|
|
摘自User's Manual 10.3节 bzk@6jR1 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量，像差输入文件必须以 w; }P<K AANT [ P ] mZ7.#R*} 开头 ]#j ]yGV 以 j@ UI N3 END *vCJTz 结束 i )+@'!6 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差，有六种类型： <^
@1wg 在默认模式下（开关29打开），SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P]，并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭，可以控制列表的形式；[P]产生一个输入图像，而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 f lV QG@ 如果开关89打开，则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长，并且很少需要检查所有列表，因此默认关闭此开关。 %%G2w6 3M 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入，如 XBF#ILJ  $FNj>1 在这里，GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量（在这种情况下是镜头的TOTL总长度）最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项，用A、S、MUL和DIV结合。例如，要控制厚度4和5的总和，可以输入 x`WP*a7Fk] M 34.567 A TH 4 }_@*, A TH 5 `rbTB3? 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 ? E^ ~z- GNR 0.5 10 4 P 1 M// q7SHh 在这个例子中，生成一个光线网格，参数0.5和10是权重，每半个光瞳4条光线，全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 )_,*2|b GOALS部分的输入正式地采用如下形式 yS@c2I602  J)x-Yhe
c/^}
=t( 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 ltwX- aname是一个最多8个字符的可选字符串，全部由数字组成或以字母开头，名称中没有标点符号或空格。 -,uTAk0+@ M表示最小化到指定目标；MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化，而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 .Quu_S_ vH 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量，其他类型的像差可包含任何数量的分量。 + Hc [5WL )%- FnW 许多像差定义允许参考特定的表面编号，例如输入 /[q6"R!uMz M 55 .1 A TH 6 Cf91#% :cN 为厚度编号6指定目标值55。 &;&i#ZO 当提到镜头内的表面编号时，有时使用如下特殊代码是方便的 +j1s*}8 LB0 eY-W5TgU LB1 (Dlh;Ic
r9 LB2 O6pswMhAc LB3 Mi%i_T^i LB4 MT [V1I{LV ... )iNM jg LB9 n!2 "pRIi FLAG yS [:C
2v FP1 4c_TrNwP FP2 g
j8rrd | FP3 )D{L<.i_ FP4 9E'fM ... Oz'x5/%G , ;W6 wj FP9 [a:y KJ[ FM1 b|^g51v FM2 3k.{gAZKh FM3 4/;hA
z FM4 cf Bq/2I ... 0"ksNnxK FM9 B 7zyMh APS VgD z:j LB0、LB1、LB2指定“last but zero”，“last but one”，“last but two”，依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面，则参考表面6的示例可写为 5%BexI k M 55 .1 A TH LB2 IFc xyp 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面，则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”，依此类推，让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面（在RLE文件中具有用SN APS ...声明）可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时，表面的数量不断变化，并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 L. ScC ~b}a|K 在设计变焦镜头时，可以在AANT文件中的用指令 NRN3*YGo ZOOM nb W/!M
eTU&E 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置，直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置，可以使用ZGROUP ... END 格式。例如， YT'G#U1x~ ZGROUP ALL 4QC"|<9R （像差，光线集，等） f4UnLig END （结束该组） JL [$B1 或者 I@Pp[AyG "
! F)K ZGROUP 1 3 5 7 4Vl_vTz{i ... @ x_. END Yv<' QC ZGROUP 2 4 6 8 t5t,(^ ;f ... kW#,o 9f\ END 5$f
vI#NO< （其他AANT条目） R % [ZQ K END （结束AANT文件） 7ss Y*1b 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组；第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 ;wo 注意，ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组，而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 l r80RL'_ ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0，将JSN表面后的空气间隔增加DT，为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 5&?[ Vt 1P4cB w% 对于多重结构优化，在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 BIGln`;,f ACON nb Geyy!sr`` I@Cq< :+(3 除了上述定义之外，还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 0U|t@& q AEC 监视边缘厚度，其中TH是变化的。 8 Na.H::cZ AGE 监视玻璃元件的边缘厚度，其中TH是变化的。 -#<6 AFE 和AGE一样监视边缘，但在EFILE点A和E给出的孔径，或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径，则在CAO处。 8T6LD AAE 监视空气间隔的边缘厚度，其中TH是变化的。 Vw-,G 7v&E ACC 控制元件的最大中心厚度，其中TH是变化的。 4'3do>! ACM 控制最小中心厚度，其中TH是变化的。 F.{{g pI ASC 防止表面斜率太陡，其中CV是变化的。 q^!_jMN5 ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角，其中CV变化。 L\0;)eJ#M AAC 孔径控制，监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 zs/4tNXw AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 mj{B_3b5 ADT 监视透镜直径与厚度的比。 Dz d[<Qln AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 J]&^A$ aQ!QrTua- 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分，而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子： y7CC5S ?
AANT a ?D]]0% AEC pK` 1pfih GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 I0iTa99K GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 8;PS>9< GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 /q| r!+ GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 1V f?Rw GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 `iHy Gfm GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 YnR8mVo5Q GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 $4>(} GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 l7h6R$7; 0 GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 -VZn`6% s M 33 .1 A BACK *y+N-uq ACA 60 1 M)x6m|.= ACC 40 1 m:}PVJ-" END FOPfo b[
|
