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摘自User's Manual 10.3节 qyy. &+ 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 ;F%EW`7 AANT [ P ] ih75C" 开头 '@.Lg0` 以 u9c^YC BM END =\i%,YY 结束 \oGU6h< 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: =&.9z 4A 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 fv*
$=m 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 SD:Bw0gzrI 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 dIQ3snG fp 3`O9+em 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 8yZs>Og? M 34.567 A TH 4 /6 x[C A TH 5 {=3'H?$ 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 Ne1W!0YLK GNR 0.5 10 4 P 1 }^n"t>Z8 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 ka_R|xG\ GOALS部分的输入正式地采用如下形式 i{HzY[ t""Y -M -"2%+S{ 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 mv/Nz? aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 rC/z8m3z M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 i~4$V 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 NVf_#p"h =C)2DW J1 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 +J42pSxzoo M 55 .1 A TH 6 4a.8n!sys 为厚度编号6指定目标值55。 {
"f}
}}l 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 <hgfgk7< LB0 o6:]Hvqjr LB1 C,<FV+r=^ LB2 criNeKa LB3 /}d)g4\j LB4 _.W;hf` ... %;GRR (K LB9 ZNDjk FLAG 3JF" O+@ FP1 g- INhzMu FP2 9m%+ 6#| FP3 6\QsK96_ FP4 {q);1Nnf ... _2}/rwVg Z?eedVV@ FP9 QT(]S>--n FM1 qvJQbo[.9P FM2 \@
N[ FM3 [F,s=,S'M FM4 -e+im(2D= ... 5~i}!n FM9
G98f Bw APS `4qt mbj LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 I$fm"N M 55 .1 A TH LB2 kNrd=s,-]D 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 |1+mHp J@4 Z+l9 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 v dU) ZOOM nb Dv=pX.Z+ 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, srS5-fs ZGROUP ALL +3R/g@n (像差,光线集,等) 'FG@Rg( END (结束该组) % )}rQqQ 或者 iis}=i7| [XNDYaF8 ZGROUP 1 3 5 7 O F?o ... j3'SM#X END L5]uT`Twa ZGROUP 2 4 6 8 %^;rYn3 ... R w!_j! END 6eK7Jv\K (其他AANT条目) s`dUie}y< END (结束AANT文件) 7<93n`byM 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 *UdP1?Y 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 nS^,Sq\Ak ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 >ZnnGX6$( #sf1,k5' 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 }Q;^C ACON nb D[K!xq G,@Jo[e 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是
VO,F[E~_ AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 9f3rMPVh( AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 >ti)m >f AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 di~ [Ivw AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 TmLfH
d ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 poS=8mN8; ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 3s,a%GOk ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 VVi3g ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。
4{D^ 4G AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 W!b'nRkq AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 tAS[T9B ADT 监视透镜直径与厚度的比。 V6^=[s R AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 +)*oPSQ5 v}uzUY 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: 7k#0EhN 1> AANT zw%1a 3! AEC A7GWU{i GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 \`>f?}4 GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 ,egbU(:l GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 :eR\0cn GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 #9]O92t2UV GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 F<Z13]| GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 c/-PEsk_TP GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 1,pPLc( GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 qGECw# GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 }?,Eb~q M 33 .1 A BACK Lz`_&&6 ACA 60 1 3q0S}<h al ACC 40 1 bHioM{S END NV;T*I8O
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