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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: uw
L T$ 定义单向弯曲器件的材料
UQ$dO2^ 定义系统设置 ; QR|v 创建弧形波导 5u:+hB 插入输入平面 (gNI6;P;} 选择输出数据文件 Fw+JhIVP 运行仿真 +IuV8XT2( 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 vROl}s; :GIY"l' 1. 定义单向弯曲器件的材料 "ltvD\ 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 394u']M 步骤 操作 LOX[h$ 1) 从文件菜单中,选择新建。
p[0Ws460 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 Ufv{6"sH NRcg~Nu 图1.初始属性对话框 !__f 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 Ufq"_^4 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 <eO 7b6_ 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 Xr:"8FT j~\\,fl= 图2.轮廓文件设计器 J6hWcA6g 3) 创建以下介电材料: "h7Z(Y 名称:包层(Cladding) $B~a*zZ7 折射率(Re :):1.442 U@|{RP m/0G=%d%k 4) 要保存资料,请单击“存储”。 8!3+Obj PP. k>zsx 5) 创建第二种介电材料: [_|iW%<` k5w+{iOh 名称:波导层(Guide) -njxc{b 折射率(Re :):1.45 \tyL`&) %p/Qz|W 6) 要保存资料,请单击“存储”。 ~NpnRIt E-*udQ 7) 创建以下通道: agBKp! 轮廓名称:通道1 >6:slNM# 2D轮廓定义材料:波导(Guide) YxS*im[%] 8) 要保存通道,请单击“存储”。 0w< iz;30 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 g[8VfIe 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI 5G(y BR*""/3` 2. 定义系统设置 !h?N)9e 要定义系统设置,请执行以下步骤。 #@2 `^1 步骤 操作 xW/JItF 1 点击默认波导标签 </bWFW~x 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 twf;{lZ( 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 hYi-F.Qtq 4 键入以下值:
6C
r$R]5 长度:800 M[<O]p6 宽度:50 49/1#^T"Q> 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 zLOmtZ([' 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 LMsbTF@E 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 Y
+HVn0~qz 出现布局窗口(参见图3)。 0Yfk/}5 N%y%)MI 8 图3.布局窗口 aR}NAL_`w 3. 创建弧形波导 DMfC(w.d 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 qbqJ1^!6R 步骤 操作 YlPZa3\ 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 q/Q^\HTk 光标变成十字线。 t,k9:p 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 _qE2r^o"B CtjjN=59 图4.绘制一个弧形波导 k^R>x V
注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 '?yZ,t 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 q69a-5q 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 g=i|D(". 出现弧形波导属性对话框(参见图5) "Hgn2o.;5 kwWO1=ikz@ 图5.弧形波导属性对话框 , LcMNP r 5) 点击起始标签 S:Yo9~ 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): E+E5`-V 水平:0 8Yb/ c* 垂直:-10 t9 &O0tpe F4bF&% R 图6.初始偏移值 B-@f.NO/s 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 `e`4[I 激活表达式框(参见图7)。 c^Wm~"r >4h4t/G 图7.波导半径 \+cQiN b@ 8) 键入以下值: (&njZdcb* 表达式:4000 tvFJ^5 9) 单击终止选项卡。 >V;<K?5B`W 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): 2$T~(tem Horizontal:800 <U1uuOt 垂直:-8 BOh&Db*
9]AKNQq m 图8终止偏移值 w`!Yr:dU 11) 输入以下值: f3v/Y5) 宽度:4 >vP^l
{SD 12) 点击“OK”。 T}u ' 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 l#Qf8*0 veK 图9.修改的弧形波导 f kP
WGd 4. 插入输入平面 ]'M4Unu#@ 要插入输入平面,请执行以下步骤。 55,vmDd 步骤 操作 72v 9S T 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 %>JqwMK 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 5R o5Cg~ 输入平面出现(参见图10)。 9oGsrClH 0_&oMPY 图10.输入平面 F$+_Z~yt3; 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 $&a`zffG 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 {p2%4 x6$P(eN ...... #p_ ~L4iW 751\K`L 未完待续 2V~Yb1P 来源:讯技光电 xX|-5cM;
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