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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： e u)""l 定义单向弯曲器件的材料 :I /9j= @1 定义系统设置 s\~j,$Mm2 创建弧形波导 3%Q<K=jy 插入输入平面 9G6ZKqum 选择输出数据文件 %OHWGac"i 运行仿真 #X``^
在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 L;g2ZoqIr0
2N |iOog 1. 定义单向弯曲器件的材料 %j@/Tx/ 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 0iC5, 步骤 操作 e]>=;Zn 1) 从文件菜单中，选择新建。 n| T$3j) 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 :{S@KsPqE @6|0H`kv 图1.初始属性对话框 )@U~Li/+
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 %AqI'ObC 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 E0HE@pqr 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 /Dc54U n 3rZPVR$)) 图2.轮廓文件设计器 dtV*CX.D.7
3) 创建以下介电材料： G3!O@j!7w$ 名称：包层（Cladding） 8z|]{XW{ 折射率（Re :)：1.442 r$M<vo6C
oPBKPGD 4) 要保存资料，请单击“存储”。 6^jrv [d
(p' /a.bn 5) 创建第二种介电材料： ZvXw#0) v
1x/ R 名称：波导层（Guide） 9 X1vL 折射率（Re :)：1.45
Jk`l{N
('uUf!h?\ 6) 要保存资料，请单击“存储”。 $z)egh(z
3qu?qD 7) 创建以下通道： GU1cMe 轮廓名称：通道1 <
fe. 2D轮廓定义材料：波导（Guide） dR>$vbjh1Z 8) 要保存通道，请单击“存储”。 5>e<|@2
X 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 6
3PV R" 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI J^DyhCs
n/BoK6g 2. 定义系统设置 bx6=LK 要定义系统设置，请执行以下步骤。 e{4e<hd 步骤 操作 pwSkw J] 1 点击默认波导标签 )eSQce7H 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 DH$ Nz 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 Ln+ .$ C 4 键入以下值： I_?R(V[9 长度：800 #jxPh! %9 宽度：50 P A *U\ 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 )FA:wsy~E 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 4 u0?[v[Hu 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 3*7 klu 出现布局窗口（参见图3）。 8In~qf @kT@IQkri 图3.布局窗口 Xa "I 3. 创建弧形波导 it>l?h7 I 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 9&kPcFX B 步骤 操作 XdlA)0S) 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 })PU`?f 光标变成十字线。 hC X/k<}I 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 8OS^3JS3" d} ?KPJ{ 图4.绘制一个弧形波导 -
?
i
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 " ~K ph0- 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 |XQ\c.A 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 m^RO*n. 出现弧形波导属性对话框（参见图5） *cX i*7|= QR-pji
y 图5.弧形波导属性对话框 sQr M"i0Y>
5) 点击起始标签 \SgBI/L^ 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： eAQ-r\h'2 水平：0 BG 4TUt 垂直：-10 d[H`Fe6h :UKc: JVNM 图6.初始偏移值 }U}ppq0Eo
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 @L607[!? 激活表达式框（参见图7）。 mZ?QtyljT /
U~yYh 图7.波导半径 CNWA!1n^Hy
8) 键入以下值： d?/g5[ 表达式：4000 #?>p l. 9) 单击终止选项卡。 v}!^RW 'X 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： (v0Q.Q@ < Horizontal：800 3:OqD~,zy 垂直：-8 >B$ IrM7J NOAz"m+o 图8终止偏移值 (2 hI
11) 输入以下值： vMJ_n=Vf 宽度：4 GbkDs- 12) 点击“OK”。 fCO<-L9k$ 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 NJ$Qm.S Z; dR :|%) 图9.修改的弧形波导 Kb /qM}jS 4. 插入输入平面 UQb|J9HY4 要插入输入平面，请执行以下步骤。 @aB7dtM 步骤 操作 @y
e AM7 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 uaLjHR0 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 \4fuC6d2 输入平面出现（参见图10）。 ke xvE 3 KfC{/J\
图10.输入平面 R=iwp%c(
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 9D?JzTsyg 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 h>z5m
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...... -2C^M> HZ
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未完待续 k$Ug;`v# 来源：讯技光电 ^>fr+3a"P
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