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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: :&LV^A 定义单向弯曲器件的材料 eu?P6>urA 定义系统设置 T5}5uk9 创建弧形波导 AS0mMHJk 插入输入平面 SR`A]EC(V 选择输出数据文件 =LEzcq>XO 运行仿真 !& >LLZ 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 2sVDv@2 >GzH_] 1. 定义单向弯曲器件的材料 8#9OSupp 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 t;:Yf 步骤 操作 lE!.$L*k 1) 从文件菜单中,选择新建。 C4t~k 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 BqdGU-Q Z-M4J;J@} 图1.初始属性对话框 j 20mZ 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 *Wcq'S 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 \jS^+Xf?^ 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 `6LVXDR ldc`Y/:{ 图2.轮廓文件设计器 !!mGsgnW 3) 创建以下介电材料: E.-2 /'i 名称:包层(Cladding) KXUJ*l-5 折射率(Re :):1.442 Q5IN1
^=HF 4{b/Nv:b 4) 要保存资料,请单击“存储”。 ha9 dz buWF6LFC 5) 创建第二种介电材料: ej&o,gX ,S~A]uH' 名称:波导层(Guide) AboRuHQ 折射率(Re :):1.45 c:s[vghH^# Jq+@%#G 6) 要保存资料,请单击“存储”。 EJJ&`,q e'=#G$S?g 7) 创建以下通道: db3.X~Cn#s 轮廓名称:通道1 2%MS$Fto 2D轮廓定义材料:波导(Guide) RhE|0N= 8) 要保存通道,请单击“存储”。 g%D.sc)69 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 k\ZU%"^J 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI -cUw} ^Nysx ~6 2. 定义系统设置 5 L-6@@/ 要定义系统设置,请执行以下步骤。 y@Td]6|f 步骤 操作 -&QpQ7q1 1 点击默认波导标签 -NDB.~E^DJ 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 Ju.T.)H 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 lH"VLO2l 4 键入以下值: ZKi?;ta= 长度:800 8P2_/)| 宽度:50 4hn'b[ 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 '47E8PIJ| 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 ,{Z!T5 | 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 /EL3Tt 出现布局窗口(参见图3)。 }c#W"y5l_ w"
A{R 图3.布局窗口 SWNT}{x] 3. 创建弧形波导 ^n\g, 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 msw=x0{n5 步骤 操作 vQ{mEaH 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 kQrby\F(< 光标变成十字线。 / 6DW+! 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 }IKU^0M9<T <_4'So> 图4.绘制一个弧形波导 jW}hLjlN 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 t<+gyAW 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 % "ZC9uq? 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 =z}M(<G 出现弧形波导属性对话框(参见图5) al4X} FXid=&T@0D 图5.弧形波导属性对话框 yeV|j\TJI. 5) 点击起始标签 Q*/jQC 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): T lB+
tV> 水平:0 Ul|htB<1: 垂直:-10 ~VPE9D@ `V?NS,@$ 图6.初始偏移值 tCu9
D 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 kO,vHg$ 激活表达式框(参见图7)。 ]yas]5H
I&5cUj{GX- 图7.波导半径 U@)WTH6d 8) 键入以下值: =AeOkie 表达式:4000 \%.&$z3wz 9) 单击终止选项卡。 uecjR8\e 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): <@qJsRbhK Horizontal:800 1xU)nXXb 垂直:-8 EL9JM}%0v ES[]A&tf 图8终止偏移值 44UN*_qG
11) 输入以下值: {JW_ZJx 宽度:4 N gOc2I 12) 点击“OK”。 p1,.f&(f 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 .+-7 'ux .H5^ N\V| 图9.修改的弧形波导 }kk[lvhJ 4. 插入输入平面 }9L;|ul6 要插入输入平面,请执行以下步骤。 <rNz&;m} 步骤 操作 #M:Vwn
JX 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 }M9I]\ 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 2Vg+Aly4D 输入平面出现(参见图10)。 r6}-EYq= u:\DqdlU` 图10.输入平面 *GM.2``e 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 }/F9(m 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 v$R7" tnw6[U!rh= ...... S!7|vb*ko QeD ;GzG 未完待续 N1'$;9 c 来源:讯技光电 P? LpI`f
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