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摘自User's Manual 10.3节 Rap_1o9#\ 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 69``j{Z+ AANT [ P ] )dRBI)P 开头 6"o@d8>v 以 pxQh;w END g+ cH 结束 9+frxD&pO 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: R"{oj]d;$F 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 RjG=RfB'V 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 }LdeU:E4 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 K]Z];C#) NvjKB)J 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 sj% \lq M 34.567 A TH 4 aumM\rY A TH 5 1H7bPl| 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 P&9&/0r=_ GNR 0.5 10 4 P 1 Gq;!g( 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 ;cW9NS3: GOALS部分的输入正式地采用如下形式 9{n?Jy +Uf+` S1d{! ` 3 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 `EzC'e aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 PRyzUG& M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 (&-!l2 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 Qon>[<]B 4lF?s\W: 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 G}gmkp]z M 55 .1 A TH 6 0z=^_Fb 为厚度编号6指定目标值55。 TWo.c _l 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 5s=L5]]r_j LB0 f-a+&DB9 LB1 #(Ezt% ^ LB2 'n4
iW LB3 =&v&qne9 LB4 -!pg1w06 ... jmh$6 N%
F LB9 .V\:)\<| FLAG v[=TPfX0 FP1 hYU4%"X FP2 Bq#B+JwX FP3 (eF "[,z FP4 j+QE~L ... f|-%., \TTt!"aK FP9 eUm,=s FM1 Y8%*S%yO FM2 _q 1E4z FM3 |;(0] FM4 CxJkT2 ... s!F`
0=J^ FM9 1JSKK.LuJV APS Pvu*Y0_p LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 t{Xf3. M 55 .1 A TH LB2 \XT~5N6 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 o<nkK+=Afm t{RdqAF 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 *HXx;: ZOOM nb {/PiX1mn 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, Z^SF $+UN ZGROUP ALL 23~KzC (像差,光线集,等) =P\Tk)(` END (结束该组) *Z
C$DW!- 或者 $mq@g ju {\7X5 ZGROUP 1 3 5 7 a>XlkkX ... ;Vh5nO END {|ChwM\x ZGROUP 2 4 6 8 qJPEq%'Q ... 7z^\}& END g6Nw].{ (其他AANT条目) Ed=]RR4R END (结束AANT文件) w,v~ 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 &$+nuUA 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 >@wyiBU ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 _k2*2db @#= ail 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 l!^+Xeg~ ACON nb BmGY#D, 3ZEV*=+T5 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 @ATJ|5.gr AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 p!]$!qHO( AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 &mJ
+#vT AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 H^N
5yOj/ AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 6I`Lszs ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 vPbmQh ex ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 Yf=Puy}q ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 FJl_2 ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 sq~9
l|F AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 [ijK~ AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 ,J63?EQ3 ADT 监视透镜直径与厚度的比。 eub2[, AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 4Y#F"+m.] sWc_,[b 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: C%l+<wpXO AANT 1!4-M$- AEC
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V*Z GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 fi.[a8w:W GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 ^OWA GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 ,fa' GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 ZFNn(n GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 Arzyq_ Yk GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 IW<nfg GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 X>W2aDuEZ GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 ~;#OQ[ GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 " A}S92 M 33 .1 A BACK <HC5YA)4 ACA 60 1 S);SfNh%CL ACC 40 1 AsOkOS3 END -J<{NF
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