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摘自User's Manual 10.3节 RHOEyXhOA 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 se:lKZZ] AANT [ P ] 3xU in 开头 ">V.nao 以 |&hu3-( END .tny"a& 结束 )n&@`>vm 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: x?unE@?\S 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 ,iQRf@#W_b 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 xpb,Nzwt^ 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 3~mi F/ODV=J- 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 q4~w
D M 34.567 A TH 4
x=%p~$C A TH 5 #J,?oe=<4 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 ^=lh|C\# GNR 0.5 10 4 P 1 VW[!%< 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 wePhH*nQ> GOALS部分的输入正式地采用如下形式
<Xsy{7 aU)NbESu #Pf?.NrTn 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 2;z~xR aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 D[NJ{E.{ M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 8?>
# 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 @We im7r /g_cz&luR 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 bAsoIra M 55 .1 A TH 6 [K\Vc9 为厚度编号6指定目标值55。 yyj?hR@rZ 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 K>tubLYh LB0 )5479Eb_ LB1 4NY}=e5 LB2 |\lsTY&2 LB3 ID#p5`3n LB4 @]r l2Qqe ... L>&o_bzp LB9 ;_HG
5}i FLAG w
B i'KS FP1 <yw6Om:n< FP2 G=.vo3 FP3 R0l5"l*@+ FP4 'nrXRDb ... t8}R?%u C [Ap&S FP9 us,!U FM1 "x+o(jOy FM2 /{[Y l[{"< FM3 cL]vJ`?Ih FM4 '\MYC8" ... Q=,6W:j FM9
xe~lV APS _XO3ml\x@ LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 ~6)A/]6 M 55 .1 A TH LB2 zmw <y2` 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 C
V{kP8# "}ms| 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 O7M8!3Eqm ZOOM nb ]~Su 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, ?YeUA =[MC ZGROUP ALL s#8mD!T| (像差,光线集,等) &y7<h>z END (结束该组) al<;*n{/ 或者 o*[n[\cR [{i"Au] ZGROUP 1 3 5 7 VP7g::Ab ... wb#ZRmx} END k3HPY}- ZGROUP 2 4 6 8 ,R-T( <r ... X6hp} END nOH x^( (其他AANT条目) \4/zvlo]h END (结束AANT文件) D<16m<b 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 hLv~N} 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 B$Z%_j& ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 ~yGD("X rT&rv^>f 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 u . xUM ACON nb yobcAV` bPlqS+ai_ 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 DR%16y<h AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 fj7\MTy AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 pZ@)9c AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 M_OvIU(E AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 /.1yxb#Z?, ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 Xxz_h* ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 +E7Os|m ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 <T3 v|\6~H ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 mm l`,t8 AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 K&\
q6bU AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 $+P6R`K ADT 监视透镜直径与厚度的比。 (uxe<'Co| AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 ]gw[
~ At0ahy+ 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: I*SrKZb AANT wm'a)B? AEC _K4E6c_ GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 j&
H4L GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 kL7n`o GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 |+aUy^ GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 xpO'.xEs GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 {\-9^RL GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 6w"_sK?
GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 SyB2A\A GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 }%T8?d] GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 ]SO-NR M 33 .1 A BACK _, ki/7{ ACA 60 1 jQ"z\}Wf ACC 40 1 oy _DYop END ^D%hKIT
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