|
|
本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: @khFk.LBD 定义单向弯曲器件的材料 x="Wqcnj{ 定义系统设置 ,B[j{sE 创建弧形波导 -B;#pTG 插入输入平面 jc&k-d>=G 选择输出数据文件 Y~AjcqS 运行仿真 bZ\R0[0 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 mux/\TII #RBrii-, 1. 定义单向弯曲器件的材料 3PE.7-HF 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 e0TYHr)X>3 步骤 操作 C(ij_> 1) 从文件菜单中,选择新建。 @|\9<S 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 ,X.[37 p?i.<Z 图1.初始属性对话框 m\56BP-AM 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 ( zWBrCX 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 w*-42r3,' 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 0~bUW V &BRk<iwV 图2.轮廓文件设计器 +/ZIs|B4,z 3) 创建以下介电材料: XOvJlaY)'. 名称:包层(Cladding) qYC&0`:H 折射率(Re :):1.442 7%y$^B7{ J].Oxch&y 4) 要保存资料,请单击“存储”。 Ix- Mp
gQ_<;'m)2 5) 创建第二种介电材料: DZSS !Y ,7% 名称:波导层(Guide) wXIRn?z 折射率(Re :):1.45 'JOUx_@z { ADd[V 6) 要保存资料,请单击“存储”。 {DRk{>K, gJQ#j~' 7) 创建以下通道: 6KMO*v 轮廓名称:通道1 o-\h;aQJ 2D轮廓定义材料:波导(Guide) WC#6(H5t$ 8) 要保存通道,请单击“存储”。 #EH=tJgO|J 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 \ %Mcvb.? 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI o{PG&
}K Anz{u$0M[ 2. 定义系统设置 [d`E9&Hv3 要定义系统设置,请执行以下步骤。 -c_l
n K 步骤 操作 csy6_q( 1 点击默认波导标签 ("8 Hku? 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 K!6T8^JH 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 h.edb6 4 键入以下值: M~A#_%2U 长度:800 q`9.@u@ a 宽度:50 _4by3?<c 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 B!wN%>U 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 tu\XuDky 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 B4y_{V 出现布局窗口(参见图3)。 sY;h~a0n
0t7N yKU 图3.布局窗口 uj8saNu 3. 创建弧形波导 o(hUC$vW 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 $gl|^c\ 步骤 操作 eC-&.Fl 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 Nf| 0O\+%y 光标变成十字线。 0z>IYw|UB 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 T8S&9BM7 }>{R<[I!G 图4.绘制一个弧形波导 %p 6Ms 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 i]ZGq7YJ% 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 w|f+OlPXq 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 % !@E)%d0 出现弧形波导属性对话框(参见图5) <f>77vh0 "yu{b]AU 图5.弧形波导属性对话框 ^T&{ORWz 5) 点击起始标签 \l/(L5gY 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): A?MM9Y}K 水平:0 .\oz 垂直:-10 hi(b\ABx q /JC\ 图6.初始偏移值 OeQ[-e 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 ntIR #fB
激活表达式框(参见图7)。 S)EF&S(TC jkk%zu 图7.波导半径 uH89oA/H 8) 键入以下值: *$9U/ d 表达式:4000 g:!U,<C^a 9) 单击终止选项卡。 [A~?V.G 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): kXL0 Horizontal:800 -
|pe D
L 垂直:-8 =X'[r /`M# 图8终止偏移值 _gMr]%Q 11) 输入以下值: G8}owszT 宽度:4 Z66Xj-o 12) 点击“OK”。 wqG#jC!5 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 T={!/y+ vd%AV(]<LJ 图9.修改的弧形波导 ozY$}|sjDT 4. 插入输入平面 "M:ui0YP 要插入输入平面,请执行以下步骤。 Tf#Op
v) 步骤 操作 NnAIL;WS 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 OG{*:1EP 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 d./R;Z- I{ 输入平面出现(参见图10)。 GbLHzw N_92,xI# 图10.输入平面 |OLXb+7X 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 huZ5?'/Fg 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 u.A}&'H (&.T ...... ;8<HB1 &, ?n#$y@U 未完待续 f%PLR9Nh5@ 来源:讯技光电 =R:O`qdC4e
|