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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: ^F5[2<O/! 定义单向弯曲器件的材料 U
PGS 定义系统设置 P-ys$= 创建弧形波导 WM*[+8h 插入输入平面 }ARWR.7Cc 选择输出数据文件 jAfUz7@ 运行仿真 Eh#W*Bg 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 (ST/>")L `22F@JYN 1. 定义单向弯曲器件的材料 K:c5Yq^ 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 h<4WY#Y 步骤 操作 D0v!fF~ 1) 从文件菜单中,选择新建。 @ >%I\ 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 hdQ[=PH) Ms=x~o' 图1.初始属性对话框 <QQgOaS`2 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 &7,Kv0j} 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 A?ma5h 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 *$Aneq0f s7tNAj bgD 图2.轮廓文件设计器 $fPf/yQmC 3) 创建以下介电材料: |t1D8){! 名称:包层(Cladding) J)oa:Q 折射率(Re :):1.442 zC(DigN J~V`"uo 4) 要保存资料,请单击“存储”。 eY"y[ "KcSOjvJ 5) 创建第二种介电材料: yP :>vFd7 K%[Rv#>;q| 名称:波导层(Guide) m@;X%wf<U 折射率(Re :):1.45 &q#$SU,$( cAM1\3HWT" 6) 要保存资料,请单击“存储”。 &1ASWllD @C0{m7q 7) 创建以下通道: HB\<nK 轮廓名称:通道1 ,v4Z[ ( 2D轮廓定义材料:波导(Guide) 282
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2 8) 要保存通道,请单击“存储”。 Dp8YzWL2^ 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 !sfOde)$ 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI Fx~=mYU yd]W',c 2. 定义系统设置 9IIQon 要定义系统设置,请执行以下步骤。 S7P](F=n# 步骤 操作 ;E l"dqH 1 点击默认波导标签 J Xo_l 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 4xk'R[v 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 36,qh.LKn 4 键入以下值: Qf6]qJa| 长度:800 INby0S 宽度:50 CN#`m]l. 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 ;+>-uPT/1 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 5u'"m<4 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 pFXDo4eH 出现布局窗口(参见图3)。 J!3 X}@_N {xi$'r 图3.布局窗口 vRp =L54z 3. 创建弧形波导 k?0yH$)'t 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 .e!dEF)D 步骤 操作 [?r`8K2!, 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 (5]<t&M 光标变成十字线。 M&Sjo' ( . 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 3kx/Q# }o0R`15dA 图4.绘制一个弧形波导 *F1!=:&s 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 ~>3$Id: 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 B4bC6$Lg 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 YQ}Rg5o 出现弧形波导属性对话框(参见图5) $`(}ygmP "X4OUk 图5.弧形波导属性对话框 L(XGD 5) 点击起始标签 0(VAmb%{ 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): hn{]Q@(I 水平:0 }OZ%U2PU 垂直:-10 kzny4v[y Bwj^9J/ob 图6.初始偏移值 f9W@!]LHJ 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 r"d/9 激活表达式框(参见图7)。 `*mctjSN K??%Qh5l+C 图7.波导半径 !(~eeE}|lM 8) 键入以下值: v] &
)+0 表达式:4000 9G_bM(q'^2 9) 单击终止选项卡。 jku_0Q0*? 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): kE;h[No&K Horizontal:800 Y*/:IYr` 垂直:-8 ,+-l1GpL #n2'N^t 图8终止偏移值 ,#hS#?t 11) 输入以下值: 3 GmU$w 宽度:4 eu@hmR8T 12) 点击“OK”。 *%5.{J! 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 ^\Tde*48 \W=~@k 图9.修改的弧形波导 6d& dB 4. 插入输入平面 VHwb 7f]gq 要插入输入平面,请执行以下步骤。 S1sNVW 步骤 操作 U\a.'K50F 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 #_0OYL`(mE 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 4*'5EBa1 输入平面出现(参见图10)。 wi^zXcVj ?$i`K| 图10.输入平面 uCO-f<b 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 +EjH9;gx 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 JwG$lGNJ Z
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z 来源:讯技光电 /tR@J8pV
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