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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: BDT"wy8 定义单向弯曲器件的材料 Y
lhKP; 定义系统设置 ;! ,I1{` 创建弧形波导 &EJ/Rl 插入输入平面 &?Z<"+B8S 选择输出数据文件 Dn:1Mtj- 运行仿真 Mw|lEctN0 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 .$a|&P=S d"OYq 1. 定义单向弯曲器件的材料 $J =`fx 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 lu;gmWz 步骤 操作 Zx^R -9 1) 从文件菜单中,选择新建。 wQ?Z y;/S 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 rm4t aj]pN,g@N 图1.初始属性对话框 ";TqYk=- 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 `$XgfMBf | 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 &"DD&87N% 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 %lGT|XrY eN0lJ ~ 图2.轮廓文件设计器 W/.Wp|C}K3 3) 创建以下介电材料: {EJ+
名称:包层(Cladding) `l 折射率(Re :):1.442 z`sW5K(A :PNhX2F 4) 要保存资料,请单击“存储”。 ~!6
I.u c=aVYQ"2 5) 创建第二种介电材料: l $0w 9Z^ 1w#vy1m J 名称:波导层(Guide) ]F #0to 折射率(Re :):1.45 mh35S!I3I^ (zw.?ADPCT 6) 要保存资料,请单击“存储”。 cFHSMRB|P S2?)Sb` 7) 创建以下通道: jF-0 fK;)* 轮廓名称:通道1 5uU{!JuSa 2D轮廓定义材料:波导(Guide) S"/gZfxer 8) 要保存通道,请单击“存储”。 ~R7{gCqdr 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 4"eeEs h 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI AjINO}b j6Au<P 2. 定义系统设置 J7k=5Fqej; 要定义系统设置,请执行以下步骤。 n"<'F4r 步骤 操作 y2Vc[o(NP 1 点击默认波导标签 iBCIJ!; 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 e)oi3d.wJf 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 Jo9c|\4 4 键入以下值: d{DBG}/Yg 长度:800 \{1Vjo 宽度:50 s"l ^v5 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 Ps~)l#gue 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 RMa#z [{0 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 uN6xOq/ 出现布局窗口(参见图3)。 \p\rPfY{> dfs1BV' 图3.布局窗口 Zk0? =f?j 3. 创建弧形波导 <"`P;,S 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 _? u} Jy_ 步骤 操作 %j ?7O00@ 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 uQkQ#'e| 光标变成十字线。 @4jPaqa( 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 XNkQ0o0 nG"Ae8r 图4.绘制一个弧形波导 E9j(%kQ2 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 Ls NJ3oy 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 6/Z 8/PL 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 Do;rY\sY 出现弧形波导属性对话框(参见图5) h3;RVtS Zh_P 图5.弧形波导属性对话框 M:w]g` LKl 5) 点击起始标签 CvqUaHW@ 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): \>4x7mF! 水平:0 zxvowM 垂直:-10 vo2 T P: #^q@ra 图6.初始偏移值 r5&?-G 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 !Ly1!;< 激活表达式框(参见图7)。 VB{G%!} 5v#_2Ih 图7.波导半径 DJHE6XJ
8) 键入以下值: !_h<w ?) 表达式:4000 Q3x.qz 9) 单击终止选项卡。 fhe%5#3 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): k!m9
l1x Horizontal:800 H/O v8| 垂直:-8 |C;*GeyS;J P4~C0z 图8终止偏移值 i- r y5x 11) 输入以下值: Y--Uo|H 宽度:4 L@6T~ 12) 点击“OK”。 T8a!"lPP7 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 gnU##Km| 1FmVx 图9.修改的弧形波导 MIwkFI8 4. 插入输入平面 M \3Zj(E/ 要插入输入平面,请执行以下步骤。 pc<A
,? 步骤 操作 @0q*50 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 pJ]i)$M 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 ;923^*\:F{ 输入平面出现(参见图10)。 =%oKYQ 9$P*fx&m 图10.输入平面
|HB 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 8VZLwhj 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 \~'+TW W=T,hOyh<W ...... qW:\6aEG qct:xviH<| 未完待续 k/V:QdD Sb 来源:讯技光电 J2~oIe2!+
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