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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: v?)-KtX| 定义单向弯曲器件的材料 )k0P' zGb 定义系统设置 SLL%XF~/Sb 创建弧形波导 L{|V13? 插入输入平面 <@}~Fp@ 选择输出数据文件 M* (]hu0! 运行仿真 :0.Z/s - 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 -y{o@ gRuNC=sR 1. 定义单向弯曲器件的材料 :luVsQ 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 /'IOi`d 步骤 操作 [Z484dS`_ 1) 从文件菜单中,选择新建。 0l6z!@GhT 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 4!<8Dd ]l>)Di#*o 图1.初始属性对话框 e%&2tf4 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 cs7TAX 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 A('=P}I^ 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 d_*'5Eia6 2JZf@x+} 图2.轮廓文件设计器 pvJ@$L`' 3) 创建以下介电材料: D*Y4B?, 名称:包层(Cladding) 2/qP:3) 折射率(Re :):1.442 I|JMkP M-u:8dPu 4) 要保存资料,请单击“存储”。 o~,dkV RV5X0 5) 创建第二种介电材料: E)m{m$Hb 7</&=lly 名称:波导层(Guide) IMjnj|Fj 折射率(Re :):1.45 h8oG5|Y !CROc} 6) 要保存资料,请单击“存储”。 l [?o du4 j0!Z 20 7) 创建以下通道: [Z|R-{" 轮廓名称:通道1 gvO}u 2.: 2D轮廓定义材料:波导(Guide) U[=VW0 8) 要保存通道,请单击“存储”。 (Bd8@}\u_ 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 bE.,)GY 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI zR(}X8fP v'7,(.E 2. 定义系统设置 m
UpLD+-j 要定义系统设置,请执行以下步骤。 q-gN0"z^6$ 步骤 操作 " 4#V$V 1 点击默认波导标签 1q<BYc+z 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 LY[XPV]t 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 zRdL-u%(# 4 键入以下值: <\GP\G 长度:800 7y:%^sl 宽度:50 ~U#afGH$ 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 *{8Kb>D 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 O emi } 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 Qx|m{1~- 出现布局窗口(参见图3)。 eD/O)X jXkz,]Iy 图3.布局窗口 Io *`hA] 3. 创建弧形波导 BB5(=n+ 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 L6Ykv/V 步骤 操作 7OX5"u!2 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 K O "U5v 光标变成十字线。 _eM\ /(v[ 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 .w\AyXp '9%72yG 图4.绘制一个弧形波导 " m<]B 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 5*u0VabC< 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 | ?3\xw 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 xtYX}u 出现弧形波导属性对话框(参见图5) S\K;h/;V m8;;
O 图5.弧形波导属性对话框 !`L%wS 5) 点击起始标签 AJt*48H*G 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): "2q}G16K 水平:0 %719h>$ 垂直:-10 |u8IQR'B 4Tgy2[D?q 图6.初始偏移值 -iWt~ 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 NrT!&>M 激活表达式框(参见图7)。 dO}6zQ\ Nw[TP
G5 图7.波导半径 _0ki19rs 8) 键入以下值: %!I7tR#; 表达式:4000 hp+=UnW 9) 单击终止选项卡。 G#-t&gO3 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): b?eIFI&w^l Horizontal:800 os0fwv 垂直:-8 kx0(v1y3gT o^FlQy\ 图8终止偏移值 F )_jW 11) 输入以下值:
4Ra 宽度:4 lYldq)qB{ 12) 点击“OK”。 fTd=}zY 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 b{JcV U8Z(=*Z3 图9.修改的弧形波导 low
0@+Q 4. 插入输入平面 3*x_S"h 要插入输入平面,请执行以下步骤。 l
Os91+.% 步骤 操作 2#LTd{ 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 dPZrX{ c 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 4\
R2\ 输入平面出现(参见图10)。 < |