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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: "@s</HGo 定义单向弯曲器件的材料 f3;.+hJ]) 定义系统设置 j'IZ etT 创建弧形波导 b=$(`y 插入输入平面 ja2BK\"1: 选择输出数据文件 Ea<kc[Q 运行仿真 (JX 9c 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 ^}Wk UI]UxEJ 1. 定义单向弯曲器件的材料 Z%m\/wr 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 59k[A~)~ 步骤 操作 hBRcI0R 1) 从文件菜单中,选择新建。 IIh \d.o 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 k]"DsN$ Bx" eX>A8 图1.初始属性对话框 JmBe1"hs 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 UD0#Tpd7 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 ,v@C=4'm 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 wdMVy=SS Bw Cwy 图2.轮廓文件设计器 ,^n5UA`PK 3) 创建以下介电材料: !+o`,K TYp 名称:包层(Cladding) xf|vz|J?y 折射率(Re :):1.442 nhImO@Q: VKb=)v[K 4) 要保存资料,请单击“存储”。 <FofRFaS ~q,Wj!>Ob 5) 创建第二种介电材料: opIbs7k- g3*J3I-O 名称:波导层(Guide) cOoF +hz0O 折射率(Re :):1.45 E'^$~h$ ?#0m[k&` 6) 要保存资料,请单击“存储”。 YZ(tjIgQ 0\KDa$'1k 7) 创建以下通道: h8
!(WO! 轮廓名称:通道1 i5 ;_ 2D轮廓定义材料:波导(Guide) CFW#+U#U 8) 要保存通道,请单击“存储”。 g;-6Hg' 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 qA>C<NL 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI \N a XGcl9FaO} 2. 定义系统设置 I7]qTS[vg 要定义系统设置,请执行以下步骤。 2]'cj 步骤 操作 =u<jxV9 1 点击默认波导标签 XY)I ~6$Y 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 LB\+*P6QM 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 AYHefAF<w 4 键入以下值: g!I0UAm 长度:800 }!^`%\ %\ 宽度:50 Mh"vH0\Lj 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 )\m%&EXG{ 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 bFB.hkTP 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 YF$nL( 出现布局窗口(参见图3)。 _%@ri]u{ov \H{UJ 图3.布局窗口 #McX 3. 创建弧形波导 V]W-**j< 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 /#Lm)-%G 步骤 操作 5c 6 9M5 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 /D,<2>o 光标变成十字线。 $TY1'#1U; 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 M-zqD8D FB }8 图4.绘制一个弧形波导 u!TMt8+c 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 /7&WFCc)( 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 n _eN|m?@ 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 [WUd9fUL 出现弧形波导属性对话框(参见图5) Q60'5Wt 'tJ@+(tqw 图5.弧形波导属性对话框 m~R Me9Qi 5) 点击起始标签 K-Fro~U 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): )~C+nb '6/ 水平:0 UI_u:a9Q/ 垂直:-10 W/G75o~6 @XN*H- | 图6.初始偏移值 [?S-on. 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 Jk_}y 激活表达式框(参见图7)。 v{O(}@ fYiof]v@_m 图7.波导半径 {O5(O oDa 8) 键入以下值: l5<&pb#b 表达式:4000 b>'y[P! 9) 单击终止选项卡。 @ayrI]m#>, 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): #sb@)Q Horizontal:800 d_)VeuE2 垂直:-8 >slGicZ0 m98w0D@Ee 图8终止偏移值 !BEl6h 11) 输入以下值: C7_nA:Rc 宽度:4 !Nx'4N`&l 12) 点击“OK”。 Wq"^ { 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 W3y9>]{x^ XG8UdR| 图9.修改的弧形波导 XpT+xv1`; 4. 插入输入平面 *ulkqpO 要插入输入平面,请执行以下步骤。 JB9s#` 步骤 操作 x]pZcx9 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 6GsB*hW 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 e6
a]XO^ 输入平面出现(参见图10)。 IZ&FNOSZ+4 gmdA1$c 图10.输入平面 MxLi'R= 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 r(p@{L185 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 yBnUz" 8~:s$~&r ...... m?`?T
hZUnNQ 未完待续 ;C~:C^Q\H 来源:讯技光电 k@9CDwh*s
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