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摘自User's Manual 10.3节 7o7*g 7 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 ,UNnz&H+f AANT [ P ] Ez+8B|0P 开头 #G]g 以 ?&JKq^9\I END cB6LJ}R 结束 Gm[XnUR7V 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: {ceY:49 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 39bw,lRPV 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 S|O#KE 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 W.l#@p L5wR4Ue) 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 MDoV84Fh M 34.567 A TH 4 OCu/w1bc A TH 5 ,rX|_4n* 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 K(AZD&D GNR 0.5 10 4 P 1 6J <.i 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 A"6& GOALS部分的输入正式地采用如下形式 G5NAwpZf m U= 3w #kgLdd" 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 sn8l3h) aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 8M,$|\U M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 fW$1f5g" 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 JvF0s}#4 w&*oWI$i 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 zFr#j~L" M 55 .1 A TH 6 M%OUkcWCk 为厚度编号6指定目标值55。 HfEl
TC:3f 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 _FCg5F2U LB0 C[CNJ66 LB1 )O8w'4P5 LB2 QTU$mC] LB3 hX:yn:P~ LB4 C3KAQU ... 7w}]9wCN? LB9 L-Mf{z FLAG drJUfsxV FP1 ~&WBA]w'+ FP2 h#Z~x FP3 KB$Y8[ FP4 e
3TKg ... ,U>G$G^ zqLOwzMlLx FP9 U.1&'U* FM1 5}2148 FM2 F1/BtGvQE FM3 y24/lc FM4 >6|Xvtf ... FAq9G-\B FM9 @DKph!cr APS (d['f]S+& LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 #e[igxwi M 55 .1 A TH LB2 #'I<q 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 ]) #?rRw =(Y+u 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 "Mh}n-oju ZOOM nb 1cV0TUrz 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, !gi3J @ ZGROUP ALL bQHJ}aCi (像差,光线集,等) OG^#e+ END (结束该组) i<!1s%i} 或者 B3p79j w}U'>fj ZGROUP 1 3 5 7 A`V:r2hnb ... ,qIut|C* END 4+Y9":< ZGROUP 2 4 6 8 $Zj3#l:rK ... ^ R3g7 DG END G*g*+D[HM (其他AANT条目) :`S\p[5 END (结束AANT文件) [ub)`-6 u 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 G%T<wKD< 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 k;HI-v ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 1$ENNq#0 [pSQ8zdF" 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 ,<;.'r
ACON nb G5UNW<P2C 8O0]hz 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 c#a>> V AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 )jMk~;'r AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 r|3<UR% AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 '&Tz8.jp~ AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 RA}Y$ }^#' ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 k"+/DK,: ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 ^geY Ay ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 ki8Jl}dr ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 8|Wl|@1( AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 E#\'$@8j AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 VVc-Dx ADT 监视透镜直径与厚度的比。 6G:7r [ AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 vH@b ~'LoIv20j) 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: 2lxA/.f AANT :V# B]:Z9 AEC p%5(Qqmlk GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 oSH]TL2@Cd GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 vZIx> GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 ;MW=F9U* GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 87hU#nVYh GNR 0 2.000000 3 1 0.750000
QLZ%m $Z GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 XW*d\vDun GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 I} \`l+ GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 P]4@|u;=6[ GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 l(~NpT{=V M 33 .1 A BACK LF!S`|FF ACA 60 1 SKVQ !^o ACC 40 1 F#|mN0op END 8[IR;gZf
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