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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： qA- ya6 定义单向弯曲器件的材料 {HqwpB \@ 定义系统设置 Q9K+k* ?{N 创建弧形波导 Z2chv,SqCJ 插入输入平面 )k&pp^q\ 选择输出数据文件 ^qpa[6D6x 运行仿真 h.) 2, 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 c%.f|/.k
+n(H"I 7cU 1. 定义单向弯曲器件的材料 $XS0:C0 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 ~qNpPIrGr 步骤 操作 -X@;"0v 1) 从文件菜单中，选择新建。 QN(f8t( 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 TJtW?c7 T0 _9:I`& 图1.初始属性对话框 1A23 G$D
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 (.,E6H|zI 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 GS{:7%=j 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 7YbI|~ u)P$x kf 图2.轮廓文件设计器 :C42yQAP
3) 创建以下介电材料： OU=9fw 名称：包层（Cladding） T[)) ful 折射率（Re :)：1.442 TJY$<:
e,E;\x
& 4) 要保存资料，请单击“存储”。 K/[v>(<
Y=G *[G# 5) 创建第二种介电材料： /2u;w !oi.
f/)3b`$Wu 名称：波导层（Guide） AW'tZF" 折射率（Re :)：1.45 Coq0Kzhsab
ZP)=2'RY 6) 要保存资料，请单击“存储”。 BN4dr9T
:0T]p"y4 7) 创建以下通道： n#3y2,Ml 轮廓名称：通道1 {CH\TmSz 2D轮廓定义材料：波导（Guide） X_
>B7(k 8) 要保存通道，请单击“存储”。 z>j%-3_1 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 5*buRYck0 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI cXJgdBwo
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7>1) 2. 定义系统设置 af{;4Cr 要定义系统设置，请执行以下步骤。 xSb/9 8; 步骤 操作 uMsKF %m 1 点击默认波导标签 v03~=( 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 %8o(x 0 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 NtTLvO6 4 键入以下值： q1dYiG.-Z 长度：800 ECkfFE` 宽度：50 ~73"A Wlp 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 wX 41R]pF 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 8zj09T[ 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 _; 01/V"q6 出现布局窗口（参见图3）。 k5-mK{RZ
8KWT d 图3.布局窗口 ]^
O<WD 3. 创建弧形波导 rvE!Q=y~ 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 N#.IpY'7Ze 步骤 操作 P >N\q 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 1rPeh{SZ 光标变成十字线。 <i`EP/x 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 y6*i/3 62(WZX%b 图4.绘制一个弧形波导 nBiSc*
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 ObM5v rEk| 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 [ JAd1%$3 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 '&<-,1^L 出现弧形波导属性对话框（参见图5） &I(|aZx?J N=I5MQG 图5.弧形波导属性对话框 qE,%$0g
5) 点击起始标签 30H:x@='9 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： &\p :VF. 水平：0 h y[_ 垂直：-10 T)C T[Gz 图6.初始偏移值 e9 B,
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 g<.8i W 'c 激活表达式框（参见图7）。 N ZlJ_[\$C bfpW ^y 图7.波导半径 T!a8c<'V
8) 键入以下值： !-MG"\# Wq 表达式：4000 B!tt e ) 9) 单击终止选项卡。 4|+
|L_ 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： _^'k _ a Horizontal：800 H>7!+&M 垂直：-8 t3s}U@(C zIAMM 图8终止偏移值 ~r>UjC_
B:
11) 输入以下值： 41uS r 1 宽度：4 @pS[_!EqYz 12) 点击“OK”。 (/KF;J^M 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 mMjVbeh[ }E1Eq 图9.修改的弧形波导 v'@LuF'e8 4. 插入输入平面 9Akwr} 要插入输入平面，请执行以下步骤。 =:0(&NCRq 步骤 操作 [c W 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 $OhL
95}7 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 *{Z!m@?
输入平面出现（参见图10）。 &GZR-/ 9E#(i P 图10.输入平面 3}gK`1Nq1
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 k m|wB4 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 `fV$'u
0,3 ' :Df
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未完待续 bG&qgbN> 来源：讯技光电 `dNb%f>
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