|
|
摘自User's Manual 10.3节 up(6/-/.7 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量，像差输入文件必须以 ?8ZO iY( AANT [ P ] :Ma=P\J
W 开头 0\qLuF[) 以 /INjP~ C END MK"p~b0-> 结束 D<V[:~-o 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差，有六种类型： [h5~1N 在默认模式下（开关29打开），SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P]，并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭，可以控制列表的形式；[P]产生一个输入图像，而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 6_G[ & 如果开关89打开，则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长，并且很少需要检查所有列表，因此默认关闭此开关。 (]_smsok 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入，如 /nPNHO>U N7Kg52| 在这里，GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量（在这种情况下是镜头的TOTL总长度）最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项，用A、S、MUL和DIV结合。例如，要控制厚度4和5的总和，可以输入 L<7KmN4VX M 34.567 A TH 4 'P AIh*qA A TH 5 M0jC:*D`" 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 wBu os}/ GNR 0.5 10 4 P 1 "Y C5viX 在这个例子中，生成一个光线网格，参数0.5和10是权重，每半个光瞳4条光线，全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 r$8(Q' GOALS部分的输入正式地采用如下形式 1<9=J` (H [Re.sX}$Y
f9%M:cl 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 "dkDT7 aname是一个最多8个字符的可选字符串，全部由数字组成或以字母开头，名称中没有标点符号或空格。 /v <FH} M表示最小化到指定目标；MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化，而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 j1 Ns|oph1 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量，其他类型的像差可包含任何数量的分量。 ??]b,f4CNa s%bm1$} 许多像差定义允许参考特定的表面编号，例如输入 MvCB|N"q y M 55 .1 A TH 6 ' ?4 \ 为厚度编号6指定目标值55。 :@~Nszlb 当提到镜头内的表面编号时，有时使用如下特殊代码是方便的 e) \PW1b LB0 TPBL|^3K LB1 Eo)
#t{{ LB2 F
`4a 0~? LB3 s ahXPl%;U LB4 gN/kNck ... o8 RVmOXe LB9 FQlYCb FLAG dED&- e# FP1 :aO `q/d FP2 (drDC1\ FP3 x/d(" Bb FP4 n b30<h ... FJ+n-
\ { qJ(55 FP9 V [#$Sz[G FM1 _SQQS67fu" FM2 _O$7*k FM3 w(N$$ FM4 ]aZ3_<b ... |?gO@?KDZ FM9 k .#I ;7 APS m\.(- LB0、LB1、LB2指定“last but zero”，“last but one”，“last but two”，依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面，则参考表面6的示例可写为 FoW|BGA~ M 55 .1 A TH LB2 KsDovy< 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面，则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”，依此类推，让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面（在RLE文件中具有用SN APS ...声明）可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时，表面的数量不断变化，并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 Hp(wR'(g & xt zjFfq 在设计变焦镜头时，可以在AANT文件中的用指令 VkD}gJY ZOOM nb 0s72BcP 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置，直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置，可以使用ZGROUP ... END 格式。例如， >Tp`Kri ZGROUP ALL ~(x"Y\PEu （像差，光线集，等） >4G~01 END （结束该组） 3%(BZ23 或者 W @]t \sEH)$R' ZGROUP 1 3 5 7 T( z/Jm3 ... 2{9%E6%# END :\"V5 ZGROUP 2 4 6 8 #JY H5:* ... (hi{ i END wv.HP mq （其他AANT条目） o^3X5})sv END （结束AANT文件） |@Ze{\
第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组；第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 7?p>v3 4A 注意，ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组，而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 j2`%sBo ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0，将JSN表面后的空气间隔增加DT，为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 g kFw=Cd ^US ol/ 对于多重结构优化，在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 % pQi}x ACON nb I\~sE Jwj Xk9 8%gv 除了上述定义之外，还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 jAxrU AEC 监视边缘厚度，其中TH是变化的。 fo_*Uva_ AGE 监视玻璃元件的边缘厚度，其中TH是变化的。 zrL +:/t AFE 和AGE一样监视边缘，但在EFILE点A和E给出的孔径，或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径，则在CAO处。 eE5j6`5 i AAE 监视空气间隔的边缘厚度，其中TH是变化的。 gXvE^fE ACC 控制元件的最大中心厚度，其中TH是变化的。 ,DD} o ACM 控制最小中心厚度，其中TH是变化的。 #: xv]qb`k ASC 防止表面斜率太陡，其中CV是变化的。 >9Z7l63+} ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角，其中CV变化。 .c ]@xoC AAC 孔径控制，监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 fn,
YH AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 .OZ\ s%h; ADT 监视透镜直径与厚度的比。 hiw>Q7W AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 EQVa8xt/C &W{< Yf9 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分，而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子： #]*]qdQWV^ AANT >Q2k XwN AEC FnC Mr_ GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 ?>DwNz^.! GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 CE7{>pl GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 }t0JI3 GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 [mFgo
il GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 u,JUMH]@ GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 [8'^" GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 JOo+RA5d GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 9.wZhcqqU GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 ~Z}DN*S M 33 .1 A BACK |4!G@-2V:I ACA 60 1 b!T-{Ns6 ACC 40 1 +R',$YzD END #F#M<d3-2
|
