|
|
本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： H L jvKE=W 定义单向弯曲器件的材料 N'I(P9@ 定义系统设置 X*pZNz&E 创建弧形波导 tT;8r8@ 插入输入平面 tNK^z7D m 选择输出数据文件 Q_ctX|. 运行仿真 Y!SE;N& 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 I q{o-nq
>n]oB~P% 1. 定义单向弯曲器件的材料 b -PSm=` 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 1p8:.1)q 步骤 操作 ]>5T}h 1) 从文件菜单中，选择新建。 zhNQuK, L 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 }FrEF\}]_7 3 m6$YWO 图1.初始属性对话框 "tqnx?pM
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 YWEYHr;%^? 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 H#OYw#L"u 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 *oCxof9JA a$d:_,\ " 图2.轮廓文件设计器 d$w(-tV42
3) 创建以下介电材料： ;; :">@5 名称：包层（Cladding） !X-9Ms}(d 折射率（Re :)：1.442 $; ?c?n+
KyT uF 4) 要保存资料，请单击“存储”。 ^w.]Hd 2
W!t{rI7 2 5) 创建第二种介电材料： 6
jmrD
z<!O!wX_aI 名称：波导层（Guide） wh%xkXa[ur 折射率（Re :)：1.45 rWA6X DM7
h\(B#SN 6) 要保存资料，请单击“存储”。 C,fY.Ce I
J,??x0GDx, 7) 创建以下通道： I!P4(3skAB 轮廓名称：通道1 E>E*ZZuhj 2D轮廓定义材料：波导（Guide） }MP>]8Aq 8) 要保存通道，请单击“存储”。 Xx_tpC? 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 ?ty>}.c t 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI P$ _&
k@yh+ v5 2. 定义系统设置 LT/mb2 要定义系统设置，请执行以下步骤。 )>V?+L5M 步骤 操作 {Ur7# h5 1 点击默认波导标签 6hO-H&r++ 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 xYPxg! 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 :5J_5,?;` 4 键入以下值： eIH$"f;L 长度：800 vwmBUix 宽度：50 $E\^v^LW 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 t8P PE 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 PQ$sOK|/ 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 L_ ~8"I_ 出现布局窗口（参见图3）。 YlTaN, ?j <YH=3[ 图3.布局窗口 -jB3L: 3. 创建弧形波导 ^ *0'\/N& 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 yrnv!moc%t 步骤 操作 \9`#]#1bx5 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 BgM%+b8u 光标变成十字线。 +>SRrIi 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 H]&gW/= zyFUl% 图4.绘制一个弧形波导 /,2rjJ #b
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 lj4o #^lC 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 1'JD = 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 5pfYEofK[ 出现弧形波导属性对话框（参见图5） :Wc_Utt u#@RM^738d 图5.弧形波导属性对话框 p $Hi[upy
5) 点击起始标签 ,$N#Us(Wa 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： T7[NcZ:I 水平：0 }gv8au< 垂直：-10 #$E)b:xj 2: SO_O4C 图6.初始偏移值 ~e-z,:Af
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 aJz LrX 激活表达式框（参见图7）。 PyBD g<wRN#B 图7.波导半径 pr&=n;_ n
8) 键入以下值： IeP
WOpj3 表达式：4000 *2e!M^K< 9) 单击终止选项卡。 ~TqT }:,H 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： e#S0Fk)z Horizontal：800 l 63hLz 垂直：-8 jQ+sn/ROp %\Wf^6Y^ 图8终止偏移值 Zsx3/}
11) 输入以下值： ?!'Zf Q:zK 宽度：4 }D;WN@], 12) 点击“OK”。 O9"/
kmB 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 [{
~TcT hgj <>H| 图9.修改的弧形波导 Bd~ 1P/ 4. 插入输入平面 .i Hn5S GA 要插入输入平面，请执行以下步骤。 Vzl^Ka' 步骤 操作 u0Nm.--;_3 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 Ig6T g ? 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 @~ETj26U' 输入平面出现（参见图10）。 C AD@ XZSh B9,^mE# 图10.输入平面 T'H::^9:E
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 SUM4Di7 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 )"+2Z^1-
,9D+brm
...... =] C]=
,Lr<)p
未完待续 &#yR ;{ 来源：讯技光电 }"^'% C8EX
|
