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摘自User's Manual 10.3节 t*BCpC} 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 9_&]7ABV AANT [ P ] @*op5qVw 开头 %O(W;O 以 C$at9=(E6 END Y@ ;/Sf$Q 结束 F!C<^q~! 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: !14v Ovj4{ 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 pF~aR]Q 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 $Zrc-tkV 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 11A;z[Zk G-o6~"J\ 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 K7q R M 34.567 A TH 4 gI Gi7x A TH 5 2'ws@U}lR 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 ?FZ)
LZM GNR 0.5 10 4 P 1 d.U"lP/)D 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 J?&%fI GOALS部分的输入正式地采用如下形式 01%0u8U xWWVU}fd1 NeewV=[% 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 =}+xD|T aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 K1-3!G M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 ~>%% kQt 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 qs
(L2'7/
7<5=fYbr 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 B-$ps=G+z M 55 .1 A TH 6 ?IiFFfs 为厚度编号6指定目标值55。 |Yi_|']# 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 2.a{,d LB0 #Y'ub
5s LB1 |[/XG2S LB2 jyRz53 LB3 TPi{c_
] LB4 c#fSt}J>C ... ;l@Ge`&u LB9 wr6(C: FLAG bg*@N FP1 R8j\CiV17 FP2 gYw=Z_z FP3 t1o_x}z4. FP4 V67<Ky> ... e=",58 )EsFy6K: FP9 ^%33&<mB} FM1 x{VUl FM2 AT"!Ys| FM3 uX&Tn1Kg FM4 Lyjp ... vPu{xy FM9 iB{l: APS ,LDdL LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 69``j{Z+ M 55 .1 A TH LB2 ]ex2c{
G 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 3hR3)(+1 %wmbFj} 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 9E ZOOM nb u< 5{H='6 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, IOH6h= ZGROUP ALL Q~)A
fa{ (像差,光线集,等) $w! v END (结束该组) kO8oH8Vt 或者 1lHBg ia%U;M ZGROUP 1 3 5 7 7p Zd?-6M^ ... [F^j(qTR END lT F#efcW ZGROUP 2 4 6 8 m/1;os5+8 ... Y^}c+)t END
.v#Tj|w^ (其他AANT条目) S>EO6z# END (结束AANT文件) `g,i`< 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 ?~rz'Pu~ 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 x`zE#sD ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 h8? E+0 _!E/em 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 %`^{Hh` ACON nb - f%J_` Vg8c}>7 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 ,Zs*07!$f AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 9rM6kLD AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 =_9grF- AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 iVf8M$!m AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 Q`(h ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 Gbc2\A\ ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 "P8cgj C ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 kk7M$)>d ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 6^hCW`jG AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 vo]$[Cp|4 AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 d<afO?" ADT 监视透镜直径与厚度的比。 2vX!j!_ AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 j<_)Y(x> T Ue=Yj 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: vS+E`[ AANT Vi\kB% AEC >R2o7~ GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 'n4
iW GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 =&v&qne9 GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 XiN@$ GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 >Gi*BB GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 y,vrMWDy GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 Ox}a\B8 GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 ~ZZJ/Cu GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 3q:>NB< GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 }|(v0] M 33 .1 A BACK gqQ"'SRw ACA 60 1 ~<Sb:Izld ACC 40 1 ;\)N7SJ END W)m\q}]FYz
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