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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: ER0TY, 定义单向弯曲器件的材料 s9^"wN YQ 定义系统设置 # Lu4OSM+ 创建弧形波导 hj%}GP{{ 插入输入平面 LPtx|Sx![ 选择输出数据文件 OFJJ-4[_3 运行仿真 <6~/sa4GN 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 ZS07_6.~ vbW\~xf 1. 定义单向弯曲器件的材料 :==UDVP 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 (\5<GCW- 步骤 操作 cuJ/ Vc 1) 从文件菜单中,选择新建。 2n<qAl$t 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 ZYpD8u6U j(wY/Hl 图1.初始属性对话框 K*hf(w9="% 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 H{p[Ghp 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 vLVSZX 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 % t,1_c0w UFSEobhg&5 图2.轮廓文件设计器 >EPaZp6 3) 创建以下介电材料: Cf8R2(-4 名称:包层(Cladding) p1[WGeV 折射率(Re :):1.442 \J#I}-a&j F!DrZd>\ 4) 要保存资料,请单击“存储”。 c/,|[t J-HabHv 5) 创建第二种介电材料: wFH(.E0@Q F<XD^sO 名称:波导层(Guide) PDa06(t7 折射率(Re :):1.45 ePFC$kMn GcU(:V2o 6) 要保存资料,请单击“存储”。 tFb|y+ lUm}nsp=X 7) 创建以下通道: [xH2n\7 轮廓名称:通道1 +#2@G}j 2D轮廓定义材料:波导(Guide) ?L.p9o-S0 8) 要保存通道,请单击“存储”。 p)AvG; 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 aG8;,H=%, 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI 2n\i0?RD ]Y/pSwnV 2. 定义系统设置 dRarNW 要定义系统设置,请执行以下步骤。 [K^q:3R 步骤 操作 Nc^b8&
2J 1 点击默认波导标签 *8(t y%5F0 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 X]f#w 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 \p_8YC 4 键入以下值: ~=aI2(b 长度:800 )@};lmPR 宽度:50 $(!D/bvJ 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 pNk,jeo 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 e=NQY8? 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 q,19NZ 出现布局窗口(参见图3)。 <CdG[Ih o8yEUnqN 图3.布局窗口 0L
4]z'5 3. 创建弧形波导 #gr+%=S'6C 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 mYU dh L^ 步骤 操作 i(TDJ@} 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 A1&>L9nUx 光标变成十字线。 oBGst t@ 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 jTxChR :7AauoI 图4.绘制一个弧形波导 qhHRR/p 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 67hPQ/S1 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 % /wP2O< 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 f1,$<Y|qU 出现弧形波导属性对话框(参见图5) d}A2I Tef3
Z6 图5.弧形波导属性对话框 gx{~5&1 5) 点击起始标签 3C5D~9v 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): Yk*57&QI 水平:0 I;fw]/M%! 垂直:-10 =<27qj
kA9 X!)2w 图6.初始偏移值 7Q4PjcD 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 UEdl"FwM4 激活表达式框(参见图7)。 HZ`G)1&) @R Yb-d 图7.波导半径 y{},{~FA" 8) 键入以下值: I}CA-8 表达式:4000 P(gID 9) 单击终止选项卡。 R< |