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摘自User's Manual 10.3节 T#M_2qJ1= 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 `i~kW AANT [ P ] "rHcsuSEw 开头 tk]>\}% 以 *;E\,,Io END @Z}TF/Rx4 结束 ?$v*_*:2h 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: Xtk3~@ 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 zg}#X6\G<_ 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 KA/~q"N 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 k-jlYHsA "=Xky,k 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 { POfT
m} M 34.567 A TH 4 9O4\DRe5c A TH 5 #Fkn-/nL 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 [wkSY>Gu GNR 0.5 10 4 P 1 z(dDX%k@ 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 uY;7&Lw
y1 GOALS部分的输入正式地采用如下形式 =v !'? J]ri|a M`D`-vv 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 k*ZYT6Z? aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 ?QRoSQ6 M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 eW\C@>Ke 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 {>h,@ ]|8*l]oc 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 1$n!Lj=5 M 55 .1 A TH 6 nd)`G$gL 为厚度编号6指定目标值55。 Ha/Gn!l 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 <Kk[^.7C; LB0 3kJ7aBiR< LB1 /4>|6l= LB2 R^VmNj LB3 ;s^F:O LB4 tGwQUn ... $wm8N.I3I LB9
3J}/<&wv FLAG OrRU$5Lo FP1 AVO$R\1YR FP2 ,|^ lqY FP3 q^Ui2 FP4 ;\54(x}|K ... S{S.H?{F
f)#nXTXeC FP9 ;~"#aL50fe FM1 A 6j>KTU FM2 i:sb_U+M FM3 |>dqZ_)v FM4 xlm:erP ... Clmz}F FM9 h,x'-]q APS 4mci@1K#^ LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 W@WKdaJ M 55 .1 A TH LB2 bnxR)b~ 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 ,3bAlc8D7 W~?mr!` 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 [J6q(}f ZOOM nb l.%[s6 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, 0#!Z1:Y ZGROUP ALL ]cP$aixd (像差,光线集,等) *k
!zdV END (结束该组) \heQVWRl 或者 @YI-@ kWxcB7)uk ZGROUP 1 3 5 7 KFf6um ... ;#n+$Q#: END T?EFY}f ZGROUP 2 4 6 8 GcHZ&m4 ... [' cq END q:3HU< (其他AANT条目) u= ydX END (结束AANT文件) 1J[|Ow 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 :eL
ja* 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 qAirH1# ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 T]y^PT<8? 11BfJvs: 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 X.)D"+xnH ACON nb 5u^;71 0RkiD8U5 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 iNEE2BPp AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 8BggK6X AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 vF.Ml AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 XFrgnnt AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 )/4U]c{- ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 nI<Ab_EB ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 [a\>"I\[ ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 #_4JTGJ ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 Nh+ZSV4WJ: AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 3PRK.vf AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 F'3-*>]P ADT 监视透镜直径与厚度的比。 YN($rAkL AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 6^vHFJ$ >
@n?W" 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: )+v'@]r AANT @Yzc?+x AEC \
0aa0= GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 h$I
2T GNR 0 2.000000 3 2 0.750000
;(~H(]D GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 ~4C:2 GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 e2*Fe9: GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 &+-]!^2o GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 @g==U{k;t GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 }q<%![% GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 &Ez]pKjB GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 2kQa3Pan M 33 .1 A BACK qFg"!w ACA 60 1 zx=AT ACC 40 1 ["
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