M 55 .1 A TH 6 X=&ET)8-Y 为厚度编号6指定目标值55。 z (wc0I 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 e\l7Iu LB0 /& {A!.; LB1 K#d`Hyx LB2 `wEb<H
LB3 S!CC
}3zw LB4 9G5rcYi ... RWZSQ~ LB9 L|7R9+ZG FLAG z'n:@E FP1 I-*S&SiXjI FP2 %p=M; FP3 pofie$ FP4 n5NsmVW \x ... xGg )Y# %/.b~|,- FP9 5coyr`7mP FM1 Y eo]]i{ FM2 dn+KH+v FM3 \'D0'\:vz FM4 *Kgks 4 ... t\,PB{P:J FM9 ZhaP2pC%4 APS ,!y$qVg'\f LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 ~Ea} /Au M 55 .1 A TH LB2 K7:)nv
E 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 )9`qG:b' 9}<ile7^ 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 +gtbcF@rx ZOOM nb Id .nu/ 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, '9J/T57]e ZGROUP ALL ChPmX+.i_ (像差,光线集,等) IY\5@PVZ END (结束该组) *C*U5~Zq7: 或者 k"iOB-@B+ EgCAsSx( ZGROUP 1 3 5 7 )_S(UVI5 ... K=h9Ce END z E9W8:7 ZGROUP 2 4 6 8 | rtD.,m ... ~IBP|)WA- END |FZ/[9* (其他AANT条目) 9F;>W ET END (结束AANT文件) k)=s>&hl 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 H=vUYz
注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 Zt{[*~ ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 ~-Qw.EdC @,my7?::oM 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 h]}wp;Z ACON nb 8^1 Te m YZ8>OwQz2 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 KBc1{adDx@ AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 >jLY" AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 $Sip$\+* AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 Z0", !6nS AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 ]Q3ADh ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 ~P**O~ ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 .g<DD)` ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 vr6w^&[c^ ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 \V~eVf;~ AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 AH7}/Rc AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 J<h$
wM ADT 监视透镜直径与厚度的比。 E4/Dr}4 AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 Ioa$51& 3,qr-g|;jM 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: ~HsJUro AANT 2uW;
xfeY AEC #h
]g?*}OJ GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 }9OC,Y8?D GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 Om2d.7S GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 /7F:T[ GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 vXZOy%$o GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 0~/_|?]`7 GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 +\
.Lp 5 GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 hnhd{$2Z GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 uHzU-FZ|B GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 0 /U{p,r6` M 33 .1 A BACK \Uq(Zga4) ACA 60 1 i<Zc"v; ACC 40 1 BW*rIn<?G END ~=l;=7 T
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