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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: _fANl}Mf: 定义单向弯曲器件的材料 ,<?M/'4}G 定义系统设置 ?GKm_b]JC 创建弧形波导 q9"~sCH 插入输入平面 $~*d. 选择输出数据文件 ]j?Kn$nv*S 运行仿真 WP0{% 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 mPo] .z f^X\ N/ 1. 定义单向弯曲器件的材料 .:#6dG\0z 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 ZI#Xh5 步骤 操作 pvJPMx 1) 从文件菜单中,选择新建。 |qsY0zx 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 A'X, zw^} 6KI< J*Wz` 图1.初始属性对话框 uP[:P?,t 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 H=k*;' 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 xF3H\`{4x 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 4\yKd8I +,$"%C 图2.轮廓文件设计器 ,W/D 0 3) 创建以下介电材料: >#\&%0OZw 名称:包层(Cladding) Af"vSL 折射率(Re :):1.442 kpN'H_ . ; i><03 4) 要保存资料,请单击“存储”。 Ey"<hAF *oX~z>aE 5) 创建第二种介电材料: >, }m=X8 "i_}\p.,X 名称:波导层(Guide) dO[w3\~ 折射率(Re :):1.45 XOy#?X/` -m~[z 6) 要保存资料,请单击“存储”。 QYL
'; %7?v='s= 7) 创建以下通道: (8(z42 轮廓名称:通道1 3It'!R8 $ 2D轮廓定义材料:波导(Guide) $'Hg}|53 8) 要保存通道,请单击“存储”。 qqYH}%0dz 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 lFY;O !Y5\ 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI wFaWLC|& g3%t+>$* 2. 定义系统设置 %j=,c{`Q 要定义系统设置,请执行以下步骤。 ?%HtPm2< % 步骤 操作 k|7XC@i]% 1 点击默认波导标签
oB$D& 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 `'[ 7M 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 jjm-%W@ 4 键入以下值: -j9R%+YW< 长度:800 !2N#H~{ 宽度:50 F#^ .L|d4 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 #|8!0]n' 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 ;.h5; `& 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 T8FKa4ikn 出现布局窗口(参见图3)。 yREO;m|o sh?Dxodp9 图3.布局窗口 *R>I%?]V3 3. 创建弧形波导 qD4e] 5 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 8X]j;Rb 步骤 操作 I=^%l7 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 f(?`PD[ 光标变成十字线。 H2RNekck 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 l(zkMR$b8 ^dYLB.'= 图4.绘制一个弧形波导 ASaG }h 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 ap9eQsC 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 N2tvP+Z6D 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 );;UNO21+ 出现弧形波导属性对话框(参见图5) 7w{`f)~ vVLR9"rHM 图5.弧形波导属性对话框 $zz=>BOk 5) 点击起始标签 9&'Mb[C`"
6) 在偏移下,键入以下值(见图6): Z[`J'}?| 水平:0 $b$r,mc 垂直:-10 ,^o^@SI)
{M E|7TS= 图6.初始偏移值 bTHa;* ` 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 Ze Shn 激活表达式框(参见图7)。 S,S_BB<Y[b QbqLj>-AJ 图7.波导半径 :eQxdi' 8) 键入以下值: }+ #ag:M 表达式:4000 kC9A 9) 单击终止选项卡。 8gBqur{ 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): ? *I9 Horizontal:800 3[aJ=5 垂直:-8 &[\rnJ?D ~`_nw5y 图8终止偏移值 HNjkRl)QR 11) 输入以下值: +bf%]
宽度:4 NnHM$hEI"U 12) 点击“OK”。 p7H*Ff` 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 web&M!- L1C'V/g 图9.修改的弧形波导 9R;s;2$. 4. 插入输入平面 {Y'_QW1:2 要插入输入平面,请执行以下步骤。 Z/x<U.B 步骤 操作 x|<|eRYK 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 }>frK#S 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 Z^GriL 输入平面出现(参见图10)。 6u:5]e8 _9
Gy` 图10.输入平面 KI>7h.t 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 PL+fLCk,I 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 J;T_9 c@nl;u)n ...... )If[pw@j s:]rL&| 未完待续 x-Mp6 来源:讯技光电 Gh{k ~/B
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