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摘自User's Manual 10.3节 Z?~d']XD 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 fr'huvc AANT [ P ] +i`Q 7+d 开头 >Z2,^5P{ 以 s=nVoc{Yt END &weY8\HD 结束 | ,1bkJt 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: E\]OySC%C$ 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 XMN?;Hj> 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 >
$w^%I 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 Lh8bQH -,~;qSs 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 0W T#6D M 34.567 A TH 4 0$eyT-:d A TH 5 -ajM5S=d* 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 0PnD|]9: GNR 0.5 10 4 P 1 L@{!r=%_> 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 4GG1E. z} GOALS部分的输入正式地采用如下形式 X5uS>V%/ w=f0*$ue+w o {=qC: b 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 _\
. aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 *:=];1O M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 v!NB~"LQ 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 pOqGAD{D$ ?mH@`c,fM 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 _Kc1 M 55 .1 A TH 6 .A3DFm3 t 为厚度编号6指定目标值55。 UI!6aVL. 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的
s1X]RXX&j LB0 r1i$D LB1 ![^EsgEB* LB2 ]>tq|R78 LB3 %mY| LB4 Wgxn`6 ... 8AT;8I<K LB9 K!3{M!B FLAG IE&_!ce FP1 >|wKXz FP2 -#hK|1] FP3 ]EB6+x!G FP4 rmOQ{2} ... H76E+AY Vy]A,Rn7 FP9 %$Aqbd FM1 9160L qY FM2 x+4vss FM3 fD'/#sA#' FM4 )))2fskZ ... XJe/tR FM9 :Df)"~/mO+ APS ^w>&?A'! LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 {={^6@ M 55 .1 A TH LB2 9o EpPL5 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 xJ-*%'(KZ y =R
aJm 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 l{8CISO* ZOOM nb ASR-a't6 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, +4Q[N;[+* ZGROUP ALL *2`:VFEV (像差,光线集,等) im=5{PbJ^ END (结束该组) [6H}/_nD 或者 g^jJ8k,7( d>&\V)E ZGROUP 1 3 5 7 V{!lk]p}a ... ozU2 END T)8p:}P! ZGROUP 2 4 6 8 B~?c3:6 ... HL@TcfOe~ END >rKhlUD (其他AANT条目) ?9p$XG END (结束AANT文件) OZ^h\m4 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 Vb2\/e:k 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 GA\2i0ow ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 \*uugw,\y GMBJjP&R] 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 glx2I_y ACON nb }t\
10nQ !3h{lEB 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 k52QaMKa~A AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 ~
7}] AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 DcN"=Y AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 X@!X6j AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 ojoxXly` ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 ;}D-:J-z_ ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 JA<~xo[Q9 ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 "qS!B.rt: ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 VG)="g[%) AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 3T1P$E" m AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 bEd?^h ADT 监视透镜直径与厚度的比。 ZOu R"9] AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 2 5Q+1 /ERNS/w 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: "R23Pi AANT @bT3'K-4 AEC 0R|K0XH#$ GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 q!&B6] GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 jn$j^51`C GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 '0RRFO GSR 0 10.000000 3 1 0.000000
%}h`+L GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 c;wA GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 [/OQyb4F< GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 p![&8i@ym GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 ~M*gsW$ GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 j&CZ=?K^c M 33 .1 A BACK hM>*a!)U ACA 60 1 @8zT'/$ ACC 40 1 ({e7U17[# END | 3giZ{
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