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摘自User's Manual 10.3节 m48Y1'4 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 _'p;V[(+M AANT [ P ] 6ng g*kE< 开头 08jQq# 以 7N=VVD~!b END ZM`_P!G 结束 &\[J 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: CZ}tQx5ga 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 q)zvePO# 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 &>+Z$ZD 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 C ( ;7*] 3i~{x[Jc 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 u\?u}t v M 34.567 A TH 4 wX;NU4)n A TH 5 =&GV\ju 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 `<G+N GNR 0.5 10 4 P 1 UU`qI}Ys8F 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 wE2?/wb GOALS部分的输入正式地采用如下形式 6j#5Ag: 6}2Lt[>O 30"G%DFd 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 4HAfTQ 1G aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 ~<LI p%5( M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 0IuU4h5Fr 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 ]A[~2] )\^OI:E 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 ,0xN#&?Ohh M 55 .1 A TH 6 Gr?gHAT 为厚度编号6指定目标值55。 2=RDAipf59 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 a3[aXe LB0 5Z{[.&x LB1 Ye\%o[X LB2 Uz_{jAhW] LB3 ><HXd+- sd LB4 59u7q( ... s!Vtwp9 LB9 |kD?^Nx FLAG (?(ahtT4T FP1 ;H.r6 FP2 de[_T%A FP3 ^m\n[<x^ FP4 wqsnyP/m ... gnt[l0m xgVt0=q FP9 '_8Vay~ FM1 pQD8#y)` C FM2 j*nCIxF FM3 klKt^h- FM4 l8Ox]%F ... h2y@xnn FM9 %* 8QLI APS }T6jQ:?@ LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 IiL?@pIq M 55 .1 A TH LB2 tW +I? 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 <e"2<qVi ZtiOf}@i\ 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 <W1!n$V ] ZOOM nb 8u4]@tJH 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, quR':=S5f ZGROUP ALL {k>m5L (像差,光线集,等) MLJ8m END (结束该组) 59LIK&w 或者 #t\Oq9}^ zuOIos
ZGROUP 1 3 5 7 `S2=LJ ... H$ v4N8D8I END 2w%1\TcB$ ZGROUP 2 4 6 8 F!U+IztZ ... *E>YLkg] END _-^@Jx[ (其他AANT条目) !#3R<bW`R8 END (结束AANT文件) ?tOzhrv 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 V%+KJ}S!Z 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 i/->g:47P ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 nt4> 9; xH0Bk<`V: 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 VFyt9:a ACON nb m{' q(w} edch'H^2+P 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 15870xS AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 jjs-[g'} AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 _A(J^;? AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 ks!
G \<I AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 btee;3` ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 4aGHks8Z,\ ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 ~-,<`VY ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 `XTu$+ ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 U*zjEY:A AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 U7Ps2~x3 AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 <yeG0`}t ADT 监视透镜直径与厚度的比。 {8E
hC/= AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 ")TI,a` B}:[~R' 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: #<)u%)` AANT q4VOK
'N AEC b
afYjF< 3 GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 e-Eoe_k GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 [
%r :V" GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 idV4hMF9 GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 Pocm. GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 jn]{|QZ GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 m]V5}-?al GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 2;A].5>l GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 W"$'$h GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 =3sBWDB[ M 33 .1 A BACK IF uz' ACA 60 1 ,Xao{o( ACC 40 1 Y6V56pOS END a(bgPkPP
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