[求助]高反膜机差问题 [复制链接]

求助大神，LED芯片背镀DBR高反膜，同样的膜系，不同的光驰新旧机台作业后亮度有差异，到底是什么造成的？？

DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？

奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  Fpt-V  

=raA?Bp3;(  
氧化硅和氧化钛

有試著量測表面粗糙度嗎(使用AFM之類的) {Ts:ZI+ 8d  
Ak~4|w-  
若有差異，可能要比對一下背景壓力、鍍率等等 s%;<O:x8o  
Poa?Ej  

奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  TC-f%1(  

s!h5hwBY  
鍍膜的DBR就是介電質的反射鏡 L+Pc<U)T+  
R!{7OkC  
主要利用高低折射率1/4波長去堆疊而成 #t5juX9Ho9  
X}apxSd"  
會依照每個客戶針對的波長去做設計 >rwYDT#m]  
hU,$|_WDy  
可應用在LED 激光 等等

怀疑是排气能力差异。 v:P!(`sF  
开镀真空一样吗？都开充氧了吗？充氧压力多少？

好的，谢谢～

开镀真空一样，充氧压力为1.93E-2Pa

如果有空的话，两台机各镀一下单层，然后测一下PEAK比对一下。 PE7t_iSV  
一般SiO2折射率比较稳定，既然有充氧，吸收也不太会有问题。 [R$liN99z;  
问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 u dUXc6U  

ouyuu:如果有空的话，两台机各镀一下单层，然后测一下PEAK比对一下。 `=WzG"  
一般SiO2折射率比较稳定，既然有充氧，吸收也不太会有问题。 C%qtCk_cN  
问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 c'>8pd  
 (2018-02-03 18:13)  .f[\G*   

im_0ur&'  
单层的PEAK对比过，确实是有差异的，关键是怎样调节折射率和吸收呢？