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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： MrEyN8X 定义单向弯曲器件的材料 @ae;& 定义系统设置 IZBU<1M 创建弧形波导 ECqcK~h#E 插入输入平面 -qz; 选择输出数据文件 Am&/K\O 运行仿真 $J &ww P[ 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 o :jLM7$=
xM}lX(V!w 1. 定义单向弯曲器件的材料 @x ?7J@: 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 j_c0oclSz 步骤 操作 i6M_Gk} 1) 从文件菜单中，选择新建。 v??}d
出现“初始属性”对话框（参见图1）。 XZhuV< vBAds 图1.初始属性对话框 74hGkf^S
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 Q-fi(UP 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 TWkuR ]5 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 $EHAHNL?Lx 5xL%HX[S 图2.轮廓文件设计器 ) D: M_T2
3) 创建以下介电材料： O0Y/y2d 名称：包层（Cladding） w?]k $ 折射率（Re :)：1.442 H5uWI
n Bv|5$w: 4) 要保存资料，请单击“存储”。 JPW+(n|g
i&\N_PUm[ 5) 创建第二种介电材料： /H& :
J(F]?H 名称：波导层（Guide） 9MA/nybI 折射率（Re :)：1.45 cN_e0;*Ua
k]W ~_ 6) 要保存资料，请单击“存储”。 .w2X24Mmb
f l>*>)6pm 7) 创建以下通道： +[@Ug `5M 轮廓名称：通道1 pH5"g"e1 2D轮廓定义材料：波导（Guide） ?XO$ 9J 8) 要保存通道，请单击“存储”。 =FUORj\O 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 =o]V!MW 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI {` Bgxejf
Z'p7I}-qr 2. 定义系统设置 ^;4nHH7z-, 要定义系统设置，请执行以下步骤。 7@al )G;~ 步骤 操作 Ag
QR"Nu6 1 点击默认波导标签 ~]8bTw @ 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 A7SBm`XJ)p 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 }3
NGMGu$ 4 键入以下值： 6O2 r5F$T 长度：800 e#]= -^ 宽度：50 uS p=,2) 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 l1 On .s 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 <_&tP=h 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 wZN<Og +; 出现布局窗口（参见图3）。 U WYLT-^x k @'85A` 图3.布局窗口 l<0 BMw S8 3. 创建弧形波导 99 /fI 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 Q?rb(u( 步骤 操作 NMb`d0;( 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 \NwL #bQ~ 光标变成十字线。 s8iJl+Jm 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 ^50#R< Ny d[;=X .fZ2 图4.绘制一个弧形波导 :{<( )gfk
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 0]3%BgZ(a8 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 Z|+SC \Y 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 Av[L,4A 出现弧形波导属性对话框（参见图5） @(2DfrC J2H/z5YRJ4 图5.弧形波导属性对话框 \AV6 ;;}&
5) 点击起始标签 Cn4o^6? " 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： O.4ty)* 水平：0 AG6tt 垂直：-10 b?`8-g vG 9A'R'P 图6.初始偏移值 3Tv;<hF
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 * bx%hX 激活表达式框（参见图7）。 TGx:#x*k A`2l ;MW 图7.波导半径 RMU]GCa
8) 键入以下值： :=x-b3U 表达式：4000 l%]S7|PKx 9) 单击终止选项卡。 m f]1mG}) 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： Op eK-K Horizontal：800 `iuo([E d 垂直：-8 T. nY>Q8 AK%2#}k. 图8终止偏移值 !7XAc,y
11) 输入以下值： j<w";I&Diz 宽度：4 e - vL!&;2 12) 点击“OK”。 X,d`-aKO\y 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 ]h8[b9$<") rxtp?|v9 图9.修改的弧形波导 gE8p**LT+ 4. 插入输入平面 sp*_;h3' 要插入输入平面，请执行以下步骤。 2OFrv=F 步骤 操作 )+T\LU 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 4r5trquC 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 iDej{95 输入平面出现（参见图10）。 tEP~` $9 "C 7-^R# 图10.输入平面 _/0vmgQ&
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 V~p/ P 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 I_x vg
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未完待续 =jZ}@L/+ 来源：讯技光电 Z^w11}
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