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摘自User's Manual 10.3节 vhb)2n 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 tM#lFmdd\P AANT [ P ] dCFlM&(i 开头 3.)b4T 以 WW@d:R END )H}#A#ovj7 结束 :>81BuMvg 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: J# kl
7 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 1h7+@#<:a 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 {5|("0[F 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 @d&/?^dp6 RB?V7 uX 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 ?tg
y| M 34.567 A TH 4 %/.a]j! A TH 5 ^JR;epVJ
定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 tMj1~
R GNR 0.5 10 4 P 1 pA4*bO+ 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 [ REf>_R GOALS部分的输入正式地采用如下形式 \b*X:3g* G9g6.8*& Yct5V,X^ 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 .C]cK%OO
N aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 OU7 %V)X5 M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 @uH#qg7 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 ~svO*o Wa smQVWs> 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 q|)Q9+6$+ M 55 .1 A TH 6 "gW7<ilw
为厚度编号6指定目标值55。 Rb}KZ+o"Z 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 b.2J]6G
LB0 Cz^Q5F` LB1 !8tS|C#2 LB2 /Y^8SO4 LB3 [t0rfl{. LB4 q1k{ ... [*m2 LB9 B
?%L FLAG 8X?>=tl FP1 SJgY FP2 h?,\(KjP# FP3 <1~^C FP4 %zo=
K}u ... _2vd`k I]}>| FP9 5c-N0@\ FM1 Ps R>V)L FM2 }lZ> FM3 =fyyqb4 FM4 dX
)W0 ... w36(p{#vp FM9 ~y0R'oi APS RM*f|j LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 W$?e<@ M 55 .1 A TH LB2 #^mqQRpgq 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 :]eb<J
'5H4z7) 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 *i<\iMoW ZOOM nb 8TZENRzx-| 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, $EBb"+Y'T ZGROUP ALL 0-2"FdeQU (像差,光线集,等) s\0K o1 END (结束该组) fUcLfnr 或者 );}t&} 4Nmea-!* ZGROUP 1 3 5 7 \3PE+$ ... oO=o|w|T END >xd<YwXZ ZGROUP 2 4 6 8 t%+$"nP ... %AR^+*Nu END x,Y5U+]E (其他AANT条目) E`@43Nz END (结束AANT文件) LD55n%|0`H 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 R,Ml&4pZ} 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 vD=%`G[m ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 uu}-"/<~7 7U:=~7GH 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 BXTN>d27 ACON nb l_+A5Xy D@vMAW 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是
lfy7w| AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 =s[&;B`s AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 D<nxr~pQ AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 v["3 AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 En5!"w|j ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 %ejeyc ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 * bZ\@Qm ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 5G?.T? ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 6q%ed
UED AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 dt~iw AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 s)tpr ADT 监视透镜直径与厚度的比。 R`Qpd3 AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 R$xY8+}V BW71 s 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: t:9
ZCu ay AANT 5<N~3
1z AEC @+dHF0aXd GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 WEVl9]b'e+ GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 X')S;KW GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 8_iHVc;< GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 d;g-3Pf GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 e\~l!f'z GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 2v\W1VF GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 VR v02m5 GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 n2E4!L|q GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 l"L+e! B~ M 33 .1 A BACK 6S_y%8Fv&[ ACA 60 1 qC.i6IL ACC 40 1 S.]MOB dt END B"[{]GP BY
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