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摘自User's Manual 10.3节 dr8`;$;G* 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量，像差输入文件必须以 YJEL'k<l AANT [ P ] PgF7ug%,@C 开头 6K zdWT 以 }^Kye23 END |XdkJv] 结束 @ I$; 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差，有六种类型： `]xot8 在默认模式下（开关29打开），SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P]，并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭，可以控制列表的形式；[P]产生一个输入图像，而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 !@<>S>uGG 如果开关89打开，则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长，并且很少需要检查所有列表，因此默认关闭此开关。 ? m$7)@p 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入，如 eVYUJ, x>yeF,q1 在这里，GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量（在这种情况下是镜头的TOTL总长度）最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项，用A、S、MUL和DIV结合。例如，要控制厚度4和5的总和，可以输入 z<rYh96uA M 34.567 A TH 4 5wws8w A TH 5
>v DD . 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 5c~OG6COx GNR 0.5 10 4 P 1 8v)PDO~D}A 在这个例子中，生成一个光线网格，参数0.5和10是权重，每半个光瞳4条光线，全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 K(M@#t1_& GOALS部分的输入正式地采用如下形式 &E>zvRBQ xgeKz^,
mfNYN4Um6 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 \dL# PI3 aname是一个最多8个字符的可选字符串，全部由数字组成或以字母开头，名称中没有标点符号或空格。 <2Qh5umQ M表示最小化到指定目标；MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化，而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 ul',!js? 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量，其他类型的像差可包含任何数量的分量。 *qLOr6 @?GOO D_i 许多像差定义允许参考特定的表面编号，例如输入 -O ro$=% M 55 .1 A TH 6 ktr l | 为厚度编号6指定目标值55。 n?QpVROo\ 当提到镜头内的表面编号时，有时使用如下特殊代码是方便的 : Jh LB0 !:[kS1s>M LB1 I &e ,R LB2 H...!c1M@ LB3 +=y kt f LB4 y!9f acg ... (]yOd/ru/C LB9
jJjD) FLAG hupYiI~ FP1 $z9z'^HqO FP2 &&w 7- FP3 'S
f FP4 o'3t(dyyH ... 'M*+HY\.0 =~&Fq$$ FP9 K%: : FM1 " Iy @PR?> FM2 %EuXL% B FM3 p1=sDsLL FM4 ~lR"3z_Z} ... /#PEEN FM9 2S1wL<qP APS SR#%gR_SC LB0、LB1、LB2指定“last but zero”，“last but one”，“last but two”，依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面，则参考表面6的示例可写为 Sdc;jK 9d! M 55 .1 A TH LB2 4=H/-v'& 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面，则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”，依此类推，让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面（在RLE文件中具有用SN APS ...声明）可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时，表面的数量不断变化，并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 /:a~;i ^ ,Bxq^'D 在设计变焦镜头时，可以在AANT文件中的用指令 0VV 1!g ZOOM nb '\:?FQ
C 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置，直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置，可以使用ZGROUP ... END 格式。例如， Fc;)p88[ ZGROUP ALL t/,k{ 5lX （像差，光线集，等） )T6+} END （结束该组） 'iN8JO> 或者 wovWEtVBU a#=GL B_P( ZGROUP 1 3 5 7 OC'cP[$ _ ... @|&P#wd.u END 46'EZ@#s ZGROUP 2 4 6 8 ~9qDmt,i ... a$I;
L END Llf>C,) （其他AANT条目） _Gy*" ;E END （结束AANT文件） V#W(c_g 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组；第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 %m a1LN[ 注意，ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组，而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 ,vQkv u z ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0，将JSN表面后的空气间隔增加DT，为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 >RxZ-.,a Rww" Z=F 对于多重结构优化，在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 S<Q6b_D ACON nb >L anuv)O Nuk\8C 除了上述定义之外，还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 ( jCE&'?} AEC 监视边缘厚度，其中TH是变化的。 M`umfw T AGE 监视玻璃元件的边缘厚度，其中TH是变化的。 ^HKxaW9W AFE 和AGE一样监视边缘，但在EFILE点A和E给出的孔径，或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径，则在CAO处。 K}O~tff AAE 监视空气间隔的边缘厚度，其中TH是变化的。 4EuZe:'X ACC 控制元件的最大中心厚度，其中TH是变化的。 G%anot ACM 控制最小中心厚度，其中TH是变化的。 pTmG\wA~$ ASC 防止表面斜率太陡，其中CV是变化的。 8|7fd| 6~ ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角，其中CV变化。 $cH'9W}3K AAC 孔径控制，监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 cGC&O%`i,\ AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 _y `'T;~OY ADT 监视透镜直径与厚度的比。 9 4W9P't AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 Ssaf RK$ lN 1 T\ 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分，而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子： BZsw(l4/0' AANT }mz4 3Sq< AEC 6R@
v >} GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 q{c6DCc ]\ GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 h vGb9 GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 =Ze~6vS, GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 uZ Id.+Rk GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 O>w $ GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 VX&KG G.6 GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 g<KBsz!{ GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 xg J2W_ GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 \rADwZm M 33 .1 A BACK ep[ 7#\}5 ACA 60 1 L< QqQ"` ACC 40 1 " I`<s < END W3 2mAz;
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