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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： v(FO8*5DZ 定义单向弯曲器件的材料 /%$'N$@f 定义系统设置 wz9V)_V* 创建弧形波导 hBz~FB] ;& 插入输入平面 _,NL;66=[ 选择输出数据文件 /t%IU 运行仿真 g!V;*[ 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 ]Tf.KUm
d'kQE_y2. 1. 定义单向弯曲器件的材料 f 7y1V(t 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 EHcqj;@m 步骤 操作 &y mfA{s 1) 从文件菜单中，选择新建。 6fY(u7m|p 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 * ?r w' _z)G!_7.>\ 图1.初始属性对话框 '- 4);:(^
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 t\CVL?e` 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 _V1O =iu- 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 UALwr>+VJ OlRBv foh8 图2.轮廓文件设计器 CP |N2rb
3) 创建以下介电材料： >wdR4!x!? 名称：包层（Cladding） @GBS-iT 3 折射率（Re :)：1.442 Od^y&$|_%`
<!Nj2> 4) 要保存资料，请单击“存储”。 `T {{wty
hh{4r} | 5) 创建第二种介电材料： 2l{ g$44
VDx=Tsu- 名称：波导层（Guide） dU3UCD+2y 折射率（Re :)：1.45 ;f^.7|
)j4]Y dJ 6) 要保存资料，请单击“存储”。 a_L& *%;
>9Fs)R]P 7) 创建以下通道： ?c+_}ja, 轮廓名称：通道1 H-n k\ K<| 2D轮廓定义材料：波导（Guide） 6;l{ 9cRgc 8) 要保存通道，请单击“存储”。 S M@l4GH 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 ]N:SB 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI ?2
u_E "
?M;2H {KG: 2. 定义系统设置 AVOzx00U 要定义系统设置，请执行以下步骤。 f%a n<>j^w 步骤 操作 b kceR>h% 1 点击默认波导标签 8,a&i:C 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 9 @!Og(l 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 "k)( , 4 键入以下值： xA`Q4"[I 长度：800 =mn)].Wg 宽度：50 b DeHU$ 5 单击“2D晶片属性”选项卡。
zKx?cEpE 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 U!XC-RA3
_ 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 g*N~r['dZ 出现布局窗口（参见图3）。 q^JJ5{36e "e69aAA, 图3.布局窗口 ; ? '`XB! 3. 创建弧形波导 d?oupW}uu 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 mK% !9F
V 步骤 操作 9Y&n$svB 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 "
nq4! 光标变成十字线。 -=&r}/& 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 up=4 B ZC_b`q< 图4.绘制一个弧形波导 =V5<>5"M?
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 aG%KiJ7KEN 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 38 L8AJqD 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 7Wmk"gp 出现弧形波导属性对话框（参见图5） e-ljwCD GLB7h 9> 图5.弧形波导属性对话框 %ErL L@e
5) 点击起始标签 "w*VyD 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： 2IFri|;-eb 水平：0 MSUkCWt! 垂直：-10 05g U~6AF vd|PTHV_ 图6.初始偏移值 >DBaKLu\
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 c_~)#F%P 激活表达式框（参见图7）。 <*V%!pwIG >~){KV1~ 图7.波导半径 -;a}'1HOE
8) 键入以下值： N$a LCX 表达式：4000 beRpA; 9) 单击终止选项卡。 .5 p"o- :D 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： W2O
=dG` Horizontal：800 ^o,P>u!9 垂直：-8 Y#{ L} &{!FE`ZC_ 图8终止偏移值 j5Vy o>
11) 输入以下值： VE+Q Y9( 宽度：4 J/>Y mi, 12) 点击“OK”。 {CG%$rh 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 F-R4S^eV G%Hr c 图9.修改的弧形波导 cgNK67"( 4. 插入输入平面 \EuMzb"G9p 要插入输入平面，请执行以下步骤。 |>5NH'agV 步骤 操作 3BAls+<p o 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 y))d[ 1E 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 oTS*k:
C' 输入平面出现（参见图10）。 TppR \[4]
)o`|t 图10.输入平面 a[Ah
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 g ,h'K 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 )s5Q4m!
"-C.gq oB
...... 3,DUT{2
)cJ9YKKy
未完待续 sMlY!3{I x 来源：讯技光电 &m& Z^CA
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