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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： %rYt; 7B 定义单向弯曲器件的材料 B{Rig5Sc 定义系统设置 t{ 'QMX 创建弧形波导 E y uc~[ 插入输入平面 @-wAR=k7 选择输出数据文件 CBc}N(9 运行仿真 8164SWB 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 i
):el=
FU<rE&X2: 1. 定义单向弯曲器件的材料 RZ -w,~ 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 DZ vpt%q 步骤 操作 d 1z 1) 从文件菜单中，选择新建。 IMBqy -q 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 {Su]P {oJ {\ k9%2V*+ 图1.初始属性对话框 W[ b/.u5z:
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 SL(Q; _ 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 Y?> S.B7 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 ]H RE-g 0]T
;{ 图2.轮廓文件设计器 %j'l Wwi
3) 创建以下介电材料： Z|)~2[Roa 名称：包层（Cladding） o)NWsUXf 折射率（Re :)：1.442 +_+_`q>]
y
jb. 6 4) 要保存资料，请单击“存储”。 MtS$ovg?
] O 2_&cs 5) 创建第二种介电材料： *H;&hq
E3`KO'v% 名称：波导层（Guide） B]jh$@ 折射率（Re :)：1.45 i+2J\.~U#G
gxJ(u{2 6) 要保存资料，请单击“存储”。 thOCzGJ$
j,Mp["X& 7) 创建以下通道： 1r @v
\#P 轮廓名称：通道1 Odagac a 2D轮廓定义材料：波导（Guide） y`'Ly@s 8) 要保存通道，请单击“存储”。 GSl\n"S]= 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 4((Z8@iX/ 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI z%b3/rx
(|Xf=q,Le 2. 定义系统设置 5e/%Tue. 要定义系统设置，请执行以下步骤。 $UKDXQF" 步骤 操作 7%JXVP}A 1 点击默认波导标签 1W5YS +pf 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 Vb /J` 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 B} & C
h 4 键入以下值： +1e*>jE 长度：800 S!rUdxO 宽度：50 T
`N(=T^* 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 X~lOFH;}q 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 a o
32n 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 k/C r ^J" 出现布局窗口（参见图3）。 X!r!lW Y8Mo . v 图3.布局窗口 K?P.1H` 3. 创建弧形波导 qbB.Z#w 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 N:=D@x~] 步骤 操作 S7-?&[oeJ 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 d+=;sJ 光标变成十字线。 iTD{ 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 V$@@!q m`n51i{U 图4.绘制一个弧形波导 I4u'b?*
je
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 S# SA :>8s 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 |`#[jHd 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 (/PD;R$b 出现弧形波导属性对话框（参见图5） v V E^Y O>H4hp 图5.弧形波导属性对话框 n1$p
esr
5) 点击起始标签 @@}A\wA- 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： ;b(/PH!O 水平：0 ~ 5`Ngpp 垂直：-10 v )BUt,A ~KEnZa 0 图6.初始偏移值 _)lK. 5
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 R(ay&f%E 激活表达式框（参见图7）。 ] 5c| -0lpsF 图7.波导半径 M1VRc[
RRo
8) 键入以下值： ;9d(GP}eE 表达式：4000 %$Mvq&ZZ 9) 单击终止选项卡。 ))u$j4 V 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： }i ?P(
Au Horizontal：800 dDAdZx d 垂直：-8 :x= ZvAvo *F2ob pU 图8终止偏移值 B-JgXW.\0
11) 输入以下值： wHdq :,0-! 宽度：4 tlG&PVvr 12) 点击“OK”。 ;z!~-ByzL 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 p}N'>+@= y%p&g 图9.修改的弧形波导 ai#0ZgO 4. 插入输入平面 v P? "MG 要插入输入平面，请执行以下步骤。 +n1}({7m 步骤 操作 4TUe*F@
ML 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 ;<MHDm D 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 #2|sS |0 < 输入平面出现（参见图10）。 X2Y-TE T N(/DC)DJg 图10.输入平面 hNS V}~h
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 mLKwk6I 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 H|==i2 V{
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...... 7RTp+FC]
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未完待续 B3e{'14 来源：讯技光电 P#" vlNa
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