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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: Y0J:c?, 定义单向弯曲器件的材料 1_l)$" 定义系统设置 kUfb B#.5L 创建弧形波导 sB$" mJ 插入输入平面 mn*}U R 选择输出数据文件 53d`+an2 运行仿真 IiJ$Ng 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 )>"pm{g2 '=xO?2U-Z 1. 定义单向弯曲器件的材料 ,X;$-. 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 |_QpB?b 步骤 操作 *'tGi_2?( 1) 从文件菜单中,选择新建。 U#Iwe= 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 ]&9=f#k% }E[vW 图1.初始属性对话框 xxr'g = 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 6y57m;JW/ 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 j5A>aj 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 :Nwv&+ .mcohfR 图2.轮廓文件设计器 R(,m! 3) 创建以下介电材料: p=#/H,2 名称:包层(Cladding) g9NE>n(3 折射率(Re :):1.442 WFhppi :ln?PT
4) 要保存资料,请单击“存储”。 >< P<k& W]_a_5 5) 创建第二种介电材料: _wX(OB ~)[pL(4 名称:波导层(Guide) y>#kT 折射率(Re :):1.45 og~a*my3 0c1=M|2 6) 要保存资料,请单击“存储”。 SuNc&e#( :eT\XtxM~{ 7) 创建以下通道: b\zq,0% 轮廓名称:通道1 J!G92A~*] 2D轮廓定义材料:波导(Guide) Fy!s$!\C0 8) 要保存通道,请单击“存储”。 Sa0IRC<LV 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 _[i.)8$7 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI U2tgBF?)A uEG4^ 2. 定义系统设置 QMmZvz\^ 要定义系统设置,请执行以下步骤。 }_}
步骤 操作 1?3+> 1 点击默认波导标签 @<X[,Mj 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 dm40qj 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 J><hrZ 4 键入以下值: vu}U2 0@ 长度:800 gg8)oc+w 宽度:50 %e)vl[:} 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 Z_<NUPE 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 |9Yx`_DF 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 l@u
"iGw 出现布局窗口(参见图3)。 Eza^Tbq%j? {f*{dSm9b 图3.布局窗口 7;C~>WlU 3. 创建弧形波导 'J!Gip , 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 2n2,MB 步骤 操作 ZtP/|P5@ 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 Ol<LL#<j4 光标变成十字线。 H4{7,n 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 GukwN]*OY B}*\ pdJ 图4.绘制一个弧形波导 dl |$pm@x 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 ,zH\P+* 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 \IzZJGi 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 Z=%u:K}[ 出现弧形波导属性对话框(参见图5) v&%W*M0q@ s>WqVuXmn 图5.弧形波导属性对话框 AXi4{Q, 5) 点击起始标签 d{(Rs.GuP 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): :B|rs& 水平:0 jGJf[:M&Pm 垂直:-10 V \FlKC a8%T*mk( 图6.初始偏移值 A)d0Z6G` 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 glKPjL * 激活表达式框(参见图7)。 {l_D+B; @Eh(GZN 图7.波导半径 3+:NX6Ewb* 8) 键入以下值: ?Iaqbt%2 表达式:4000 \,:7= 9) 单击终止选项卡。 =
1d$x: 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): T2mZkK?rA Horizontal:800 y^kC2DS 垂直:-8 >qGWDCKr N "eK9> 图8终止偏移值 F^TOLwix 11) 输入以下值: P>x88M 宽度:4 ^r]-v++ 12) 点击“OK”。 !}1l8Y 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 Ls.g\Gl3 |c-`XC2g 图9.修改的弧形波导 ?9 `T_, 4. 插入输入平面 |Q?$n3-f" 要插入输入平面,请执行以下步骤。 |Xv\3r 步骤 操作 cmaha%3d 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 n
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