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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: AIwp2Fz 定义单向弯曲器件的材料 y(r(q 定义系统设置 )5U7w 创建弧形波导 G7HvA46 插入输入平面 p#dYNed]' 选择输出数据文件 #fF';Y7 运行仿真 VC NQ}h[D 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果
&Mh]s\ p:4oA<V 1. 定义单向弯曲器件的材料 sGJZG 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 .ffb*gZ4 步骤 操作 PkdL] !: 1) 从文件菜单中,选择新建。 A@ G%*\UZ 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 <(o) * Zmo K&iU+ 图1.初始属性对话框 9C1\?)"D^e 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 S?(/~Vb% 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 H[iR8<rhQ 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 !o`h*G-x gs= (h* 图2.轮廓文件设计器 }$'T=ay& 3) 创建以下介电材料: ca$K)=cDW 名称:包层(Cladding) xR5zm%\ 折射率(Re :):1.442 ~$ "P\iJ bX&=*L+h6 4) 要保存资料,请单击“存储”。 1:q5h* 7brC@+ZD 5) 创建第二种介电材料: (,
uW- n]WVT@ 名称:波导层(Guide) nTPq|=C 折射率(Re :):1.45 ]KRw[}z iXuSFman 6) 要保存资料,请单击“存储”。 vHx[:vuq: b(:U]>J 7) 创建以下通道: 0\yA6`}! 轮廓名称:通道1 A>J,Bi 2D轮廓定义材料:波导(Guide) (wZ/I(4 8) 要保存通道,请单击“存储”。 [-JU(:Rh 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 f5&K=4khn 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI b*"%E,? _{YUWV50} 2. 定义系统设置 &BJ"T 要定义系统设置,请执行以下步骤。 .L}k-8 步骤 操作
GA"zO, 1 点击默认波导标签 c`_[q{(^m 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 j
q1|`: 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 7,EdJ[CR$ 4 键入以下值: 96S#Q*6+R 长度:800 @
M 宽度:50 jB%aHUF; 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 }:hN}*H 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 '@,M
'H{ 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 8iUj9r_ 出现布局窗口(参见图3)。 J`d;I#R%c JWvL 图3.布局窗口 @PyZ u7' 3. 创建弧形波导 zqa7!ky 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 9._owKj 步骤 操作 vAjvW&'g 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 8(""ui8 光标变成十字线。 [,/~*L;7 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 bGe@yXId5 *VgiJ 图4.绘制一个弧形波导 n]fMl:77 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 Ipyr+7/zJ 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 3DS&-rN 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 M)j.Uu 出现弧形波导属性对话框(参见图5) `0Bk@B[> yJ?S7+b 图5.弧形波导属性对话框 \*5${[ 5) 点击起始标签 h@yn0CU3. 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): :2(U3~3: 水平:0 -|_MC^) 垂直:-10 gis;)al zX}t1:nc 图6.初始偏移值 20A`]-D 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 V(3=j)# 激活表达式框(参见图7)。 w0`8el; =`Lci1#pu} 图7.波导半径 6g&Ev' 8) 键入以下值: + Un(VTD 表达式:4000 b.|k j 9) 单击终止选项卡。 Ws*UhJY<GS 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): $*hqF1Q Horizontal:800 _T\cJcWf 垂直:-8 5L\&"[' K$/&C:,Q 图8终止偏移值 a|eHo%Qt 11) 输入以下值: wGg_ vAn 宽度:4 V;29ieE! 12) 点击“OK”。 y7~y@ 2 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 7]H<ou 'M!M$<j 图9.修改的弧形波导 T7~H|% 4. 插入输入平面 cPy/}A 要插入输入平面,请执行以下步骤。 Mqv[7.| 步骤 操作 I>JBGR`j 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 yc+pNC)ue_ 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 *WaqNMD[% 输入平面出现(参见图10)。 qs Wy
<yL+ YpI|=mv 图10.输入平面 5XoM) 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 2"6bz^>} 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 `3:Q.A_? dVe,;?+A ...... $Da?)Hz'F *}) W> 未完待续 <.".,Na(J0 来源:讯技光电 .F},Z[a&
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