|
|
本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： pno]B ld'z 定义单向弯曲器件的材料 >O?5mfMK 定义系统设置 QOMh"wC3 创建弧形波导 [;%qxAB/_ 插入输入平面 d
H]'&&M 选择输出数据文件 5 ^+> *z 运行仿真 Mz_*`lR N 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 ZBi|B D
hT]\*}, 1. 定义单向弯曲器件的材料 %&0_0BU 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 UoCFj2?C 步骤 操作 +Ccj @#M; 1) 从文件菜单中，选择新建。 Cwl#(; @ 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 6x7pqH M f
0D9Mp 图1.初始属性对话框 l*rli[No
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 \hoYQK j 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 1 : <f[l 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 Ou>L|#=! # **vIwX-Q 图2.轮廓文件设计器 8K=sx @l
3) 创建以下介电材料： 9q(*'rAm 名称：包层（Cladding） <Kl G#7M> 折射率（Re :)：1.442 |]y]K%
6 SJ 4) 要保存资料，请单击“存储”。 )OpB\k
$9)| cO 5) 创建第二种介电材料： W{B)c?G]
&==X.2XW 名称：波导层（Guide） :+: vBrJm 折射率（Re :)：1.45 d2Pqi* K
, 'N8Ivt 6) 要保存资料，请单击“存储”。 b ;A(6^ V
. Lbu [ 7) 创建以下通道： _Z'[-rcXWh 轮廓名称：通道1 ZUPl MHc 2D轮廓定义材料：波导（Guide） uY{V^c#mv 8) 要保存通道，请单击“存储”。 lC) :$W 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 /i.3v45t" 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI 8&+m5x S
x=s=~cu4, 2. 定义系统设置 OFH!z{* 要定义系统设置，请执行以下步骤。 pu3ly&T#a_ 步骤 操作 tn>z%6;&Z 1 点击默认波导标签 <_(UAv 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 {kVhht]X 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 9 =D09@A%e 4 键入以下值： \qk+cK;+ 长度：800 x=] PE}<E 宽度：50 /a @gE^TM 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 ) b Rj'* 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 D_VA tz 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 A"ApWJ 3 出现布局窗口（参见图3）。 w alQo^< 1HPYW7jk@" 图3.布局窗口 ] / w: 5o# 3. 创建弧形波导 P4 H%pm{- 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 kIR?r0_<G6 步骤 操作 1VRe xp 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 c0 }* $e 光标变成十字线。 KPW2e2{4@ 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 <B"M} Y>_P 9 8"/]ERJ 图4.绘制一个弧形波导 gN./ u
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 %z9eVkPI~ 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 U5_1-wV 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 rsSE*(T
t 出现弧形波导属性对话框（参见图5） -`knSR PH$f DbC8 图5.弧形波导属性对话框 4Og&w]
5) 点击起始标签 #RIo6 3 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： h0;PtQb1 水平：0 35>VCjCw0 垂直：-10 >M1m(u84# ^
hoz<Ns 图6.初始偏移值
LY> -kz]
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 7NG^I6WP- 激活表达式框（参见图7）。 !w+A3Z>V z^xrB$8
u 图7.波导半径 4^|;a0Qy]
8) 键入以下值： YS 7R8 | 表达式：4000 gt~hUw L 9) 单击终止选项卡。 CY{`IZ 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： qQz f&" Horizontal：800 <0?h$hf4c 垂直：-8 ~i3/Ec0\ MGoYL \ 图8终止偏移值 kaK0'l2%
11) 输入以下值： $]H^? 宽度：4 l,(Mm,3 12) 点击“OK”。 #:C?: RMS 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 k Z^} ">?ocJ\9 图9.修改的弧形波导 e7fA-,DV 4. 插入输入平面 C9?R *2L> 要插入输入平面，请执行以下步骤。 g( 9\r 步骤 操作 j 9sK P]w 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 c_oI?D9 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 u2p5* gzZ 输入平面出现（参见图10）。 L bo8> L( +}MV$X 图10.输入平面 .Fdqn?c|+
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 z?a<&`W 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 ,<, ige
[#}A]1N
...... y1zNF$<q
/~k)#44
未完待续 }YPW@g 来源：讯技光电 v7;zce/~
|
