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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: MrEyN8X 定义单向弯曲器件的材料 @ae;& 定义系统设置 IZBU<1M 创建弧形波导 ECqcK~h#E 插入输入平面 -qz; 选择输出数据文件 Am&/K\O 运行仿真 $J&wwP[ 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 o:jLM7$= xM}lX(V!w 1. 定义单向弯曲器件的材料 @x?7J@: 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 j_c0oclSz 步骤 操作 i6M_Gk} 1) 从文件菜单中,选择新建。 v??}d
出现“初始属性”对话框(参见图1)。 XZhuV< vBAds 图1.初始属性对话框 74hGkf^S 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 Q-fi(UP 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 TWkuR]5 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 $EHAHNL?Lx 5xL%HX[S 图2.轮廓文件设计器 ) D:M_T2 3) 创建以下介电材料: O0Y/y2d 名称:包层(Cladding) w?]k$ 折射率(Re :):1.442 H5uWI n Bv|5$w: 4) 要保存资料,请单击“存储”。 JPW+(n|g i&\N_PUm[ 5) 创建第二种介电材料: /H&: J(F]?H 名称:波导层(Guide) 9MA/nybI 折射率(Re :):1.45 cN_e0;*Ua k]W~_ 6) 要保存资料,请单击“存储”。 .w2X24Mmb fl>*>)6pm 7) 创建以下通道: +[@Ug`5M 轮廓名称:通道1 pH5"g"e1 2D轮廓定义材料:波导(Guide) ?XO$9J 8) 要保存通道,请单击“存储”。 =FUORj\O 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 =o]V!MW 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI {` Bgxejf Z'p7I}-qr 2. 定义系统设置 ^;4nHH7z-, 要定义系统设置,请执行以下步骤。 7@al)G;~ 步骤 操作 Ag
QR"Nu6 1 点击默认波导标签 ~]8bTw@ 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 A7SBm`XJ)p 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 }3
NGMGu$ 4 键入以下值: 6O2 r5F$T 长度:800 e#]=-^ 宽度:50 uSp=,2) 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 l1On .s 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 <_&tP=h 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 wZN<Og+; 出现布局窗口(参见图3)。 U WYLT-^x k @'85A` 图3.布局窗口 l<0BMw S8 3. 创建弧形波导 99 /fI 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 Q?rb(u( 步骤 操作 NMb`d0;( 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 \NwL #bQ~ 光标变成十字线。 s8iJl+Jm 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 ^50#R<Ny d[;=X .fZ2 图4.绘制一个弧形波导 :{<( )gfk 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 0]3%BgZ(a8 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 Z|+SC \Y 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 Av[L,4A 出现弧形波导属性对话框(参见图5) @(2DfrC J2H/z5YRJ4 图5.弧形波导属性对话框 \AV6;;}& 5) 点击起始标签 Cn4o^6? " 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): O.4ty)* 水平:0 AG6tt 垂直:-10 b?`8-g vG9A'R'P 图6.初始偏移值 3Tv;<hF 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 * bx%hX 激活表达式框(参见图7)。 TGx:#x*k A`2l ;MW 图7.波导半径 RMU]GCa 8) 键入以下值: :=x-b3U 表达式:4000 l%]S7|PKx 9) 单击终止选项卡。 mf]1mG}) 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): OpeK-K Horizontal:800 `iuo([E d 垂直:-8 T.nY>Q8 AK%2#}k. 图8终止偏移值 !7XAc,y 11) 输入以下值: j<w";I&Diz 宽度:4 e-vL!&;2 12) 点击“OK”。 X,d`-aKO\y 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 ]h8[b9$<") rxtp?|v9 图9.修改的弧形波导 gE8p**LT+ 4. 插入输入平面 sp*_;h3' 要插入输入平面,请执行以下步骤。 2OFrv=F 步骤 操作 )+T\LU 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 4r5trquC 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 iDej{95 输入平面出现(参见图10)。 tEP~`$9 "C 7-^R# 图10.输入平面 _/0vmgQ& 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 V~p/P 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 I_xvg
>i .T0w2Dv/ ...... lN"%~n? p<IMWe'tP 未完待续 =jZ}@L/+ 来源:讯技光电 Z^w11}
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