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摘自User's Manual 10.3节 V xN!Ki= 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 tli*3YIw AANT [ P ] 319 4] 开头 E=.J*7 以 HmXxM:[4; END J;fbE8x 结束 =>*}qen 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: Mt4`~`6 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 } BP.t$_ 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 q:_-#u 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 V2Z^W^ TIV|7nKL 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 ?r0>HvUf!l M 34.567 A TH 4 ^]LWcJ?"^! A TH 5 dDe$<g5L4 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 ZB}zT9JaE GNR 0.5 10 4 P 1 Ob'[W;p)[w 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 7n#Mh-vq GOALS部分的输入正式地采用如下形式 Y
Odwd}M neWx-O .v) A|{:2 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 ?f6Fj aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 gC@=]Y M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 CfLPs)\ACm 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 Xp^71A?> LZPLz@=&] 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 b<g9L4s M 55 .1 A TH 6 H|N,nkhH} 为厚度编号6指定目标值55。 .|6Wmn-uS 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 xqKj&RuLu LB0 CIt@xi#I LB1 orF8% LB2 w##$SaTI LB3 ~<_PjV LB4 o
3 G* ... ,|R\ Z,s LB9 [{-;cpM\ FLAG z!9w Lo^r FP1 bq}o#d5p-_ FP2 cr{f*U6` FP3 "IdN *K FP4 XuW>GT/ ... [1`&\C_E dBp)6ok#c FP9 z`@|v~i0` FM1 mvW,nM1Y FM2 7gbu7"Qc FM3 g"v-hTx FM4 uHO>FM, ... 8DJoQl9 FM9 |NWo.j>4- APS <bOi } LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 B}p{$g! M 55 .1 A TH LB2 -6>T0- 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 ^5*9BwH` 1A\N$9Dls 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 Y]{~ogsn$: ZOOM nb nJo6;_MI! 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, ??`zW ZGROUP ALL nx'D&,VX (像差,光线集,等) kC-OZ VoO END (结束该组) 0h~7"qUF@ 或者 s(Llz]E~ZX },G5!3 ZGROUP 1 3 5 7 /q >1X!Z ... *5|q_K
Pt END aRF}FE,u ZGROUP 2 4 6 8 P>i[X0UnL ... q'[q] END 3]g|Cwu (其他AANT条目)
5QUL-*t END (结束AANT文件) \$[S=&E 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 z#elwL6 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 5ki<1{aVtZ ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 ^8eu+E.{ Rz9IjL.Z 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 f&
>[$zh ACON nb
h"DxgG R<n'v.~"A 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 S
7 *LV; AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 },LO]N| AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 v46 5Z AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 *Z,?VEO AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 +:?"P<' ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 a8laPN ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 i917d@r( < ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 1iTI8h&[@ ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 %qqX-SF0C AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 U sS"WflB AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 Y(3X5v?[ ADT 监视透镜直径与厚度的比。 w[X/|O AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 p`-Oz] aBonq]W 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: <@z!kl AANT .P^&sl*J AEC B
LI
9(@ GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 qlgo#[i GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 \DC0` GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 yhSbX4Q GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 dF<GuS;l5 GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 i~0x/wSl_ GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 FLzC kzJ:6 GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 `8sC>)lrwu GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 EAPjQA-B? GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 -)LiL M 33 .1 A BACK sOUQd-!" ACA 60 1 Yg kd 1uI. ACC 40 1 Q^k\q END %!r@l7<
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