|
|
本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： NAFsFngqH 定义单向弯曲器件的材料 _|{aC1Y!V 定义系统设置 !~iGu\y 创建弧形波导 >_ \<E!j 插入输入平面 sz95i|@/ 选择输出数据文件 8;\sU?
运行仿真 ;</Lf=+Vm 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 M8;lLcgu.
bE\, }DTy 1. 定义单向弯曲器件的材料 #=,(JmQPt 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 u5E]t9~Pq 步骤 操作 S"2qJ!.u 1) 从文件菜单中，选择新建。 dZ(|uC!? 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 ^ @=^;nB z(HaRB3l 图1.初始属性对话框 ]<w:V` (
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 { 1lO 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 ~oD8Rnf 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 )@ g;j> ` $5UHa2/ 图2.轮廓文件设计器 9s$U%F6}
3) 创建以下介电材料： XSRdqU>Aun 名称：包层（Cladding） `S/wJ'c 折射率（Re :)：1.442 `)> 7)= {
3.R#&Zxt 4) 要保存资料，请单击“存储”。 gUax'^w;V;
)mcEQ -!b 5) 创建第二种介电材料： /Wj,1WX ~
6L4$vJ 名称：波导层（Guide） `iG,H [t+j 折射率（Re :)：1.45 %!j:fJ()
@ GDX7TPV 6) 要保存资料，请单击“存储”。 yX/";Oe
%b!-~
Y. 7) 创建以下通道： }=}>9DS M 轮廓名称：通道1 m~l
F`? 2D轮廓定义材料：波导（Guide） VHUW]8We 8) 要保存通道，请单击“存储”。 v:_B kHN' 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 f"5g>[ 1 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI
wsfd8T4
<9A@`_';Aq 2. 定义系统设置 wzWbB2Mb5 要定义系统设置，请执行以下步骤。 j6}R7 $JR 步骤 操作 \+PIe7f_ 1 点击默认波导标签 3 /6/G}s 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 mj,fp2D;% 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 WOytxE 4 键入以下值： Ss ?CfRM 长度：800 }-<zWI {p 宽度：50 {{yt*7k { 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 e(B9liXM 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 )h$NS2B` 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 j5
wRGn 3 出现布局窗口（参见图3）。 # =e;?w /\d$/~BFi 图3.布局窗口 }E^S]hdvz 3. 创建弧形波导 alFjc.~} 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 ;&;W
T 步骤 操作 wdE ?SD s 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 \>/M .2 光标变成十字线。 i, n D5 @# 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 ~4,I7c7 v6a]1B 图4.绘制一个弧形波导 j8 ,n7!G
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 f6=w3RS 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 _O:WG&a6 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 J]/}ojW3 出现弧形波导属性对话框（参见图5） V~{
_3YY @Cq? :o< 图5.弧形波导属性对话框 pb;")Q'
5) 点击起始标签 %i{;r35M;9 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： {==pZpyyh 水平：0 < a rZbM 垂直：-10 QGnxQ{ko Bo_ym36N 图6.初始偏移值 @!tVr3;N$
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 g<*jlM1r 激活表达式框（参见图7）。 zri}
h/{ J QKdW 图7.波导半径 @)YY\l#
8) 键入以下值： ^+70<#Xc 表达式：4000 ")#<y@Rv 9) 单击终止选项卡。 AD5)
.}[F 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： p
QE)p
Horizontal：800 E;\M1(\u 垂直：-8 7()?C}Ni- j#A%q"]8 图8终止偏移值 +RZ~LA \+
11) 输入以下值： @ Cs V]97` 宽度：4 &M &{yc*% 12) 点击“OK”。 !4#"!Md4o 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 `\ $8`Zb; MEZ{j%-a 图9.修改的弧形波导 KlxN~/gyik 4. 插入输入平面 7G2PMe;$m 要插入输入平面，请执行以下步骤。 h#YD~!aJ 步骤 操作 P8yIegPY 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 P~C rtTss 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 9>*c_ 输入平面出现（参见图10）。 N0TeqOi4Y [2Mbk~ 图10.输入平面 4n( E;!s
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 70 W"G
X& 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 ]Tp U"JD
dJ3IUe
...... ~ 9o6 W",
U5 ZX78>a
未完待续
a=}*mF[ug 来源：讯技光电 [IX+M# mf
|
