[求助]高反膜机差问题 [复制链接]

ouyuu:怀疑是排气能力差异。 #eJfwc1JY  
开镀真空一样吗？都开充氧了吗？充氧压力多少？ (2018-02-02 09:16)  .<t{saToU  

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开镀真空一样，都是2E-3Pa，都开充氧了，目前最主要问题是稳定性不好，有些Run次镀出来是OK的，有些就不好，不知道是哪里造成的稳定性差

dcfcwdx:[表情]单层的PEAK对比过，确实是有差异的，关键是怎样调节折射率和吸收呢？ (2018-03-03 22:41)  y1 a%f.F`  

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是什么差异呢？整体向上偏移？还是波峰更高，波谷更低？ *effDNE!  
如果是吸收，那就改善充氧。 Gh_5$@ hF  
如果是折射率差异，那就改变蒸发速率。 ]9@4P$I  

ouyuu:是什么差异呢？整体向上偏移？还是波峰更高，波谷更低？ IL8&MA%  
如果是吸收，那就改善充氧。 4>=Y@z  
如果是折射率差异，那就改变蒸发速率。 +DT tKj  
 (2018-03-06 13:05)  Ft2ZZ<As  

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镀TiO2单层来比较是，较差的机台的波峰低，波谷高，也就是峰谷差小，还有，改善充氧就是改变APC压力吗？

dcfcwdx:镀TiO2单层来比较是，较差的机台的波峰低，波谷高，也就是峰谷差小，还有，改善充氧就是改变APC压力吗？ (2018-03-13 20:40)  Jo ]8?U(^  

Q_R&+@ju  
看起来像是折射率问题。 U
@?Roenn  
你这边用离子源辅助吗？ ;-sF%c  
如果有，就改变一下离子源参数 PAXdIh[]  
如果没有，就改一下电子枪速率看看。

ouyuu:看起来像是折射率问题。 O?9&6x   
你这边用离子源辅助吗？ Vn6g(:\w  
如果有，就改变一下离子源参数 PI#xRKt  
如果没有，就改一下电子枪速率看看。 (2018-03-15 23:35)  G_~w0r#  

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既然是折射率差异，那就直接按照两台机各自的折射率重新设计一下膜系不就好了么；如果要变更速率，那折射率不也一样跟着变了，变量不就多了么。

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机台不一样，折射率是有差异的，这个差异在镀膜厚是就明显

奔跑的小骏马:既然是折射率差异，那就直接按照两台机各自的折射率重新设计一下膜系不就好了么；如果要变更速率，那折射率不也一样跟着变了，变量不就多了么。 (2018-03-23 11:51)  &o>ctf.x  

JyY-@GF  
一般不建议改膜系，膜系不一致会带来更多问题。 :<l(l\MC  
而且随着设备使用，说不定折射率还会变的，你就不停改膜系？ 47b=>D8  
折射率则简单很多，找到影响折射率的因素这才是关键。 fX=o,=-f  
Sdl1k+u  
其实也不叫变更速率，水晶设置有一项叫TOOLING，这个TOOLING值改变一下就相当于改了速率。

现在膜系成熟了没有？？