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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: D7C%Y^K]>E 定义单向弯曲器件的材料 YVO~0bX: 定义系统设置 { /Gm|*e{ 创建弧形波导 iJk/fvi 插入输入平面 XRn+6fn| 选择输出数据文件 6M bMAh5> 运行仿真 Y|<1|wGG 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 84gj%tw'- ,-.=]r/s 1. 定义单向弯曲器件的材料 F5<GGEQb 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 u2 U4MV1C
步骤 操作 }9?fb[] 1) 从文件菜单中,选择新建。 yjucR
Fl 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 'x=y:0A QezDm^< 图1.初始属性对话框 F:-6Htmj 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 BBsZPJ5 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 L\^H#:?t 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 0.!Q4bhD \JGRd8S[ 图2.轮廓文件设计器
(<#Ns W!z 3) 创建以下介电材料: r<.*:]L 名称:包层(Cladding) <~Tfi*^+ 折射率(Re :):1.442 po+1 z|G 39 4) 要保存资料,请单击“存储”。 u=6{P(5$j Pl[WCh 5) 创建第二种介电材料: kN$L8U8f EB>rY 名称:波导层(Guide) JOx""R8T5 折射率(Re :):1.45 *!+?%e{;b {%z}CTf# 6) 要保存资料,请单击“存储”。 %i`YJ w5}2$r 7) 创建以下通道: .e2K\o 轮廓名称:通道1 ACxjY2 2D轮廓定义材料:波导(Guide) [es-&X07< 8) 要保存通道,请单击“存储”。 UjQi9ELoJ 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 "G!V?~; 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI !yX4#J( 3mM.#2=@> 2. 定义系统设置 -%)8= 要定义系统设置,请执行以下步骤。 ?28aEX_w 步骤 操作 (#k2S-5 1 点击默认波导标签 (6\
H~ 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 dKTUW<C 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 f<G:}I 4 键入以下值: cc$+"7/J^c 长度:800 RJZ4fl 宽度:50 #$9rH
2zd 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 3:WXrOl 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 ]Q\/si& 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 jP|(y]! 出现布局窗口(参见图3)。 awa$o Cdd
+I5~ 图3.布局窗口 ur2`.dY>3" 3. 创建弧形波导 dq
~=P> 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 IT0*~WMZ 步骤 操作 tmI2BBv 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 (Dx]!FFz 光标变成十字线。 1 ~#p3)B 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 Qf]ACN I|?Z.!I| 图4.绘制一个弧形波导 ,*@6NK,. 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 ROHr%'owgL 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 ?#917M 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 8o;9=.<<~u 出现弧形波导属性对话框(参见图5) nfMQ3KP ,HdFE| 图5.弧形波导属性对话框 K
r&HT,>B 5) 点击起始标签 i;$'haK< 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): hol54)7$3: 水平:0 *xOrt)D= 垂直:-10 L?n*b
Pc4FEH/ 图6.初始偏移值 VJeN
m3WNb 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 JOIbxU{U_ 激活表达式框(参见图7)。 '
cl&S: 8y{<M"v+/ 图7.波导半径 Gm.n@U p 8) 键入以下值: vWwnC)5 表达式:4000 \ oIVE+L/P 9) 单击终止选项卡。 8vcV-+x 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): )5j%." Horizontal:800 }X3SjNd q 垂直:-8 r='"X#CmV/ V4OhdcW{ 图8终止偏移值 dSb|hA}@ 11) 输入以下值:
WoiK _Ud 宽度:4 _azg
0.) 12) 点击“OK”。 1v4( 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 cFoDR '%`Wy@ 图9.修改的弧形波导 !RnO{FL 4. 插入输入平面 %Y` @>P' 要插入输入平面,请执行以下步骤。 ,"u-V<>6O 步骤 操作 qlSc[nEk 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 $3sS&i< 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 Q+[e)YO) 输入平面出现(参见图10)。 d\dt}&S 5 |wZ8O}O{E 图10.输入平面 v3+\Aq 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 78\:{i->ta 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 ":*PC[)W ~: f9, ...... N(@'L43$V ubIGs|p2c 未完待续 .foM>UOY 来源:讯技光电 b$nXljV4?
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