|
摘自User's Manual 10.3节 zs8I 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 !nzGH*td AANT [ P ] 7\%$>< K 开头 x'i0KF 以 CZ tiWZ END .bfST.OA 结束 &7Kb]Ti 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: ,`)OEI|1d 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 PbN3;c3 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 Yb9cW\lr 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 s41adw> 3#mE(
`|P 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 H:MUNc8i M 34.567 A TH 4 eJaUmK: A TH 5 qc&jd 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 w%2ziwgh GNR 0.5 10 4 P 1 AY;<q$8j%, 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 +7Rt{C, GOALS部分的输入正式地采用如下形式 8!4[#y< 5Pqt_ZWy +f]u5p[ 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 +wA p,Xr aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 ^'YHJEK M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 }5hZo%w[n 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 CjV7q y kQ[Jo%YT?E 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 `u=oeM: M 55 .1 A TH 6 #G~wE*VR$ 为厚度编号6指定目标值55。 c_DaNEfaY 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 9tAE#A LB0 -#OwJ*-U LB1 C[0MA ,^ LB2 !mae^A1 LB3 5\3 swP_7 LB4 Rdj8*f ... S*s:4uf LB9 $>![wZ3 FLAG F {/>u(@3 FP1 n{$}#NdV FP2 BjB&[5?z FP3 OQ,}/ FP4 H7}g!n? ... WV@X@]U i0b.AA FP9 1y~L8!:L FM1 y,V6h*x2 FM2 ]2PQ X4t0 FM3 V07VwVD FM4 l[Tt[n ... \*Ts)EW FM9 X0!Bs-WFp APS Xout:dn LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 m|lM.]2_ M 55 .1 A TH LB2 nPcxknl(pd 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 n
3h^VQ*]G m^'~&!ba 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 rykj2/O ZOOM nb 9QC< E| 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, C/bxfp{? ZGROUP ALL *^uGvJXF (像差,光线集,等) H<$pHyxU END (结束该组) ~Po\ En 或者 Etw~* El {r$-} ZGROUP 1 3 5 7 >n1h^AW ... k{_1r; END C0gfJ~M) ZGROUP 2 4 6 8 X=JFWzC ... lx`q *&E END }M^_Z#|, (其他AANT条目) 1E8$% 6VV END (结束AANT文件) q)vK`\Y 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 &<`-:x1 2_ 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 _a fciyso ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 !;TR2Zcn `(P
"u 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 ";75 6'> ACON nb Y$>+U c!.=%QY 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 EN)YoVk AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 U[IQ1AEr AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 04P.p6 AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 Sw yaYK AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 h]<GTWj ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 S> .q5 ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 6BUBk>A` ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 VIb;96$Or ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 Tc9&mKVE%( AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 2XzF k_6H AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 R_t~UTfI; ADT 监视透镜直径与厚度的比。 )uANmThOz AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 pi|\0lH6W W&HF?w}s 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: ,<7"K& AANT :b.3CL\.6 AEC 0Wjd-rzc, GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 lq~GcM GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 joxS+P5# GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 su,`q GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 Ga]47pQ"F GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 9
aY'0wa GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 #E*@/ p/ GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 lt }r}HM+ GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 <9=zP/Q GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 SL6mNn9c M 33 .1 A BACK _TtX`b_Z ACA 60 1 V+Y|4Y& ACC 40 1 " ]aQ Hh]f END N<p5p0
|