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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： 8EiS\$O- 定义单向弯曲器件的材料 _8`S&[E? 定义系统设置 q ixnaiZ 创建弧形波导 9 XS>;<"2 插入输入平面 +m}D. u*cp 选择输出数据文件 ZW;Re5?DJ 运行仿真 { }Afah 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 4ee- tKH
= =KDr 0|G 1. 定义单向弯曲器件的材料 }D vT6 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 |a0@4
: 步骤 操作 'UCClj;?K 1) 从文件菜单中，选择新建。 &u2m6 r>W 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 nGJ+.z L`w_Q2{sv 图1.初始属性对话框 =jG." o
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 ^|h.B$_F, 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 wUS w 9xg 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 77]Fp(uI 1NN#-U 图2.轮廓文件设计器 PMj!T \B|
3) 创建以下介电材料： 0o@eE3^ 名称：包层（Cladding） </D v? 折射率（Re :)：1.442 IV`+B<3
Wjd_|K ui 4) 要保存资料，请单击“存储”。 ~f 8:sDJ
;T!ZO @1X 5) 创建第二种介电材料： kKVNE h Tp
r;zG
名称：波导层（Guide） ) @f6 折射率（Re :)：1.45 #.@D}7y5
ML1/1GK*i+ 6) 要保存资料，请单击“存储”。 VF:<q
\q|<\~A 7) 创建以下通道： A9y3B^\* 轮廓名称：通道1 =%crSuP 2D轮廓定义材料：波导（Guide） b;G#MjQp' 8) 要保存通道，请单击“存储”。 mx0EEU* 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 Ij7[2V]c 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI h}GzQr y1
+78cQqDY! 2. 定义系统设置 Cl!qd h6 要定义系统设置，请执行以下步骤。 Zx%6pZ(. 步骤 操作 'iEu1! t\0 1 点击默认波导标签 _VLA2#V> 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 B d?{ldg 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 ks(BS k4 4 键入以下值： +nQp_a1{9% 长度：800 #J* hZ(Pq 宽度：50 qbD[<T 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 %2`.*]L 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 ![aa@nOSa 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 h5
PZ?Zd 出现布局窗口（参见图3）。 DYW&6+%,hO @*5(KIeeC> 图3.布局窗口 Hus.Jfam 3. 创建弧形波导 :$& v4IW 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 ?!$: I8T 步骤 操作 h=MEQ-3jg 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 qW|_|%{U+ 光标变成十字线。 ix_&<?8 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 .CBb%onx ]YKxJ''u 图4.绘制一个弧形波导 A\)~y{9bQ
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 CsiRM8 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 ~r?VXO p"
4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 U'0e< IcY 出现弧形波导属性对话框（参见图5） $9?<mP2-* Nh"U~zlh 图5.弧形波导属性对话框 ^BhS*
5) 点击起始标签 ^_\%?K_u 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： O*ER3 水平：0 2[g kDZ 垂直：-10 5 N:IH@ HlraOp+ 图6.初始偏移值 ;={3H_{3
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 )_ SpY\J 激活表达式框（参见图7）。 ^JAp#?N^9 :r9<wbr)k0 图7.波导半径 Cm;M;
?
8) 键入以下值： s%^@@Dk 表达式：4000 sq;3qbz 9) 单击终止选项卡。 LpN3c y>U 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： 4OFv#$[ Horizontal：800 ]D[\l$( 垂直：-8 )
(0=w4 cc 0T b 图8终止偏移值 <."KejXg-
11) 输入以下值： v H/RP 宽度：4 $N\k*= 12) 点击“OK”。 }VeE4-p B 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 Sg*+ ! wl gR = l 图9.修改的弧形波导 iw%" "q(` 4. 插入输入平面 iP6?[pl8 要插入输入平面，请执行以下步骤。 1)!2D?w 步骤 操作 g{CU1c)B 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 v2k@yx t( 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 Up0kTL 输入平面出现（参见图10）。 l+j
!CvtI qiH)J-
~GZ 图10.输入平面 !*S,S{T8
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 =\G`g # 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 #x`K4f)
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未完待续 NY|hE@{2. 来源：讯技光电 %7 QS BL
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