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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： @khFk.LBD 定义单向弯曲器件的材料 x="Wqcnj{ 定义系统设置 ,B[j{sE 创建弧形波导 -B;# pTG 插入输入平面 jc&k-d>=G 选择输出数据文件 Y~AjcqS 运行仿真 bZ\R0[0 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 mux/\TII
#RBrii-, 1. 定义单向弯曲器件的材料 3PE.7-HF 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 e0TYHr)X>3 步骤 操作 C(ij_> 1) 从文件菜单中，选择新建。 @|\9<S 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 ,X.[37 p?i.<Z 图1.初始属性对话框 m\56B P-AM
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 ( zWBrCX 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 w*-42r3,' 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 0~bU W V &BRk< iwV 图2.轮廓文件设计器 +/ZIs|B4,z
3) 创建以下介电材料： XOvJlaY)'. 名称：包层（Cladding） qYC&0`:H 折射率（Re :)：1.442 7%y$^B7{
J].Oxch&y 4) 要保存资料，请单击“存储”。 Ix- Mp
gQ_<;'m)2 5) 创建第二种介电材料： DZSS
!Y ,7 % 名称：波导层（Guide） wXIR n?z 折射率（Re :)：1.45 'JOU x_@z
{ ADd[V 6) 要保存资料，请单击“存储”。 {DRk{>K,
gJQ#j~' 7) 创建以下通道： 6KMO*v 轮廓名称：通道1 o-\h;aQJ 2D轮廓定义材料：波导（Guide） WC#6(H5t$ 8) 要保存通道，请单击“存储”。 #EH=tJgO|J 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 \ %Mcvb.? 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI o{PG&
}K
Anz{u$0M[ 2. 定义系统设置 [d`E9&Hv3 要定义系统设置，请执行以下步骤。 -c_l
n K 步骤 操作 csy6_q( 1 点击默认波导标签 ("8 Hku? 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 K!6T8^J H 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 h.edb6 4 键入以下值： M~A# _%2U 长度：800 q`9.@u@ a 宽度：50 _4by3?<c 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 B!wN%> U 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 tu\XuDk y 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 B4y _ {V 出现布局窗口（参见图3）。 sY;h~a0n
0t7N yKU 图3.布局窗口 uj 8saNu 3. 创建弧形波导 o(hUC$vW 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 $gl|^c\ 步骤 操作 eC-& .Fl 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 Nf| 0O\+%y 光标变成十字线。 0z>IYw|UB 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 T8 S&9BM7 }>{R<[I!G 图4.绘制一个弧形波导 %p 6 Ms
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 i]ZGq7YJ% 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 w|f+OlPXq 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 % !@E)%d0 出现弧形波导属性对话框（参见图5） <f>77vh0 "yu{b]AU 图5.弧形波导属性对话框 ^T&{ORWz
5) 点击起始标签 \l/(L5gY 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： A?MM9Y}K 水平：0 .\ oz 垂直：-10 hi(b\ ABx q /JC\ 图6.初始偏移值 Oe Q[-e
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 ntIR #fB
激活表达式框（参见图7）。 S)EF&S(TC jkk% zu 图7.波导半径 uH89oA/H
8) 键入以下值： *$9U/ d 表达式：4000 g:!U,<C^a 9) 单击终止选项卡。 [A~?V.G 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： kX L0 Horizontal：800 -
|p e D
L 垂直：-8 =X'[r /` M# 图8终止偏移值 _g Mr ]%Q
11) 输入以下值： G8}owszT 宽度：4 Z66Xj-o 12) 点击“OK”。 wqG#jC!5 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 T={!/y+ vd%AV(]<LJ 图9.修改的弧形波导 ozY$}|sjDT 4. 插入输入平面 "M:u i0YP 要插入输入平面，请执行以下步骤。 Tf#Op
v) 步骤 操作 NnAIL;WS 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 OG{*:1EP 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 d./R;Z- I{ 输入平面出现（参见图10）。 GbLHzw N_92,xI# 图10.输入平面 |OLXb+ 7X
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 huZ5?'/Fg 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 u. A}&'H
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...... ;8<HB1 &,
?n# $y@U
未完待续 f%PLR9Nh5@ 来源：讯技光电 =R:O`qdC4e
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