|
|
摘自User's Manual 10.3节 A[,"jh 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量，像差输入文件必须以 }Yl8Q >t AANT [ P ] m&z %kVsg] 开头 H><mcah 以 7 u3b aM END I;m@cSJ|j 结束 y2% ^teX k 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差，有六种类型： ZTz(NS
EK 在默认模式下（开关29打开），SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P]，并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭，可以控制列表的形式；[P]产生一个输入图像，而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 EBE>&{%$^ 如果开关89打开，则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长，并且很少需要检查所有列表，因此默认关闭此开关。 ]x{ H 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入，如 6] A\8Ty | B WK"G 在这里，GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量（在这种情况下是镜头的TOTL总长度）最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项，用A、S、MUL和DIV结合。例如，要控制厚度4和5的总和，可以输入 N<r0 I- M 34.567 A TH 4 en6AAr:U} A TH 5 krY.Cc] 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 \J
g#X:d GNR 0.5 10 4 P 1 7n/I'r 在这个例子中，生成一个光线网格，参数0.5和10是权重，每半个光瞳4条光线，全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 @%8 5k/( GOALS部分的输入正式地采用如下形式 -@?>nLQb ]1$AAmQH
x(6.W"-S 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 Uy'ZL(2 aname是一个最多8个字符的可选字符串，全部由数字组成或以字母开头，名称中没有标点符号或空格。 EGO@`<"h M表示最小化到指定目标；MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化，而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 uXa}<=O 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量，其他类型的像差可包含任何数量的分量。 nE$ V<Co} I{UB!0H 许多像差定义允许参考特定的表面编号，例如输入 (: k`wh& M 55 .1 A TH 6 (&x\,19U$ 为厚度编号6指定目标值55。 zq>"a&Y, 当提到镜头内的表面编号时，有时使用如下特殊代码是方便的 v" TH[}C9D LB0 %Ne>'252y LB1 2*E<G|-F LB2 GB Un" _J LB3 9
f/tNQ7W LB4 D\~$6#B>> ... WoR**J?}w LB9 hpKc_|un FLAG S(s~4(o>8 FP1 _
L6>4 FP2 QZP;k!"w FP3 \:28z FP4 mw.aavB ... JH,bSb uT2 cHzqKB FP9 pMrf i}esx FM1 e+aQ$1 ^t FM2 Y0'^S<ox FM3 QNBzc {XB FM4 0kEq|k9 ... t $%}*@x7 FM9 \dbtd hT;Z APS g
0=t 9J LB0、LB1、LB2指定“last but zero”，“last but one”，“last but two”，依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面，则参考表面6的示例可写为 K",]_+b M 55 .1 A TH LB2 >u[ln@ l 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面，则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”，依此类推，让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面（在RLE文件中具有用SN APS ...声明）可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时，表面的数量不断变化，并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 hZG{"O!2 s 2M`Ni&v 在设计变焦镜头时，可以在AANT文件中的用指令 |,f6c
Om f ZOOM nb Ds/zl Z 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置，直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置，可以使用ZGROUP ... END 格式。例如， _CT |5wQF< ZGROUP ALL NE nP3A （像差，光线集，等） AIo;\35 END （结束该组） (#BA{9T,^ 或者 ,PAKPX9v_F >0$5H]1u ZGROUP 1 3 5 7 LRgk9*@, ... 6P $q7G END % QkvBg* ZGROUP 2 4 6 8 ,^T2hY` ... ;W:Q} [ END \hX^Cn=6 （其他AANT条目） /iy/2x28> END （结束AANT文件） )E|Bb=% 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组；第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 b`=rd 4cpU 注意，ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组，而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 o!&*4>tF ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0，将JSN表面后的空气间隔增加DT，为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 nV1,
):kh Y 6Q6--P 对于多重结构优化，在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 3e:y?hpeL ACON nb KcE=m\ h RUO6Co- 除了上述定义之外，还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 )n V x 2m4 AEC 监视边缘厚度，其中TH是变化的。 -ybupUJcbv AGE 监视玻璃元件的边缘厚度，其中TH是变化的。 dY^~^<{Lj AFE 和AGE一样监视边缘，但在EFILE点A和E给出的孔径，或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径，则在CAO处。 S([De"y AAE 监视空气间隔的边缘厚度，其中TH是变化的。 zSO9 U ACC 控制元件的最大中心厚度，其中TH是变化的。 ==9Ez ACM 控制最小中心厚度，其中TH是变化的。 a!.8^:B& ASC 防止表面斜率太陡，其中CV是变化的。 &v 88x s ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角，其中CV变化。 #{a <{HX AAC 孔径控制，监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 <Do8 9 AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 8 iB}a\]B ADT 监视透镜直径与厚度的比。 >@o*v*25 AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 s,8%;\!C TY}?>t+ 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分，而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子： yo=d"*E4^ AANT %8/ $CR AEC 9:WKG'E8a GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 oj, GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 "`wq:$R GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 }K\_N]#6n GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 *@Z'{V\ GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 dEn hNPeRl GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 >#Y q&@G GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 yO)Qg* r GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 s Y,3 GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 1zffPC8jl M 33 .1 A BACK 0%GWc}o ACA 60 1 nK[$ I D ACC 40 1 E7,\s
END .0
K8h:I
|
