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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： |$\1E+ 定义单向弯曲器件的材料 1fJ~Wp @1 定义系统设置 ~U7B o(EJp 创建弧形波导 ,d!@5d&Zi 插入输入平面 D0
q42+5 选择输出数据文件 +p _?ekV\ 运行仿真 }VWU cALJV 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 s JQ~ :p0e
IrRe6nf@K 1. 定义单向弯曲器件的材料 :Eh}]_ 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 ;9#W# /B 步骤 操作 +F,])p4,]i 1) 从文件菜单中，选择新建。 lV3k4i RH 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 67H?xsk@n 9;n*u9< 图1.初始属性对话框 Uv?^qe0=
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 n}9<7e~ / 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 ZJFF4($qN 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 aox@- jyr :
maBec) 图2.轮廓文件设计器 #u" @q< )
3) 创建以下介电材料： 1DU
l<&4 名称：包层（Cladding） 37IHn6r\ 折射率（Re :)：1.442 (-;(wC EE
5D-as9k* 4) 要保存资料，请单击“存储”。 J pj[.Sq
~Sf'bj;( 5) 创建第二种介电材料： s AjUX.c
xz} CqPJ# 名称：波导层（Guide） %WP[V{,F 折射率（Re :)：1.45 mJ[_q >
`CL\ - 6) 要保存资料，请单击“存储”。 HdY#cVxy
0.PG]K6 7) 创建以下通道： ,\\=f#c= 轮廓名称：通道1 #5^OO ou| 2D轮廓定义材料：波导（Guide） ;K4=fHl 8) 要保存通道，请单击“存储”。 AU}|o0Ur 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 -)&ls FF 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI gQ{<2u
3*{l^<`:gA 2. 定义系统设置 I"8Z'<|/\q 要定义系统设置，请执行以下步骤。 Uw5&.aqn.b 步骤 操作 ^?q(fK% 1 点击默认波导标签 iB~dO @ 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 n Jz* }= 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 ~U ]%>Z f 4 键入以下值： qauvwAMuX 长度：800 Q?>*h xzoP 宽度：50 5>H&0> \ 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 cYOcl-*af 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 ,DCUBD u& 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 0>;[EFL 出现布局窗口（参见图3）。 64 y9.P Y x a\~(B. 图3.布局窗口 q+;lxR5D 3. 创建弧形波导 &P*r66 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 YXF^4||j.c 步骤 操作 @.dM1DN) 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 ?}uvpB1} 光标变成十字线。 *y+K{ fM1 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 PVN`k, 4 HFYe@ 2r 图4.绘制一个弧形波导 2]x,j oB
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 xvWP^Qkb 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 .G<Or`K^i 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 r' |ei , 出现弧形波导属性对话框（参见图5） az}zoFl Xp6Z<Z&N 图5.弧形波导属性对话框 . 7Pp'-hK
5) 点击起始标签 A-^B ?E 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： uc=u4@.> 水平：0 AXo)(\ 垂直：-10 q}E'x/s2m AGx(IK/_ 图6.初始偏移值 >Fe=PRs
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 0N6 X;M{zh 激活表达式框（参见图7）。 )"00fZL 11!4#z6w 图7.波导半径 ep
l1xfr
8) 键入以下值： |^w&dj\, 表达式：4000 <BdC#t:*L 9) 单击终止选项卡。 Idj Z2)$
10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： Mu$ q) u Horizontal：800 }$@K 垂直：-8 JmBMc }54 V Kc`mE 图8终止偏移值 3m~3l d
11) 输入以下值： ;>]dwsA*P 宽度：4 N B8Yn\{B 12) 点击“OK”。 & k(tDP 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 y7z ,I 1bCS4fs^> 图9.修改的弧形波导 6iEA ._y 4. 插入输入平面 1aUu:#c 要插入输入平面，请执行以下步骤。 (tg+C\
S. 步骤 操作 ;~}!P7z 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 |c2;`T#`o 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 +: J:S"G 输入平面出现（参见图10）。 x
;]em9b `K2vG`c 图10.输入平面 ,(+ ZD@Rg
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 \ J6e/ G 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 | fn%!d `2
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未完待续 `_{,4oi 来源：讯技光电 w#s P5qKv8
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