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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： \Z+v\5nmO 定义单向弯曲器件的材料 5 V?1/ 定义系统设置 $S,Uoh 创建弧形波导 @
K@~4! 插入输入平面 L~mL9 [( , 选择输出数据文件 xVl90ak 运行仿真 cz T@ txF 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 sn Ekei|0
/itO xrA 1. 定义单向弯曲器件的材料 Dd SUB 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 [dzb{M6_ 步骤 操作 |(P>'fat-p 1) 从文件菜单中，选择新建。 >_F& oA# 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 |2 3 }~c, P$ pl 图1.初始属性对话框 ;<&s _C3
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 x _@ev- 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 zP9 HY S 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 OOk53~2id "lz!'~im 图2.轮廓文件设计器 e.HN%LrhS
3) 创建以下介电材料： 4h~Oj
y16& 名称：包层（Cladding） M1ayAXO 折射率（Re :)：1.442 ^mz_T+UOe
J,~)9Kh$ 4) 要保存资料，请单击“存储”。 r{<u\>6X>P
h h8UKEM- 5) 创建第二种介电材料： M?\)&2f[Z
hC o&SRC/5 名称：波导层（Guide） r+lY9 l 折射率（Re :)：1.45 ol YSr .Q`
$ o t"Du 6) 要保存资料，请单击“存储”。 tNU cmiY
/60[T@Mz 7) 创建以下通道： #Se 轮廓名称：通道1 lo(Ht=d 2D轮廓定义材料：波导（Guide） =Q|}7g 8o 8) 要保存通道，请单击“存储”。 _ssHRbE 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 <wSmfg,yF 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI +f7?L]wzic
ow$#kQ&R O 2. 定义系统设置 1L9^N 要定义系统设置，请执行以下步骤。 vj_oMmjKw 步骤 操作 NMj `wQ`M+ 1 点击默认波导标签 6F(yH4 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 Y"lxh/l$} 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 I{ Kc{MXn 4 键入以下值： YT3QwN9 长度：800 O%)9t FT 宽度：50 tL).f:? 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 GqAedz ;. 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 NrU -%!Aw 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 JA)gM 出现布局窗口（参见图3）。 K9P"ncMt P"]+6sm&es 图3.布局窗口 xUw\Y(! 3. 创建弧形波导 &6:,2W&s 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 JZv]tJWq 步骤 操作 2h:f6=)r/u 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 woT" 9_tN 光标变成十字线。 'qP^MdoE%~ 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 D-~Jj&7 y k5P/H) 图4.绘制一个弧形波导 wYxizNv,
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 *.+>ur?t 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 ,yqzk. 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 q-o> yjT~ 出现弧形波导属性对话框（参见图5） z84W{!
P "TV.$s$. 图5.弧形波导属性对话框 ^GAdl}
5) 点击起始标签 =ddx/zN 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： E*I]v 水平：0 f|G7L5- 垂直：-10 ."^dJ |fN \}Wkj~I X 图6.初始偏移值 EGDE4n5>I
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 ]q3Kd{B 激活表达式框（参见图7）。 UxvsSH i xWw Prd 图7.波导半径 F@*lR(4C
8) 键入以下值： 5HIp oj;\( 表达式：4000 g@y"
B6X 9) 单击终止选项卡。 ^VIUXa 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： bSR<d Horizontal：800 |)4$\<d 垂直：-8 8k1 r|s@d =5/;h+bk+3 图8终止偏移值 "[?/I3 {E
11) 输入以下值： :f YwFD( 9 宽度：4 y;Zfz~z 12) 点击“OK”。 ZYt
__N 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 ) e2IT*7 PJYA5"}W 图9.修改的弧形波导 Y z,!#ob$ 4. 插入输入平面 bGi_",
8 要插入输入平面，请执行以下步骤。 L@_">' pR 步骤 操作 /C:'qhY, 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 5Hm!5:ZB 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 D+)=bPMe 输入平面出现（参见图10）。 N.G*ii \ @NNLzqqY 图10.输入平面 pu:D/2R2;k
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 u0Erz0*G4 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 -n
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未完待续 oyt //SE 来源：讯技光电 a-E-hX2
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