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摘自User's Manual 10.3节 dep"$pys> 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 DQaE9gmC AANT [ P ] [9#zEURS 开头 a#& ( i 以 *JQ*$$5 END "^;h' 结束 g-]~+7LL 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: K}^#VlY9 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 GNq
f 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 g|7o1{ 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 u]9\_{c]Q ;gD\JA 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 Xtz:^tg M 34.567 A TH 4 F"O\uo:3 A TH 5 ,sL%Ykr 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 0y?;o*&U\ GNR 0.5 10 4 P 1 SgehOu 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 GQ>0E GOALS部分的输入正式地采用如下形式 H:~u(N z ynu0X &>E gKL 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 fwV2b<[ aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 v+W'0ymbnV M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 y$SUYG'v 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 pt,L ^2+Vt=* 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 #Lp}j?Y M 55 .1 A TH 6 ?+^p$'5 为厚度编号6指定目标值55。 <r$h =hM 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 v^8sL` F LB0 l&'q+F LB1 c@3 5\!9 LB2 WKlyOK=} LB3 b \ln XN LB4 zqXF`MAB= ... }$'_%, LB9 *Q/^ib9= FLAG n$r`s`} FP1 |%v:>XEO FP2 /Xb4'Qj FP3 ^MF 2Q+ FP4 X.k8w\~ ... D5snaGss9a Kw"y#Ys] FP9 F}ATY! FM1 V3q`V/\ FM2 Y$A2{RjRq FM3 (EY@{'.& FM4 dX@ic,? ... @:GqOTN FM9 ,v>;/qm APS 3zD#V3= LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 wGKxT
ap M 55 .1 A TH LB2 t~/:St 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 pF-_yyQ #NYnZ^6e 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 fI<LxU_n: ZOOM nb ;'8P/a$ 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, uH%b rbrU ZGROUP ALL LkS tU) (像差,光线集,等) J'X}6Q END (结束该组) =CK% Zo 或者 [1P_^.Htr XNJZ~Mowb ZGROUP 1 3 5 7 nLz;L r! ... F{E@snc END Yz_}* ZGROUP 2 4 6 8 if|5v^/ ... jeRE(3'Q END A'z]?xQR (其他AANT条目) h$!YKfhq} END (结束AANT文件) |7c],SHm 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 "gM!/<~ 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 scH61Y8` ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 \#:
W !<:Cd(bM 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 SQ4^sk_! ACON nb P(k*SB|D FXJ0
G>F 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 h@$SJe(hl AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 @u9L+*F
AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 n!/0yR2S AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 +a.2\Qt2A AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 IdAh)#)
7 ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 D r(0w{5 ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 F,~BhKkbV ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 }? / Blr ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 zU&Iy_Ke. AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 gPk,nB AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 p-.kBF ADT 监视透镜直径与厚度的比。 )v_Wn[Y.H AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 {TNORbZz >o1dc* 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: 3oLF^^^g AANT #Pg`0xiV AEC 3 k/E$wOj GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 m)p|NdTZc8 GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 md+pS"8o; GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 i;^lh]u GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 D8L5t<^1R GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 Nq`;\E.M GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 >JE+j= GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 {UP[iw$~ GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 c<|y/n GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 68u?}8} M 33 .1 A BACK u:p OP ACA 60 1 8*0QVFn$ ACC 40 1 hc
q&`Gun END +S4>}2N33
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