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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： dO2cgY} 定义单向弯曲器件的材料 ^H'#*b0u 定义系统设置 Oqyh{q%] 创建弧形波导 _B2t|uQ 插入输入平面 UOyP6ej 选择输出数据文件 +x` tvo 运行仿真 =g ]C9'I3 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 m(Oup=\%b}
!**q20-aP 1. 定义单向弯曲器件的材料 Y*6*;0Kx 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 + x1sV *S 步骤 操作 IKt9=T x 1) 从文件菜单中，选择新建。 ;iEq a"gO 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 Aq-v3$XL {)+/w"^. 图1.初始属性对话框 EpiagCS
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 E ?-K_p 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 S9.jc@#.` 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 ],LOkAX @U}UC G7+ 图2.轮廓文件设计器 C9fJLCufC
3) 创建以下介电材料： 6 -o Qs? 名称：包层（Cladding） z}5XLa^ 折射率（Re :)：1.442 V1+IqOXAIp
L .5GX 29 4) 要保存资料，请单击“存储”。 g$+ 3IVq&
E'C[+iK6, 5) 创建第二种介电材料： (mzyA%;W
4#o` - vcW 名称：波导层（Guide） fR bV c 折射率（Re :)：1.45 N7[~Y2i
:F_U^pyG 6) 要保存资料，请单击“存储”。 BjShK+Y
XjV7Ew^7 7) 创建以下通道： @8 pRI S"V 轮廓名称：通道1 SXhJz=h 2D轮廓定义材料：波导（Guide） (Fu9lW}n 8) 要保存通道，请单击“存储”。 i}Y:o } 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 9O|m# &wa] 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI n 4ISHxM
-+z^{*\; N 2. 定义系统设置 KMZ% 1=a 要定义系统设置，请执行以下步骤。 y== x 步骤 操作 {BF$N#7 1 点击默认波导标签 <fP|<>s$@1 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 A;% fAI2Vr 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 2JbCYCTC 4 键入以下值： 6pH.sX$!_ 长度：800 J^u{7K, 宽度：50 Wg#> 2)> 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 y+c+ / L8 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 :/u
EPki 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 ~; MRQE 出现布局窗口（参见图3）。 H#f
FU n|8fdiK#} 图3.布局窗口 G-Y8<mEh 3. 创建弧形波导 \KTX{qI"f 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 DlaA-i]l 步骤 操作 N ^O. P 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 w|N LK 光标变成十字线。 rK"x92P0 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 }4$UlT A' VLR W,lR9O 图4.绘制一个弧形波导 /: B!hvpw
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 /W fpA\4S 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 R+P1 +5 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 0PZpE
"$X 出现弧形波导属性对话框（参见图5） xw ` Pq6 7%C6gU! r 图5.弧形波导属性对话框 59GS:
5) 点击起始标签 *S7<Q yVh 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： UZqr6A(/H 水平：0 E<0Y;tR 垂直：-10 V4_ZBeWA t X)^$3A 图6.初始偏移值 gd2cwnP
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 U4Il1|
M& 激活表达式框（参见图7）。 ,|D<De\v& L_Z> *s& 图7.波导半径 g%Eb{~v
8) 键入以下值： rxt)l 表达式：4000 H|5\c= 9) 单击终止选项卡。 wgY: W:y'N 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）：
2>p>AvcK Horizontal：800 qEE
V& 垂直：-8 6,| !zaeS Dz8)u:vRS 图8终止偏移值 Ub3^Js!b%
11) 输入以下值： uvi+# 4 ~G 宽度：4 X$)<>e]!> 12) 点击“OK”。 )ui]vS:> 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 2 {(_{9<>z # R}sGT 图9.修改的弧形波导 O,u$L 4. 插入输入平面 HZKqGk E 要插入输入平面，请执行以下步骤。 ^Yul|0*J 步骤 操作 @!`x^Tzz 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 %d3qMnYu 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 'b~,/lZd 输入平面出现（参见图10）。 T'!7jgk{: yJNQO'wcv 图10.输入平面 d[=~- [
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 {W,&jC 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 r 1ao=N
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未完待续 J#ujI e 来源：讯技光电 U4M}E h8
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