[求助]高反膜机差问题 [复制链接]

求助大神，LED芯片背镀DBR高反膜，同样的膜系，不同的光驰新旧机台作业后亮度有差异，到底是什么造成的？？

DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？

奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  R&BTA  

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氧化硅和氧化钛

有試著量測表面粗糙度嗎(使用AFM之類的) O\"3J(y,  
:?g:~+hfO  
若有差異，可能要比對一下背景壓力、鍍率等等 \1fN0e  
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奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  z$/_I
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鍍膜的DBR就是介電質的反射鏡 %_RQx2  
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主要利用高低折射率1/4波長去堆疊而成 )FF>IFHG  
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會依照每個客戶針對的波長去做設計 [y'f|XN  
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可應用在LED 激光 等等

怀疑是排气能力差异。 % NA9{<I  
开镀真空一样吗？都开充氧了吗？充氧压力多少？

好的，谢谢～

开镀真空一样，充氧压力为1.93E-2Pa

如果有空的话，两台机各镀一下单层，然后测一下PEAK比对一下。 D7lK30  
一般SiO2折射率比较稳定，既然有充氧，吸收也不太会有问题。 !c}O5TI|#  
问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 e,F1Xi#d  

ouyuu:如果有空的话，两台机各镀一下单层，然后测一下PEAK比对一下。 ?Lyxw]  
一般SiO2折射率比较稳定，既然有充氧，吸收也不太会有问题。 7(qE0R&@  
问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 -7S g62THS  
 (2018-02-03 18:13)  Ag&0wN+jTM  

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单层的PEAK对比过，确实是有差异的，关键是怎样调节折射率和吸收呢？