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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: :Q8*MJ3&V 定义单向弯曲器件的材料 ^G4@cR.An 定义系统设置 ojc.ykP$ 创建弧形波导 3:T~$M`] 插入输入平面 iP6?[pl8 选择输出数据文件 IZs&7 运行仿真 P=l 7m*m 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 2"_5Yyb nf1O8FwRb 1. 定义单向弯曲器件的材料 X.ecA`0 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 |5jrl| 步骤 操作 AkCy
C1 1) 从文件菜单中,选择新建。 -F_cBu81V 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 }{)Rnb@
> xxA^A 图1.初始属性对话框 3^5h:OaT 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 \>x1#Vr>#V 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 RAWzQE} 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 ~O|~M_Z @0(%ayi2Y 图2.轮廓文件设计器 *7b?.{ 3) 创建以下介电材料: mZO-^ct4 名称:包层(Cladding) Mfnfp{.) 折射率(Re :):1.442 5p6/dlN-a _0UE*l$t 4) 要保存资料,请单击“存储”。 5)A[NTNJx ,&y_^-|d 5) 创建第二种介电材料: m^
Epw4eg "Mz#1Laby` 名称:波导层(Guide) hu.p;A3p; 折射率(Re :):1.45 ,4Q8r:_ u `vz7}TY 6) 要保存资料,请单击“存储”。 [5ncBY*A7 xojt s;n
7) 创建以下通道: ix$
^1( 轮廓名称:通道1 <@[;IX`YN 2D轮廓定义材料:波导(Guide) W =;,ls 8) 要保存通道,请单击“存储”。 oY0*2~sg 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 eK5~YM:o 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI *6eJmbFG }ice*3'3 2. 定义系统设置 :W6'G@ p 要定义系统设置,请执行以下步骤。 l(Dr@LB~ 步骤 操作 (E7"GJ 1 点击默认波导标签 w}#3 pU<< 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 y4l-o 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 Pm%5c\ef 4 键入以下值: qM+Ai*q 长度:800 v(GnG 宽度:50 $-u c#57 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 [oXSjLQm[ 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 w,up`W7, 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 (>E/C^Tc% 出现布局窗口(参见图3)。 ^$}O?y7O \o=9WKc 图3.布局窗口 Vr Lp5?Bh 3. 创建弧形波导 QAt]sat 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 [VqiF~o, 步骤 操作 > ;#Y0 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 ?@Q0;LG 光标变成十字线。 8#g}ev@|u 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 ITg:OOQ h Ypj 图4.绘制一个弧形波导 tQRbNY#}Z 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 )+|wrK:*v 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 +nHr+7} 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 CM$&XJzva 出现弧形波导属性对话框(参见图5) |d-x2M[ w=<E) 图5.弧形波导属性对话框 *aC[Tv[-P 5) 点击起始标签 ^*4#ZvpG2 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): I\1"E y 水平:0 DU8\1( 垂直:-10 ]kx<aQ^ <bo^u w 图6.初始偏移值 i7PS=]TK\ 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 4H;7GNu 激活表达式框(参见图7)。 U,7 H\n6t-l 图7.波导半径 2O@ON/ 8) 键入以下值: ("ix!\1K@ 表达式:4000 H! 5Ka#B 9) 单击终止选项卡。 R.2i%cU 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): DBHHJD/q Horizontal:800 ky]^N) 垂直:-8 74:( -vS m1jEky( 图8终止偏移值 u{&=$[; 11) 输入以下值: lhJY]tQt/ 宽度:4 xzOvc<u 12) 点击“OK”。 Sz<:WY/(x 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 %'h:G
Bkd :h(3Ep 图9.修改的弧形波导 ?Fa$lE4 4. 插入输入平面 s.rQiD 要插入输入平面,请执行以下步骤。 D</?|;J#/ 步骤 操作 R!7--]Wcg 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 x9\{a 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 3BGcDyYE 输入平面出现(参见图10)。 7VZ ^J`3 9z{}DBA 图10.输入平面 ^Ss<< 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 .#Z'CZO| 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 T"3LO[j+ 5wh(Qdib ...... @
N'P?i ## vP(M$ 未完待续 `L <sZ;Cj 来源:讯技光电 *y|w9rp
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