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摘自User's Manual 10.3节 v{o? #Sk1 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 @d&g/ccMxd AANT [ P ] iAK/d)bq 开头 %*6RzJO6 以 m=H_?W; END yr5NRs 结束 6z Ay)~ 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: &U&Zo@ot"x 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 ugI#ZFjJWE 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 3T1P$E" m 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 #&V5H{ t@)my[ ! 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 &Pq\cNYzW M 34.567 A TH 4 <7^Kt7k A TH 5 ^>^\CP] 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 g2=}G <*0 GNR 0.5 10 4 P 1 _s*!
t 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 Z(HZB GOALS部分的输入正式地采用如下形式 .b,~f 1i3V!!r \45(#H<$ 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 ^X&)'H aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 akC>s8tqlA M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 ;g9% & 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 &DLhb90 c|lU(Tf 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 Sph*1c(R M 55 .1 A TH 6 c4 5?St 为厚度编号6指定目标值55。 P>wZ~Hjk 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 /PqUXF LB0 (@q3^)I4 LB1 >S'>!w LB2 +_~,86 LB3 sKd)BA0` LB4 rz.IoQo ... eu9w|g LB9 6e#wR/ FLAG ;&kn"b}G; FP1 \XS]N_}8> FP2 fa{@$ppx FP3 uNbIX:L, FP4 kOipH |.x ... EkZjO Ci ,QvYTJ{ FP9 @.ZL7$|d FM1 dIJGB== FM2 U5<@<j(@ FM3 @9vvR7{P FM4 yW("G-Nm ... ([KN*OF FM9 -:SIS`0s APS ;SY.WfVA7 LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 azX`oU,l M 55 .1 A TH LB2 ,|pp67 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 J3=BE2L Dm%%e o 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 x=Mm6}/ ZOOM nb /^2CGcT( 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, ?3jdg ]& ZGROUP ALL T3z(k
la (像差,光线集,等) DYRE1! END (结束该组) C:GvP> 或者 ^ ulps**e ]:et~pfW ZGROUP 1 3 5 7 I4ilR$jg ... h8=h >W- END /U*yw5 ZGROUP 2 4 6 8 O]qPmEj ... bulboyA END U$'y_}V (其他AANT条目) FH*RU1Z END (结束AANT文件) R1'`F{56 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 C`4gsqD;Z 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 2EfflZL3 ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 V;93).-$ H/J<Pd$p 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 a)S7}0|R ACON nb JJ5C}`(
zu<3^=3 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 ?/d!R]3 AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 &N\[V-GP2G AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 bk3Unreh AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 Q4wc-s4RN AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 &&PgOFD ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 2OalAY6RS ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 uRQ_'l ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 K"l0w**Og# ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 ]0/p 7N14 AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 JD~a UB% AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 gj+3y9 ADT 监视透镜直径与厚度的比。 *{5>XH{
x AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 8#59iQl (vQ+e 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: 1V%'.l9 AANT A1A3~9HuK AEC H06Bj(Y! GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 Qb`C)Nh: GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 (
v@jc8y GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 GDPo`#~ GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 rkYjq4Z@ GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 )i!^]| $ GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 Q6^x8 GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 }.{}A(^YR GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 jO)&KEh GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 ?63&g{vA M 33 .1 A BACK I]uhi{\C ACA 60 1 ]}2Ztr)zZ ACC 40 1 @
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