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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： uq5?t 定义单向弯曲器件的材料 #X Q/y} ( 定义系统设置 d4o
^+\ 创建弧形波导 M}]
*j 插入输入平面 9f~qD&~ 选择输出数据文件 W NR]GI 运行仿真 $6Ma{r C| 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 G'|ql5Zw
uFr12ZFgK 1. 定义单向弯曲器件的材料 { -A|f 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 {4_s:+ v0 步骤 操作 ^ ` LqNG 1) 从文件菜单中，选择新建。 &'6/H/J 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 3.W[]zH/u !}Xoqamm 图1.初始属性对话框 Es>' N3A
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2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 pRQ7rT',v 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 KL \>-
注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 4DL;Y BU -;P 图2.轮廓文件设计器 \,S |>CPQ
3) 创建以下介电材料： ~n=DI/AJ@- 名称：包层（Cladding） a1pp=3Pd?~ 折射率（Re :)：1.442 3IYF vq~
y._'o7 % 4) 要保存资料，请单击“存储”。 .x I Aep_
^ZMb Je%L 5) 创建第二种介电材料： !Z_+H<fi+I
(xgw';g 名称：波导层（Guide） $R DlM 折射率（Re :)：1.45 suE K;Bk9
>zJHvb)b\ 6) 要保存资料，请单击“存储”。 )N 3^r>(e<
oAO{4xP 7) 创建以下通道： y[N0P0r l: 轮廓名称：通道1 2^[dy>[y0 2D轮廓定义材料：波导（Guide） @)>Z +g 8) 要保存通道，请单击“存储”。 N.*)- O
9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 sVx}(J 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI =p+n(C/
AM+5_' S, 2. 定义系统设置 dWz?`B{' 要定义系统设置，请执行以下步骤。 O9daeIF0# 步骤 操作 O2fq9%lk 1 点击默认波导标签 { Zgd 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 q|*^{(tWs 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 !.P||$x`& 4 键入以下值： 9a*#r;R 长度：800 tV !?O l 宽度：50 _ [k
\S|iY 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 `D ;*.zrA 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 "t^v;?4 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 t7b y OMC 出现布局窗口（参见图3）。 WEwa<%Ss "Not /8J 图3.布局窗口 +q&Hj|;8r 3. 创建弧形波导 )Qb,zS6 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 i "&FW&W 步骤 操作 | Gic79b 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 )$] lf } 光标变成十字线。 Ki><~! L 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 |aDBp y,5 qY}P+ 图4.绘制一个弧形波导 `,]Bs*~
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 m* m),mZ" 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 '3S~Q N 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 ^fsMfB 出现弧形波导属性对话框（参见图5） d?7?tL2 MZGhN
brd 图5.弧形波导属性对话框 JmCMF q B9
5) 点击起始标签 %j tUbBN 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： w(@r-2D" 水平：0 Y(Oh7VwY*P 垂直：-10 x3ZF6)@ .D W>c}1 图6.初始偏移值 LO=U?`)q
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 m?kiGC&m 激活表达式框（参见图7）。 4]r_K2.cc %jHm9{|X 图7.波导半径 dJR[9T_OF
8) 键入以下值： ?I=1T. 表达式：4000 ) lUS' I 9) 单击终止选项卡。 _V$'nz#>e 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： T >8P1p@A, Horizontal：800 f30 J8n"k 垂直：-8 brA#p>4]Wf *?<N3Rr* 图8终止偏移值 iaL@- dg
11) 输入以下值： cUq]PC$| 宽度：4 =\6)B{#T 12) 点击“OK”。 `O6#-<> 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 h
/ |O(>{GH 图9.修改的弧形波导 G|,&V0* 4. 插入输入平面 |2do8z 要插入输入平面，请执行以下步骤。 2W+~{3[# 步骤 操作 YF{MXK} 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 8$NVVw]2, 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 OD )X7P U 输入平面出现（参见图10）。 ;g0s1nz S# ]] h/ 图10.输入平面 ^$ Y9.IH"
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 xJ3C^b%H 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 SXw r$)4_
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=d\ 来源：讯技光电 O? OAXPK2
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