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摘自User's Manual 10.3节 CF;Gy L1M 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 ']nIa7 AANT [ P ] |P5dv>tb
F 开头 \g34YY^L3 以 Kki(A4;7F END 1n`[D&?q 结束 o26Y}W 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: NCk-[I?R 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 Ft>B% -; 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 Be{@ L 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 U.TZd" gV]4R"/ 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 =o(}=T>:" M 34.567 A TH 4 W1)SgiXnuy A TH 5 QbdXt%gZe 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 URVW5c GNR 0.5 10 4 P 1 }d5]N 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 6Jgl"Jw8 GOALS部分的输入正式地采用如下形式 n~0wq(8M #.Dl1L/ yD<#Q\, 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 1XN%&VR>^D aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 91z=ou M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 ](oeMl18R 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 72|g zm 0/~p1SSun 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 %ZRv+}z M 55 .1 A TH 6 HP*)^`6X
为厚度编号6指定目标值55。 7Ydqg& 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 p7+{xXf LB0 u4lM>(3Y} LB1 `
,T. LB2 \WE/#To LB3 MO~T_6 LB4 ky !ZJR ... I6WHC* LB9 .x$V~t FLAG 6%EpF;T`
FP1 Q8HNST($? FP2 )-+tN>Bb FP3 B)/&xQu FP4 -~.+3rcZ] ... gB#!g@
G,A?yM'Vw FP9 jYU0zGpj FM1 J*g<]P&p0 FM2 LEKE+775 FM3 oi Q3E FM4 4P Sbr$ ... p!DdX FM9 T>|+cg APS oItC;T LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 R]od/u/$ M 55 .1 A TH LB2 +4t
\j<T 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 2;:]Q.g S%p,.0_ 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 Y+S<?8pA ZOOM nb bIt{kzuQC 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, XPYf1H ZGROUP ALL F\+9u$= (像差,光线集,等) !h&h;m/c END (结束该组) 1|*% 或者 /L,iF?7 fk^DkV^< ZGROUP 1 3 5 7 2wU,k(F_ ... +L?;g pVE& END &hpznIN ZGROUP 2 4 6 8 6wiuNGZb ... I2{zy|& END eJOo~HIWQ (其他AANT条目) (4l M3clF END (结束AANT文件) _58&^:/^ 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 7B _Wz9y 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 .Xta;Py|J ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 wj$3L3 K(mzt[n( 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 A}!D&s&UH ACON nb '@^<c#h]= DKQQZ`PF 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 UL8"{-`_\ AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 ^YPw'cZZ& AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 o,1Fzdh6( AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 /4BYH?* AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 _#U hXXD ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 2\}6b4 ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 q[Y*.%~ ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 $>~4RXC ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 RV5;EM)~[ AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 Re\V<\$J AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 ]=^NTm, ADT 监视透镜直径与厚度的比。 Rm.9`<Y AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 Qa16x<Xlm vP<8,XG 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: ~o;*{ Q AANT eR1]<Z$W\ AEC @n=FSn6c GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 /Bnh%6#ab GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 fl9J GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 !P:~oo= GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 p)Q=' GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 ]\R%@FCYc GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 d 7QWK(d GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 V,9UOC,Gn GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 W{'tS{ GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 -,xsUw4 M 33 .1 A BACK Y'LIk Q\ ACA 60 1 PsMCs|* ACC 40 1 i3y>@$fRL\ END 5@Lz4 `
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