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摘自User's Manual 10.3节 }Wf \\ 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 &DC
o;Ij; AANT [ P ] zG|}| //} 开头 ;W6P$@'zs 以 f(Q-W6 END 7(<6+q2~ 结束 V_JM@VN}Kk 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: %dMq'j 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 <`8l8cL 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 5}FPqyK" 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 T/Q#V)Tp }r:H7&|& 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 Z6%Hhk[ M 34.567 A TH 4 [UN`~ A TH 5 ;C,D1_20Z 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 <igsO GNR 0.5 10 4 P 1 *I7$\0Q 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 \Ub=Wm\ GOALS部分的输入正式地采用如下形式 S<"T:Y& GmoY~}cg~ N<V,5 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 Yhu
6QyRV aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 4$D:<8B M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 dZ'hTzw~ 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 yM(zc/? !e*BQ3 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 nzI}w7>VU M 55 .1 A TH 6 __jFSa`at 为厚度编号6指定目标值55。 _U<sz{6 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 QF 2Eg LB0 W#1t%hT$ LB1 n DLr17 LB2 =bm<>h7.) LB3 `* !t<?$i LB4 fy at-wbb ... %j9'HtjEa LB9 ^|KX)g FLAG SenDJv00 FP1 ^3*k6h[( FP2 %G!BbXlz FP3 ,#Y>nP0 FP4 &y-(UOqbkP ... A
i` -DgJkyt+< FP9 !Oj].
WQ
FM1 ?`%7Y~ FM2 )LE SdX FM3 kqJ\kd FM4 Gb]t%\ ... kI5`[\ FM9 v{7Jzjd APS \
UCOe LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 Ms8&$ M 55 .1 A TH LB2 *,Bo $:(n 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 [43:E*\$ sYlA{Z" 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 % j4 ZOOM nb *^]Hqf(` 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如,
G-?y;V 1 ZGROUP ALL JY4sB8 (像差,光线集,等) fz
H$`X'M END (结束该组) U#3Y3EdF< 或者 sBozz # NijvFT$V1 ZGROUP 1 3 5 7 0'ha!4h3Z ... "/v{B?~%! END md8r" ZGROUP 2 4 6 8 Kts#e:k@ ... iXl6XwWT%8 END 5(F @KeH> (其他AANT条目)
a`XXz END (结束AANT文件) X.)caF^j 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 24u;'i-y5 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 }[a ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 !F3Y7R
%W!C 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 o /uA_19 ACON nb E3bS Q N;4tvWI 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 b65V*Vbj AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 px!lJtvgo AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 rVU::C+- AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 hdZ{8 rP AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 }*4K{<02 ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 +S!gS|8P ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 4{!7T ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 u(W%snl ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 1k&**!S]% AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 }cDw9;~D AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 m:EO}ws= ADT 监视透镜直径与厚度的比。 H=2sT +Sp AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 iwJeV J f|eUpf%) 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: 2%0J/]n\A" AANT o[C,fh,$ AEC 3f;W+^NY GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 k@HV
wK'y GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 7A!E~/nSC GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 rkw^ RW^ GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 6.X| .N GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 9d7`R' GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 t?&
a?6:J GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 gmG
M[c \ GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 G[34:J GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 KMFvi_8 M 33 .1 A BACK Ja$Ple*XU8 ACA 60 1 ~j}7Fre ACC 40 1 n}NO"eF>-s END _ ^5w f
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