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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： ga?:k,xv 定义单向弯曲器件的材料 |Gp!#D0b 定义系统设置 Fl0(n #L 创建弧形波导 #jrtsv] 插入输入平面 SEf RU` 选择输出数据文件 G5WQTMzf& 运行仿真 ~[8n+p+&X 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 r ^=rs!f@
Sg%h}]~ 1. 定义单向弯曲器件的材料 ;R5@]Hg6q 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 B":9C'tip 步骤 操作 jY;T:C-T 1) 从文件菜单中，选择新建。 Eep~3U 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 Bo rr ( p (/ 图1.初始属性对话框 cI Sugk~
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 vYFtw L` 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 9sP;s^#t7U 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 yv[3 &E? 7M Wd( n- 图2.轮廓文件设计器 zA %YaekJ
3) 创建以下介电材料： C n"_x 名称：包层（Cladding） 1.9bU/X 折射率（Re :)：1.442 ` ~w|X z
GB%kxtGD;\ 4) 要保存资料，请单击“存储”。 8H'ybfed
w"`Zf7a{/ 5) 创建第二种介电材料： mXY G ^}
@V?T'@W7D 名称：波导层（Guide） L@5sY0 M 折射率（Re :)：1.45 @4t_cxmD
,? >{M 6) 要保存资料，请单击“存储”。 sYEh>%mo^C
i)iK0g"2 7) 创建以下通道： |,bP` Z 轮廓名称：通道1 -9]
ucmN 2D轮廓定义材料：波导（Guide） ~dO+kD 8) 要保存通道，请单击“存储”。 @m5c<(bkfp 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 '[Sm w'n6- 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI LR "= (
lw]uH<v 2. 定义系统设置 57f l<I M 要定义系统设置，请执行以下步骤。 PglSQ2P 步骤 操作 # a`D6; 1 点击默认波导标签 eJ*u]GH U 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 C66 9:% 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 lfAiW;giJ 4 键入以下值： k vpkWD; 长度：800 2 16`rQ}z 宽度：50 4#Xz-5v 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 r|63T%q! 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 4s e6+oJe 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 jY2mn" .N 出现布局窗口（参见图3）。 `h|Y0x cR{F|0X 图3.布局窗口 "Xg~1)% 3. 创建弧形波导 CnpQdI 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 {wDq*va 步骤 操作 *@ { 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 /F$E)qN7n 光标变成十字线。 F pT$D 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 86pA+c+U ?n]adS{ 图4.绘制一个弧形波导 d5>EvK U
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 J (G-c5&= 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 n $lVmQ6 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 #bJp)&LO 出现弧形波导属性对话框（参见图5） zs(P2$ 74
W Ky 图5.弧形波导属性对话框 eslvg#Q
5) 点击起始标签 AdpJ4}|0 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： !4a#);`G 水平：0 C2aA])7 D 垂直：-10 EKD#s,(V*X i&1rf | 图6.初始偏移值 : ?}mu1
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 0 h~{ K 激活表达式框（参见图7）。 '6kD6o_p 1 +I\54PBws 图7.波导半径 {!j)j6(NY
8) 键入以下值： Kx?.g#>U; 表达式：4000 y^e3Gyk 9) 单击终止选项卡。 it-]-=mqb 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： V.9p4k` Horizontal：800 K_AdMXF9 垂直：-8 $|g
; .EPv4[2%F8 图8终止偏移值 v8WT?%
11) 输入以下值： Dpwqg3,
宽度：4 QI'-I\Co 12) 点击“OK”。 =]5f\f6 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 {+ Ibi{ M KX+'p\w 图9.修改的弧形波导 t 9t
'9 4. 插入输入平面 ySB0"bl 要插入输入平面，请执行以下步骤。 7 3 4t 步骤 操作 @U4hq7xzV2 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 n|pdYe8\ 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 "hQGk 输入平面出现（参见图10）。 ?K;l 5$?% 2~ 4&4 图10.输入平面 0Vrs bkS
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 ${E^OE 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 (/0dtJ
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未完待续 Fc8 0HK5R 来源：讯技光电 m ?; ?I]`
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