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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： <DjFMTCN 定义单向弯曲器件的材料 :$ " L;" 定义系统设置 V*U* _Y 创建弧形波导 J}vxK
H#= 插入输入平面 /P-Eg86V' 选择输出数据文件 t% f6P 运行仿真 (~<9\ZJs 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 td6$w:SN,l
m+m,0Ey5H 1. 定义单向弯曲器件的材料 @^';[P! 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 HRY?[+ 步骤 操作 0u'qu2mV 1) 从文件菜单中，选择新建。 <_tkd3t#W 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 *NDM{WB|) ?]# U~M<' 图1.初始属性对话框 }`,}e 259
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 &4Sc wK: 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 W l+[{# 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 "x* 5g*k {LLy4 m 图2.轮廓文件设计器 =tv,B3Mo
3) 创建以下介电材料： AShnCL8uR 名称：包层（Cladding） Vp'Zm: 折射率（Re :)：1.442 8C{mV^cn~
DGwN*>X 4) 要保存资料，请单击“存储”。 u0@i3Po
07_ym\N 5) 创建第二种介电材料： &l=%* `On
!P &F6ViO= 名称：波导层（Guide） p(F}[bP 折射率（Re :)：1.45 WYb\vm =r
?1?zma S 6) 要保存资料，请单击“存储”。 h o7L@NR
>*PZ&" }M 7) 创建以下通道： x}W,B,q 轮廓名称：通道1 xnW3,:0 2D轮廓定义材料：波导（Guide） (1 pxQ%yEA 8) 要保存通道，请单击“存储”。 \P;%fN 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 $`Z-,AJc 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI ]mN'Qoc
LH4!QDK- 2. 定义系统设置 .
_5g<aw; 要定义系统设置，请执行以下步骤。 rSUarfZ< 步骤 操作 H ?~|Uj 6 1 点击默认波导标签 v: Av 2y 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 #-_';Er\ 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 )5}=^aqd 4 键入以下值： Gya k?.@R 长度：800 =7JvS ~s 宽度：50 I]"wT2@T;7 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 P9)E1]Dc$ 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 zqDIw fW 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 @?$x 出现布局窗口（参见图3）。 Zz<k^ }dl[~iKW 图3.布局窗口 :Rh?#yO 5 3. 创建弧形波导 =kz(1Pb 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 Q2c| sK8
步骤 操作 .a%D:4GYR 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 I+,~pmn: 光标变成十字线。 8IY n9<L 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 [i 18$q5D qn VxP& 图4.绘制一个弧形波导 X|}yp|
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 "lcNjyU\O 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 DD3.el}6a 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 cnQ;6LtFTz 出现弧形波导属性对话框（参见图5） +*2 ]R~"M GJ:65)KU 图5.弧形波导属性对话框 T 5; zgr
5) 点击起始标签 ? MT
V!i0 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： jN\} l|;q 水平：0 lWr{v\L' 垂直：-10 w-%V9]J1 Y 40` ~ 图6.初始偏移值 ,m| : U
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 ~c&ygL3 激活表达式框（参见图7）。 si:p98[w " HCJ! 图7.波导半径 vUEG0{8 l
8) 键入以下值： :Ve>tZeW 表达式：4000 "~R,%sY b( 9) 单击终止选项卡。 EZy:_xjZ 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： sN`2"t/s Horizontal：800 A>@ i
TI 垂直：-8 ~)\9f 1O{^ #k %$A}9 图8终止偏移值 #wXq' yi
11) 输入以下值： `mar-r_m 宽度：4 4~mYj@lvd 12) 点击“OK”。 >WfkWUb 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 {MP8B'r-6 {BkTJQ) 图9.修改的弧形波导 (twwDI 4. 插入输入平面 td*1 要插入输入平面，请执行以下步骤。 MKqMH,O 步骤 操作 h<)YZ[;x 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 f{
;L"*L 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 =Q\z*.5j. 输入平面出现（参见图10）。 5Lmhip LA!2!6 0R 图10.输入平面 ; DQ{6(
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 #&fi[|%X$ 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 ^|u7+b'|t
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未完待续 %N jRD| 来源：讯技光电 ,8=`Y9#
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