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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： A'`F Rx( 定义单向弯曲器件的材料 :y7K3:d3 定义系统设置 *;}xg{@ 创建弧形波导
Z:^#9D{ 插入输入平面 I H=$
w c 选择输出数据文件 " |I.j) 运行仿真 V5$ Gb6?K 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 E0RqY3
KE"6 I 1. 定义单向弯曲器件的材料 S|| W 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 vrb@::sy0T 步骤 操作 `w#VYs|k 1) 从文件菜单中，选择新建。 KwHN c\\ 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 c!
kr
BS eb`3'&zV&) 图1.初始属性对话框 octQ[QXo#
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 R K- bsf 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 Ox#vW6;) 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 'V^M+ng TaSS) n 图2.轮廓文件设计器 ?7wcv$K5
3) 创建以下介电材料： = YVxQj 名称：包层（Cladding） D"aK;_W@ h 折射率（Re :)：1.442 <QvVPE}z
$"NH{%95} 4) 要保存资料，请单击“存储”。
)nf%S+KV
] / Nt 5) 创建第二种介电材料： >)C7IQ /
'.z7 )n 名称：波导层（Guide） %XN;S29d5W 折射率（Re :)：1.45 zAM9%W2v_
L&s~j/ pR 6) 要保存资料，请单击“存储”。 5ZkR3/h e
V
H`_ 7) 创建以下通道： 7"2BZ 轮廓名称：通道1 2?%4|@*H? 2D轮廓定义材料：波导（Guide） %T>@Ldt 8) 要保存通道，请单击“存储”。 Uf+y$n - 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 8hS^8 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI j[i*;0) |
e0 y.J 2. 定义系统设置 |MKR&%Na 要定义系统设置，请执行以下步骤。 #2i$:c~ 步骤 操作 p@~Y [a = 1 点击默认波导标签 g7?[}?]3"p 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 N KgEs 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 1 Q
FsT 4 键入以下值： (*r2bm2FPO 长度：800 USEmD5 q 宽度：50 Z*w({k7] 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 ]v B^% 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 Dti-*LB1 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 0
N7I:vJ 出现布局窗口（参见图3）。 G"&$7!6[Y
Txo{6nd/ 图3.布局窗口 p_BG#d RM 3. 创建弧形波导 "2 %R? 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 p*jU)@a0 步骤 操作 {@L{l1|0 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 !bLCha\ 光标变成十字线。 uY)4y0 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 cHr]{@7Cs "JmbYb#Z 图4.绘制一个弧形波导 HLz <C
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 H#GR*4x 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 h(nE)j 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 p&Nav,9x 出现弧形波导属性对话框（参见图5） f 5bX,e)! A4l"^dZc 图5.弧形波导属性对话框 ,9 ^ 5
5) 点击起始标签 l+6@,TY1U 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）：
i / o 水平：0 @>U 9CL" 垂直：-10 o/,%rA4 GB `n 图6.初始偏移值 BeRs;^r+
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 8bMw.u=F 激活表达式框（参见图7）。 {=I,+[( "K>!+< 图7.波导半径 l]DRJ
8) 键入以下值： o|n;{zT" 表达式：4000 Us "G X_ 9) 单击终止选项卡。 @ .cord` 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： 1G`5FU Horizontal：800 Vt zSM%= 垂直：-8 S|u5RU8*"| :FSg%IUX 图8终止偏移值 n @@tO#!\
11) 输入以下值： 0|va}m`<3G 宽度：4 }T902RL0 12) 点击“OK”。 8z=o. \@ 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 gHUW1E P
>0S ZP 图9.修改的弧形波导 $(J)F-DB i 4. 插入输入平面 i)@vHh82 要插入输入平面，请执行以下步骤。 jc6~V$3 步骤 操作 | 'i ?o 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 ocW`sE?EED 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 (ce)A,; 输入平面出现（参见图10）。 lKI] q<2 7 je1vNs 图10.输入平面 Y A8/TFu<_
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 Ca"i<[8 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 O{]}{Ss
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未完待续 :1iXBG\ 来源：讯技光电 QKz2ONV=)
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