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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: t_Rj1U 定义单向弯曲器件的材料 s(e1kk}" 定义系统设置 Nq|y\3] 创建弧形波导 @Kw&XK e` 插入输入平面 ?b93! Q1 选择输出数据文件 p#3G=FV 运行仿真 )*Wz5x 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 #%L_wJB- DghqSL^s 1. 定义单向弯曲器件的材料 "xn,'`a 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 _;:_ !` 步骤 操作 s,l*=< 1) 从文件菜单中,选择新建。 m\E=I5*/ 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 vsQvJDna~ 0QxBC7`qp 图1.初始属性对话框 P%
8U 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 Z`|\%D% 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 q(4Ny<=,'K 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 ]z| 2 c#>:U,j 图2.轮廓文件设计器 i6y=3k 3) 创建以下介电材料: Y kvEQ= 名称:包层(Cladding) M
9NT%7Il 折射率(Re :):1.442 e2g`T{6M 1^ go)(Mx 4) 要保存资料,请单击“存储”。 4ElS_u^cP7 ?^LG>GgV 5) 创建第二种介电材料: 3(gOF&Uf9 9l:[jsk<d 名称:波导层(Guide) x<@i3Y{[ 折射率(Re :):1.45 52^,qP'6 8i<]$ 6) 要保存资料,请单击“存储”。 "L8Hgwg f9+6gY 7) 创建以下通道: G>jC+0nkry 轮廓名称:通道1 .q!i
+0 2D轮廓定义材料:波导(Guide) 1/6}E]-F 8) 要保存通道,请单击“存储”。 WP=uHg 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 }_H\75Iv 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI FMzG6nrdBN 3C'6i 2. 定义系统设置 Zv?"1Y< L 要定义系统设置,请执行以下步骤。 2 zG;91^ 步骤 操作 OYb:);o,iE 1 点击默认波导标签 Rm6i[y& 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 I1s$\NZ~] 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 ?sR( 4 键入以下值: 2MW7nIEs 长度:800 i [Wxu M 宽度:50 fN:FD` 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 {<#b@=G 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。
8-cuaa 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 c `.BN( 出现布局窗口(参见图3)。 H\a\xCP3 j0 w@ \gO< 图3.布局窗口 N^k&
8 3. 创建弧形波导 ikb77?. 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 tx Qr|\4k 步骤 操作 ZF8`=D`:R 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 yf-2E_yB 光标变成十字线。 }([}A`@ 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 &5[+p{2 )h{+pK 图4.绘制一个弧形波导 s?4nR:ZC} 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 73SH[f[g 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 @xBO[v 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 +oHbAPs8 出现弧形波导属性对话框(参见图5) H]f[r~ 2]FRIy
d 图5.弧形波导属性对话框 nwqA\ 5) 点击起始标签 9}tl@ 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): xVN!w\0 水平:0 e@/' o/ 垂直:-10 (.L?sDQ</z FU.?n)P 图6.初始偏移值 ,)aUp4* 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 nE2?3 S> 激活表达式框(参见图7)。 wm9wnAy Tks"GlE*D 图7.波导半径 /FC(d5I 8) 键入以下值: TmM~uc7mj 表达式:4000 7r.~L 9) 单击终止选项卡。 r:4]:NKCi 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): DF
gM7if Horizontal:800 "/2kf)l{4 垂直:-8 L{&=SR. :uC9 #H"b 图8终止偏移值 &] xtx>qg< 11) 输入以下值: A..`?oGj 宽度:4 o|#F@L3i 12) 点击“OK”。 Cb.M 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 $M+'jjnP pF8+<
T3y 图9.修改的弧形波导 Q&"oh 4. 插入输入平面 Dca,IaT' 要插入输入平面,请执行以下步骤。 %Z,n3iND 步骤 操作 v(Sh+p 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 .b^!f<j 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 t~) g)=> 输入平面出现(参见图10)。 S_RP&+!7 U3 UA 图10.输入平面
:Gx5vo 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 >J_P[v 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 ya,-Lt |`{$Ego: ...... Q~P|=* y7GgTC/H 未完待续 jB0Ts;5 来源:讯技光电 qElPYN*wF
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