|
|
本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： )S 2GPn7 定义单向弯曲器件的材料 >p|tIST 定义系统设置 p a)2TL/@ 创建弧形波导 /3ty*LQT 插入输入平面 HbXYinG% 选择输出数据文件 n~|sMpd,M1 运行仿真
YD| ;xuh 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 uF89B-t
L?slIGp%- 1. 定义单向弯曲器件的材料 N);2 2- 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 xpjv @P 步骤 操作 1so9w89 1) 从文件菜单中，选择新建。 F.[E;gOTo 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 uiQR RT y2:~_MD 图1.初始属性对话框 >^5U XQr
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 EmO{lCENk 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 >azTAX6L3 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 i{+W62k* u|}p3-z|Y 图2.轮廓文件设计器 B(TE?[ #
3) 创建以下介电材料： jj$D6f/mOG 名称：包层（Cladding） RAps`)OR? 折射率（Re :)：1.442 ;('(Yn7~
(_aM26s 4) 要保存资料，请单击“存储”。 ?1kXV n$
+J<igb!S 5) 创建第二种介电材料： P U JkC
F&= X/ 名称：波导层（Guide） #'&&&_Hu3 折射率（Re :)：1.45 rE[:j2HF
VQ,;~^Td 6) 要保存资料，请单击“存储”。 ]
e O25,6
rM y(NAo_ 7) 创建以下通道： pni*#W*n 轮廓名称：通道1 mufJ @Y S# 2D轮廓定义材料：波导（Guide） /3`(Ki{
Q 8) 要保存通道，请单击“存储”。 H;.${u^lhd 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 w#Di 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI J e1'0h9d
#o / 2. 定义系统设置 %{*A@jQsg 要定义系统设置，请执行以下步骤。 aI'MVKwMk 步骤 操作 4u.Fy<+@4M 1 点击默认波导标签 o $%I{}9x 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 ,K>q{H ^ 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 oZCjci- 4 键入以下值： M8p6f)l3 长度：800 6myF!
H= 宽度：50 9H6%\#rw 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 ;?K>dWf3f 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 d e<T5/ 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 #i1z&b#@ 出现布局窗口（参见图3）。 zZ*\v X]T&kdQ6q 图3.布局窗口 fp`k1Uq@ 3. 创建弧形波导 [42EqVR 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 8v V<A*` 步骤 操作 ]aN]H a 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 xb22 : 光标变成十字线。 abgA Ug) 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 t 8,VR FV 1> IA9]D7 图4.绘制一个弧形波导 |q+dTy_n
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 |K,[[D<R 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 T5g L 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 Rx fhk,I 出现弧形波导属性对话框（参见图5） j+6`nN7L 8[\ ~}Q6 图5.弧形波导属性对话框 kx.8VUoM
V
5) 点击起始标签 ]r\d 5 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： fUV;3du 水平：0 *MM8\p_PuT 垂直：-10 WLkfo6Nw PC55A1(T 图6.初始偏移值 Y-fDYMm
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 +F@ ZVMp 激活表达式框（参见图7）。 @5:# J ! L2}p<?f 图7.波导半径 f~ -qjEWm
8) 键入以下值： Q@aDa 8Z 表达式：4000 .jK,6't^ 9) 单击终止选项卡。 1k dQh&~G 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： S #6: ! Horizontal：800 L[a A4` 垂直：-8 U0fr\ kM 4E
32DG* 图8终止偏移值 O Zn40"`
11) 输入以下值： 25wvB@0& 宽度：4 7:$zSj# y 12) 点击“OK”。 W %_Cda5, 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 Q35jJQ$<` G+V?c1Me 图9.修改的弧形波导 ;9"6g=q 4. 插入输入平面 G Eb m$\ 要插入输入平面，请执行以下步骤。 j3&tXZ;F 步骤 操作 }F=lG -x 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 =Eb4Iyz 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 4khc*fh 输入平面出现（参见图10）。 g7@.Fa.u'! |:)ARH6l# 图10.输入平面 -![>aqWmj1
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 6 ~.{~+Bd 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 \l71Q/y6u`
?f&O4H
...... 8L _]_
qfS
]vc_N
未完待续 ]!'9Y}9a 来源：讯技光电 )7;E,m<:tO
|
