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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: w6>P[oW 定义单向弯曲器件的材料 Jjj;v2uSK 定义系统设置 p9G+la~;VM 创建弧形波导 ,<P"\W 插入输入平面 )d3C1Pd> 选择输出数据文件 *"_W1}^ 运行仿真 k1g-%DB 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 sd+_NtH B+Qo{- 1. 定义单向弯曲器件的材料 a"Iu!$&N 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 : i.5
<f 步骤 操作 "h1ek*(?< 1) 从文件菜单中,选择新建。 Xsanc@w)^C 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 eV(.\Lj O251. hXK 图1.初始属性对话框 @b 17jmq{ 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 E[ -yfP~[ 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 n4{?Odrf 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 5ad@}7& 1Ci^e7|? 图2.轮廓文件设计器 #+Bz$CO 3) 创建以下介电材料: 5FB3w48 名称:包层(Cladding) "* FjEA6= 折射率(Re :):1.442 9-{.W Z /160pl4 4) 要保存资料,请单击“存储”。 2 7dS.6 IY!.j5q8 5) 创建第二种介电材料: {%('|(57
>_]Ov:5 名称:波导层(Guide) p;o "i_! 折射率(Re :):1.45 =C(BZ+-^ Sa)L=5Nr 6) 要保存资料,请单击“存储”。 hB>FJZQ_ sng6U;Z 7) 创建以下通道: =7kn1G.( 轮廓名称:通道1 ! B` 2D轮廓定义材料:波导(Guide) *b{Hj'H aH 8) 要保存通道,请单击“存储”。 p[|V7K'Z 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 vP'!&} 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI beYGP D=D.s)ns* 2. 定义系统设置 N1y,~Z 要定义系统设置,请执行以下步骤。 1=>b\"P#E 步骤 操作 I%[Tosud< 1 点击默认波导标签 pox;NdX7 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 9.~_swkv 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 -;
d{}F 4 键入以下值: nWf8r8 长度:800 "tmu23xQ 宽度:50 v'`qn 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 sy(bL_% 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 S:g6z'e1 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 (?T{^Hg 出现布局窗口(参见图3)。 .VmRk9Z $LU|wW 图3.布局窗口 ]-heG'y]{ 3. 创建弧形波导 h{~GzrL* 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 ;u';$0 步骤 操作 !qH)ttW 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 X`E}2|q' 光标变成十字线。 F2n4#b 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 6khm@}} -0CL#RzKR 图4.绘制一个弧形波导 "Rf|o6!d 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 j\BtaC 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 b9b`%9/L 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 //$^~}wt 出现弧形波导属性对话框(参见图5) D iHj!tZN &=Y%4vq 图5.弧形波导属性对话框 CX{M@x3m 5) 点击起始标签 m60hTJ?N) 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): oq>jCOVh 水平:0
{pRa%DF 垂直:-10 r24
s_ YAi@EvzCVy 图6.初始偏移值 %N7G>_+ 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 ~(rZ) 激活表达式框(参见图7)。 0@&;JMh6< u
VUrg;> 图7.波导半径 S =sL:FC 8) 键入以下值: ph~#{B(\ 表达式:4000 .b2%n;_>. 9) 单击终止选项卡。 Cq\{\!6[ 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): yaI jXv Horizontal:800 PDh!B_+ 垂直:-8 BMU#pK;P] @Js@\)P79 图8终止偏移值 <V8=*n"mR 11) 输入以下值: rO,n~|YJ 宽度:4 aMgg[g9>t 12) 点击“OK”。 =NRiro 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 uy=<n5`oNG kRiZ6mn 图9.修改的弧形波导 lqoVfj'6M 4. 插入输入平面 :|ytw=3> 要插入输入平面,请执行以下步骤。 gF~
} 步骤 操作 /'>ck2drjk 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 HN&]`cr; 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 t..@69 输入平面出现(参见图10)。 bde6
;=oM g*%o%Lv 图10.输入平面 @Y6~;(p 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 AeW_W0j 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 evyA#~o A6Wtzt2i ...... Wb{8WPS '&y+,2?;Y[ 未完待续 UzkX;UA 来源:讯技光电 "Z
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