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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： xUdGSr50 定义单向弯曲器件的材料 X!Z)V)@J8 定义系统设置 U S ALoe 创建弧形波导 ?z9!=A%<V~ 插入输入平面 .Z [4:TS 选择输出数据文件 <l5i%? 运行仿真 += 8wZ] 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 >4X2uNbZS
JI-i7P 1. 定义单向弯曲器件的材料 58s-RO6 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 cb9-~*1 步骤 操作 UUV5uDe>i 1) 从文件菜单中，选择新建。 d. vNiq,` 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 M(I%y0 4 $KDf ;m@ 图1.初始属性对话框 ]# ]Z]9w
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 !Ap5Uwd 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 UN.;w3`Oc 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 %1Q:{m h~ k<" 图2.轮廓文件设计器 src9EeiV
3) 创建以下介电材料： !l
$d^y345 名称：包层（Cladding） :'DyZy2Fd 折射率（Re :)：1.442 =
J; I5: J
s=n4'`y1 4) 要保存资料，请单击“存储”。 <!sLf z?
N5 5F5 5) 创建第二种介电材料： srv4kodj
05LkLB 名称：波导层（Guide） #%; Uh 折射率（Re :)：1.45 1jg* DQ7L
2&4nf/sE 6) 要保存资料，请单击“存储”。 t<8)h8eW
d{7ZO#E 7) 创建以下通道： xQ FY/Z 轮廓名称：通道1 7\
_MA!:< 2D轮廓定义材料：波导（Guide） kg^0 %-F 8) 要保存通道，请单击“存储”。 >. Gm u 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 RTc@`m3 M 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI R 2Tt6
0/)2RmF 2. 定义系统设置 q 2EDrZ 要定义系统设置，请执行以下步骤。 H@uu;:l<7A 步骤 操作 5IF5R# 1 点击默认波导标签 /yG7!k ]Eg 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 y47N(;vy 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 ; A,X,f 4 键入以下值： *K|~]r(F? 长度：800 3 *h"B$g! 宽度：50 <,)R`90_X6 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 qk<jvha 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 K KB+o)*W 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 [q?RJm B] 出现布局窗口（参见图3）。 w#b@ 6d f5V-; 图3.布局窗口 b-<0\@`Z# 3. 创建弧形波导 _^BA;S @ 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 Ur])*# 步骤 操作 'OA*aQ=K 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 Yg8* )u0 光标变成十字线。
mWv$eR 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 \n[kzi7 o.ZR 5 `. 图4.绘制一个弧形波导 o`iA&
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 qzZ/%{A k 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 3>h2 W 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 8%,#TMOg 出现弧形波导属性对话框（参见图5） DquL r+s~ ~, } |~ 图5.弧形波导属性对话框 E2dM0r<]
5) 点击起始标签 $P{`-Y }a 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： lI?P_2AaS 水平：0 $ 2a"Ec!7 垂直：-10 T [SK>z a$=~1@ 图6.初始偏移值 76tn`4NIP
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 WutPy_L< 激活表达式框（参见图7）。 |6 Q5bV e`n ZiM> 图7.波导半径 MDlH[PJ@i
8) 键入以下值： S9Sgd& a9 表达式：4000 ..JRtuM-v 9) 单击终止选项卡。 I> ;{BYPV 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： xh2r?K@k> Horizontal：800 iN&oSpQ 垂直：-8 D./{f 8 !5 } }mf 图8终止偏移值 hVF^ "$
11) 输入以下值： 7 FE36Ub9 宽度：4 H7Q$k4\l 12) 点击“OK”。 PuJ3#H
T 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 -$:; en? n[Q(q[ULV 图9.修改的弧形波导 +0&^.N 4. 插入输入平面 nB`|VYmOP1 要插入输入平面，请执行以下步骤。 X]=eC6M}:V 步骤 操作 vclc% ws 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 2K9X (th1 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 86{>X5 + 输入平面出现（参见图10）。 , '0#q D"pT?\kO 图10.输入平面 f]r*;YEc4
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 GNJ /|9 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 Z^> 4qf,k
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未完待续 M=raKb?F 来源：讯技光电 "s0,9;
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