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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: N({0" 7 定义单向弯曲器件的材料 f|+aa6hN
定义系统设置 j{$2.W$ 创建弧形波导 QnJd}(yN 插入输入平面 f]4j7K!e] 选择输出数据文件 u> @@ 运行仿真 T)#e=WcP] 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 `g+Kv&546 mI>=S 1. 定义单向弯曲器件的材料 2}uSrA7n] 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 > I>=/i^ 步骤 操作 Bo+Yu(|cL 1) 从文件菜单中,选择新建。 P=<>H9p:o 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 B<{Yj}.. A$jf#, 图1.初始属性对话框 Ud:;kI%Vj 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 _aP2gH 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 wh2Ljskda8 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 oiRrpS\T. Y52TC@' 图2.轮廓文件设计器 RI2/hrW 3) 创建以下介电材料: D KRF#*[=d 名称:包层(Cladding) 2TccIv 折射率(Re :):1.442 F\2<q$Zn+ kXN8hU}iq 4) 要保存资料,请单击“存储”。
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'x &HBC9Bx/( 5) 创建第二种介电材料: \R[f< K% jaL# 名称:波导层(Guide) *"d['V3 折射率(Re :):1.45 Gp0yRT. y=&^=Zh[ 6) 要保存资料,请单击“存储”。 W`F?j-4 |wM<n 7) 创建以下通道: r7+Ytr 轮廓名称:通道1 #BW:*$>} 2D轮廓定义材料:波导(Guide) Hrg -5_ 8) 要保存通道,请单击“存储”。 ~m3Tq.sYrY 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 63SmQsv 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI m\f}?t Rm[{^V.Z$ 2. 定义系统设置 L2IY$+=M 要定义系统设置,请执行以下步骤。 @MxB
d,P 步骤 操作 7v
V~O@JP 1 点击默认波导标签 (R]b'3,E$ 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 5ajd$t 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 bScW<DZJ- 4 键入以下值: a8 .x=j< 长度:800 *?~&O.R" 宽度:50 v[]&yD 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 H`OJN. 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 [j 'lB 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 vAqVs5 j 出现布局窗口(参见图3)。 J\E?rT *6wt+twH 图3.布局窗口 UIo jXR< 3. 创建弧形波导 ^=ar Kp,?5 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 mJ'5!G 步骤 操作 RA*W Ys&xb 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 4Un%p7Y~ 光标变成十字线。 _ q^JjR 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 Q tl!f Rg7~?b- 图4.绘制一个弧形波导 C/ENJ& 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 "H|hN 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 jg3T1ROL 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 6Ao{Aej| 出现弧形波导属性对话框(参见图5) ^]TYS]C <xh";seL 图5.弧形波导属性对话框 z4r g.ai 5) 点击起始标签
%Krf,H 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): QFU1l"(qGk 水平:0 ?@H/;hB[| 垂直:-10 "]hQ\b\O lr9s`>9 图6.初始偏移值 Rv|X\Wm 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 .-}F~FES 激活表达式框(参见图7)。 c=<5DC&p vJsx_i\i 图7.波导半径 ]]50c 8) 键入以下值: *eAzk2 表达式:4000 dPmNX-'7 9) 单击终止选项卡。 c4iGtW 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): b$N&sZ Horizontal:800 hIFfvUl 垂直:-8 VH6J
@m 1{?5/F \ + 图8终止偏移值 5^Ps(8VbS 11) 输入以下值: sJ7ZE-v]h 宽度:4 5^C.}/#>F 12) 点击“OK”。
2!";?E 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 -$o4WSd~ b|nh4g 图9.修改的弧形波导 E&>= 4. 插入输入平面 /XXy!=1J 要插入输入平面,请执行以下步骤。 !1xX)XD4y 步骤 操作 A x'o|RE)x 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 66|$X, 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 ehyCAp0oI 输入平面出现(参见图10)。 hi^t zpy @"L*! 图10.输入平面 CQ:38l\`gd 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 rfYFS96 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 b9 TsuY
Mc<O ~ ...... ;0-Y), /Gvd5 未完待续 tlcNGPa 来源:讯技光电 #L9F\ <K
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