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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: Lv;R8^n 定义单向弯曲器件的材料 JsOu
*9R 定义系统设置 =uZOpeviQ 创建弧形波导 y.zS?vv2g 插入输入平面 (5l5@MN 选择输出数据文件 . Q#X'j 运行仿真 N6GvzmG#g 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 Ib)>M`J oSb,)k@ 1. 定义单向弯曲器件的材料 VfJbexYT 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 Min^EAG@ 步骤 操作 0]v:Ix 1) 从文件菜单中,选择新建。 EM_`` 0^ 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 -Oo7]8 {9 >jWNx 图1.初始属性对话框 IC-k 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 !l7eB@O 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 Y.O/~ af 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 it2@hZc5 rb+&] 图2.轮廓文件设计器 q@;z((45 3) 创建以下介电材料: RH,1U3? 名称:包层(Cladding) =[O;/~J%: 折射率(Re :):1.442 QR!8 n $K)9(DD 4) 要保存资料,请单击“存储”。 C~4$A/&( G22=8V 5) 创建第二种介电材料: wvAXt*R @"*8nV# 名称:波导层(Guide) ^]He]FW':G 折射率(Re :):1.45 Z4\$h1tl c}nXMA^^ 6) 要保存资料,请单击“存储”。 d7xd" 83*"58 7) 创建以下通道: mdu5aL 轮廓名称:通道1 Z/ "jLfP 2D轮廓定义材料:波导(Guide) mWUo:(U 8) 要保存通道,请单击“存储”。 p]d3F^*i 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 R3]Ra&h6N) 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI mQQ5>0^m jgLCs)=5hV 2. 定义系统设置 Bc{#ia 要定义系统设置,请执行以下步骤。 90%alG1>y 步骤 操作 8oI)q4V 1 点击默认波导标签 `TBI{q[y 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 `P&L. m]| 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 P)?)H]J" 4 键入以下值: Nl_Sgyx,\ 长度:800 p[*NekE6- 宽度:50 '1{#I/P; 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 V$Y5EX 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 %J06]FG7 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 H26'8e 出现布局窗口(参见图3)。 eMf+b;~R mZVYgJQ[ 图3.布局窗口 &lYZ=|6 3. 创建弧形波导 x\vb@!BZ 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 utq*<,^ 步骤 操作 z.f~wAT@< 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 xF*C0B;QL 光标变成十字线。 X0X!:gX 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 \2!v~&S *
%p6+D-C 图4.绘制一个弧形波导 !=(~e':Gv 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 {0fQ"))" 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 W`fE@* k0 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 v4}kmH1 出现弧形波导属性对话框(参见图5) Cc:m~e6r ZbJUOa?WF 图5.弧形波导属性对话框 ~%9ofXy 5) 点击起始标签 oI9Jp` 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): Ws[[Me,= 水平:0 C[$uf 垂直:-10 :('7ly!h \*#9Ry^f 图6.初始偏移值 jP6;~[rl 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 CCJ!;d;&87 激活表达式框(参见图7)。 hS4Ljyeg Z7&Bn |