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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： OCu_v%G 0 定义单向弯曲器件的材料 8?8V; 定义系统设置 "8%$,rG1& 创建弧形波导 @k{q[6c2 n 插入输入平面 s<LnUF1b 选择输出数据文件 oUn+tu: 运行仿真 f/c&Ya(D~ 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 -ysNo4#e&
Ej)7[ 1. 定义单向弯曲器件的材料 [R1|=k GU 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 cz,CL/rno 步骤 操作 p@O Ip 1) 从文件菜单中，选择新建。 ]d[e 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 TgjjwcO Y >yKz8SV# 图1.初始属性对话框 g4k3~,=D3
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 C9?mxa*z 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 I'BHNZO5tf 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 2FaCrc/ x2t&Wpvt 图2.轮廓文件设计器 qCI7)L`
3) 创建以下介电材料： 05{}@tW- 名称：包层（Cladding） wbJBGT{sm 折射率（Re :)：1.442 ;Q, t65+Am
b-/QZvg 4) 要保存资料，请单击“存储”。 b>QdP$ >
OqS!y(
( 5) 创建第二种介电材料： 2]?=\_T
@:RoY vk$ 名称：波导层（Guide） i`e[Vwe2x@ 折射率（Re :)：1.45 \"$P :Uv
bK!h{ Rr 6) 要保存资料，请单击“存储”。 } r(b:}DN
6)0.q|Q 7) 创建以下通道： c_ncx|dUs 轮廓名称：通道1 d)V8FX,t 2D轮廓定义材料：波导（Guide） 4v/MZ:%C` 8) 要保存通道，请单击“存储”。 T8Mqu`$r 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 f8[O]MrO; 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI Ph]b6
qD*y60~]zz 2. 定义系统设置 [/q
Bvuun 要定义系统设置，请执行以下步骤。 T5|kO:CbHq 步骤 操作 , @UOj= 1 点击默认波导标签 RHBQgD$ 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 O'IU1sU 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 8#JX#<HEo 4 键入以下值： 6\I^]\YO 长度：800 x5MS#c!7 宽度：50 UL}wGWaoG 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 O!nS3%De 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 xE;O =mI 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 ?ckV 2
出现布局窗口（参见图3）。
;AJ Q2 dq.U#Rhrx 图3.布局窗口 r@ C~_LgL) 3. 创建弧形波导 :0B 7lD w 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 3 s?u05_ 步骤 操作 I ?Dp *u* 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 yIn$ApSGY 光标变成十字线。 Le ?g ,c 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 @k h<b<a4 @I-gs( 图4.绘制一个弧形波导 9h6Oq(0b8
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 -_Z 4)"k 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 {a UTTEu 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 \mh #MMp 出现弧形波导属性对话框（参见图5） CnL=s6XD' `W Xlq#:K 图5.弧形波导属性对话框 TyIjDG6tM
5) 点击起始标签 }~+,x# 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： l90"1I A 水平：0 tgG*k $8z 垂直：-10 =[]6NjKS, ,\v' %,:C 图6.初始偏移值 t?G6|3
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 E>]K#H
激活表达式框（参见图7）。 M{5AQzvs {,sqUq ( 图7.波导半径 ]87BP%G
8) 键入以下值： xA(z / % 表达式：4000 gm)Uyr$ 9) 单击终止选项卡。 LE<J<~2Z 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： M]r ?m@) Horizontal：800 ;_"|# 垂直：-8 1X5g(B
VSY p 图8终止偏移值 h97#(_wV>
11) 输入以下值： 1V1I[CxlX 宽度：4 Cty #|6 k 12) 点击“OK”。 Tp;W4]'a*: 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 A_9^S ! P!|Z%H 图9.修改的弧形波导 B%;MG b o 4. 插入输入平面 4l
ZK@3 要插入输入平面，请执行以下步骤。 oV :oc, 步骤 操作 [o#% Eg; 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 ia'z9 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 =|agW.l 输入平面出现（参见图10）。 %n Y\" L_!ShE 图10.输入平面 &kIeW;X
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 =lJ
?yuc 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 ;Z{D@g+
p5#x7*xR6
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未完待续 f zo'9 来源：讯技光电 D|9+:Y
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