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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： 5MQD:K2 定义单向弯曲器件的材料 mSY ;hJi 定义系统设置 Fs|fo-+H}k 创建弧形波导 % rRYT8 插入输入平面 n (C*LK 选择输出数据文件 >O&(G0!N+} 运行仿真 yXh=~:1~ 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 ivb&J4?y
8ysU.5S 1. 定义单向弯曲器件的材料 drBWo|/ 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 js^@tgf$x& 步骤 操作 Q|@!zMy 1) 从文件菜单中，选择新建。 YKJk)% ;+w 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 U8c0N<j aG%KiJ7KEN 图1.初始属性对话框 L
oe !@c
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 pT>[w1Kk ^ 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 `pn]jpW9 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 GLB7h 9> Y 1rU 图2.轮廓文件设计器 "w*VyD
3) 创建以下介电材料： I? G
m 名称：包层（Cladding） !l?Go<^*L 折射率（Re :)：1.442 kUUN2
>DBaKLu\ 4) 要保存资料，请单击“存储”。 we4e>)
ZK [ 4 n5} 5) 创建第二种介电材料： S`8
h] vX
7m~+HM\ 名称：波导层（Guide） S)iv k x 折射率（Re :)：1.45 :U oZ`O~
_VMW-trG 6) 要保存资料，请单击“存储”。 <ap%+(!I
7Y&W^]UZ0t 7) 创建以下通道： |g;hXr#~ 轮廓名称：通道1 P p7}|/ 2D轮廓定义材料：波导（Guide） |_&vW \ 8) 要保存通道，请单击“存储”。 3!_y@sWx 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 7"yA~e,l 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI b6RuYwHWV0
#Q.A)5_ 2. 定义系统设置 +;c)GNQ)6: 要定义系统设置，请执行以下步骤。 \sEq
r)\k 步骤 操作 ^ b{0 |: 1 点击默认波导标签 f>k]{W Y 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 0.'$U}#b 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 0UB)FK ,9 4 键入以下值： 0j %s
H 长度：800 n2zJ' 宽度：50 &W `." 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 5D8V)i 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 Wz)s# 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 m Y*JNx 出现布局窗口（参见图3）。 U$Z)v1&{ 2 DJs '"8 图3.布局窗口 l ~CYxO 3. 创建弧形波导 v Oy;=0$ 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 ,j>A[e&. 步骤 操作 \b95CU 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 5Mf bO3 光标变成十字线。 qPDe;$J) 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 S@* lI2 Eyv%"+> 图4.绘制一个弧形波导 ;9PJ K5>~
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 HJ?p,V q5_ 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 N _(qMW 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 9dn~nnd'n 出现弧形波导属性对话框（参见图5） 4/vQ/>c2j ]&w8"q 图5.弧形波导属性对话框 _LU]5$\b
5) 点击起始标签 - L%tiz`_ 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： mlW0ptp 水平：0 .xo#rt9_"= 垂直：-10 -7,xjn eLW D?-v% 图6.初始偏移值 hC2 @Gq
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 j;6kN-jx 激活表达式框（参见图7）。 .Y|5i^i 9{ J:LwO 图7.波导半径 g\^7 Q
8) 键入以下值： @ px2/x 表达式：4000 +AkAMZ"Mg 9) 单击终止选项卡。 @'>h P 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： k|Mj|pqA Horizontal：800 DdD wMq 垂直：-8 *gF8"0s *{[jO&& J 图8终止偏移值 Xy/lsaVskX
11) 输入以下值： 9jW/" 宽度：4 MG6taOO! 12) 点击“OK”。 hDBVL" 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。
j`tBki: 0} v_usP 图9.修改的弧形波导 }\Kki 4. 插入输入平面 o+Cd\D69S 要插入输入平面，请执行以下步骤。 #fdQ\)#q> 步骤 操作 N~Zcrt_D 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 vU|=" # 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。
6j
uNn} 输入平面出现（参见图10）。 =, kH(rp2 )~@iM.}S2 图10.输入平面 qcpAjjK
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 Y6<"_ 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 l@C39VP
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未完待续 CjeAO 2 来源：讯技光电 &\K p_ AR
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