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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: {UuSNZ[^ 定义单向弯曲器件的材料 aslb^ 定义系统设置 .|LY /q\A 创建弧形波导 cw;TIx_q 插入输入平面 za5E{<0 选择输出数据文件 u0Opn=(_ 运行仿真 ZY)&Fam} 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 )4FW~o<i kybDw{(}gc 1. 定义单向弯曲器件的材料 qD(dAU 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 k|rbh.Q 步骤 操作 z|m-nIM 1) 从文件菜单中,选择新建。 Oz5Ze/HBN 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 %Xl(wvd j2%M-y4E 图1.初始属性对话框 TdrRg''@ 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 E#yG}UWe 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 UmP\; 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 (+9^)No 5eX+9niY 图2.轮廓文件设计器 ?,UO$#Xm 3) 创建以下介电材料: NY%=6><t! 名称:包层(Cladding) ;/(<yu48 折射率(Re :):1.442 cx+%lco! >'{'v[qR[G 4) 要保存资料,请单击“存储”。 bSk)GZyH\d Hg+bmwM 5) 创建第二种介电材料: $$---Y L@~0`z:>iP 名称:波导层(Guide) kO'NT: 折射率(Re :):1.45
QjFE ,Y27uey{wa 6) 要保存资料,请单击“存储”。 5NhwIu^< ~=c[?: 7) 创建以下通道: 9:CM#N~?o 轮廓名称:通道1 WTj,9 2D轮廓定义材料:波导(Guide) \aGTi
pB 8) 要保存通道,请单击“存储”。 HAGpM\Qa 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 x4/f5 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI MOu= VuA)Ye 2. 定义系统设置 a*{ -r] 要定义系统设置,请执行以下步骤。 -hP>;~*4 步骤 操作 *l8:%t\ 1 点击默认波导标签 f26hB;n 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 j<'ZO)q`Q 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 ~d&W;mef- 4 键入以下值: m 3"|$0C~ 长度:800 KOVR=``"/ 宽度:50 u*<knZ~ty 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 eW;0{P 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 (-hGb: 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 7Ezy-x2h 出现布局窗口(参见图3)。 3W"l}.&ZJ" *ta?7uSiT 图3.布局窗口 >vc$3%L[$ 3. 创建弧形波导 94GF8P 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 Y
#6G&)M 步骤 操作 +jGSD@32> 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 0I"r*;9?K 光标变成十字线。 vuNq7V*} 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 .a]9 rQQ&_ N Uo 图4.绘制一个弧形波导 K_CE.8G&{ 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 {|/y/xYgy' 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 Ce!xa\ 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 M}xyW"yp 出现弧形波导属性对话框(参见图5) ?bH!|aW(H :6y;U 图5.弧形波导属性对话框 S3.76& 5) 点击起始标签 W60C$*h 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): y-^m 水平:0 h5VZ-v_j 垂直:-10 eaCh;IpIf 4~mmP.c 图6.初始偏移值 Zp
<^|=D 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 8;1,saA_9 激活表达式框(参见图7)。 `w#p8vR \ 3HB 图7.波导半径 O}mz@-Z 8) 键入以下值: [X\~J &kD 表达式:4000 hYEUiQ 9) 单击终止选项卡。 2 s<uT 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): 'MY0v_ Horizontal:800 Eao^/MKx- 垂直:-8 K%RjWX=H Vs@H>97,G 图8终止偏移值 kNrN72qg 11) 输入以下值: yZw5?{g@ 宽度:4 6z ,nt 12) 点击“OK”。 z"j]m_mH 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 <X~P62< O[<0\ 图9.修改的弧形波导 B4 +A 4. 插入输入平面 6PdLJ#LS 要插入输入平面,请执行以下步骤。 ?5jq)xd2 步骤 操作 ]@9ZUtU,;N 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 t @vb3 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 x4%1P w 输入平面出现(参见图10)。 ;kb);iT qM8"* dL 图10.输入平面 5><KTya?= 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 $Z[W}7{pt# 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 m%)Cw)t
7 mq6TwM ...... gvu1 '4]_~?&x 未完待续 <%GfF![v 来源:讯技光电 zyPc<\HoK
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