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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: ,WoV)L'? 定义单向弯曲器件的材料 RH$YM
`cZ 定义系统设置 N~?#Qh|ZnU 创建弧形波导 "412w^5[T 插入输入平面 }%y5<n*v\ 选择输出数据文件 {t]8#[lo 运行仿真 ?+{_x^ 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 dtV7YPz4+ _ vAc/_N 1. 定义单向弯曲器件的材料 - Sn]` 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 >I+p;V$@ 步骤 操作 [l~G7u.d 1) 从文件菜单中,选择新建。 _0iV6Bj 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 ArT@BqWd =C7<I 图1.初始属性对话框 \34:]NM 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 *A0d0M]cg 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 4`+R
|"4 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 cCG!X%9 ow'CwOj$ 图2.轮廓文件设计器 WZviC_ 3) 创建以下介电材料: 'PTQ
S,E 名称:包层(Cladding) sM9utR 折射率(Re :):1.442 ?MSV3uODb @$~;vS 4) 要保存资料,请单击“存储”。 emT/H95|, >`` 5) 创建第二种介电材料: #aE>-81SS& fM(~>(q& 名称:波导层(Guide) @F|pKf:M+ 折射率(Re :):1.45 a3Xd~Qs 7oCY@>(f 6) 要保存资料,请单击“存储”。 q{L-(!uz7_ ;):E 8;B) 7) 创建以下通道: /%bnG(4 轮廓名称:通道1 IGA4"\s 2D轮廓定义材料:波导(Guide) ( De>k8 8) 要保存通道,请单击“存储”。 VMu?mqEa 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 }Am5b@g"$Y 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI |Rm_8n%m {_Fh3gjb/ 2. 定义系统设置 -6e^`c6{ 要定义系统设置,请执行以下步骤。 {m_y< 步骤 操作 |[)pQGw 1 点击默认波导标签 P9jSLM 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 zu,Yuq 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 e?KzT5j: 4 键入以下值: Ns\};j?TU* 长度:800 H=mFc@fh 宽度:50 FA%V>&;` 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 q7I(x_y / 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 nPjK=o`KR 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 /^WOrMR 出现布局窗口(参见图3)。 oE,TA2 8zh o\' 图3.布局窗口 _Ec"[xW 3. 创建弧形波导 nZEew.T:6 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 DbYnd%k*4 步骤 操作 PlwM3lrj 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 i*T
-9IP 光标变成十字线。 ^-"tK:{ 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 Fv:x>qZr@ NIp]n[=.q 图4.绘制一个弧形波导 tY#Zl 54~{ 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 yqP=6 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 >1` '5A}s 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 ?[)V 出现弧形波导属性对话框(参见图5) p!\GJ a", .Y^pDR12 图5.弧形波导属性对话框 %Nx,ZD@ 5) 点击起始标签 lWBewnLKE 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): _\{/#J;lN 水平:0 Z1]4: 垂直:-10 }%D${.R] Uz%ynH 图6.初始偏移值 A.~wgJDO 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 }[(v(1j='~ 激活表达式框(参见图7)。 zT93Sb pdjRakN 图7.波导半径 wn\R|'Rdz 8) 键入以下值: sj6LrE=1 表达式:4000 s}bLA>~Ta 9) 单击终止选项卡。 3Z7gPU!H= 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): [p]UM;+ Horizontal:800 (i1p6 垂直:-8 uavyms^ bgkBgugZhX 图8终止偏移值
N1"bH~ 11) 输入以下值: t$?#@8Yk 宽度:4 \+:`nz3m 12) 点击“OK”。 8/;@4^Ux 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 &kT!GU^n zjzEmX 图9.修改的弧形波导 Fl}!3k>c 4. 插入输入平面 b*4aUpW 要插入输入平面,请执行以下步骤。 +-|}<mq 步骤 操作 9Q\RCl_1 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 hf;S#.k 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 sejT] rJ 输入平面出现(参见图10)。 A=70UL ,$RXN8x1 图10.输入平面 _rz\[{) 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 x6^FpNgQ 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 ?a'EkZ.dB '$5d6?BC`3 ...... uO1^nK Mhc5<~? 未完待续 }9FWtXAU^1 来源:讯技光电 x'SIHV4M@Q
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