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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： )K8 ^}L, 定义单向弯曲器件的材料 .-'_At4g 定义系统设置 Q45gC28x 创建弧形波导 v#lrF\G5 插入输入平面 d"yJ0F 选择输出数据文件 D<hX%VJ%M 运行仿真 /lC,5y 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 ?)ct@,Ek$
+DG-MM%\ 1. 定义单向弯曲器件的材料 3:O| p[2)L 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 2$o#b . 步骤 操作 `$U m 1) 从文件菜单中，选择新建。 /d+v4GIB 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 M]|]b-# ,)uW`7 图1.初始属性对话框 b#
Dd
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 h<V,0sZ&: 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 *8Su:=*b 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 Zor!hc0< @~Ys*]4U E 图2.轮廓文件设计器 VX *+:
3) 创建以下介电材料： g&S> Wq%L 名称：包层（Cladding） @3y
>|5 Y 折射率（Re :)：1.442 d U*$V7
k.7!)jL7 4) 要保存资料，请单击“存储”。 *<:6A&'D9
]c v/dY# 5) 创建第二种介电材料： fW C(L s
OLtXk 名称：波导层（Guide） M3elog: M 折射率（Re :)：1.45 yN)(MmX'1
7O8 @T-f+2 6) 要保存资料，请单击“存储”。 aS[y\9(**
w_V A:]j4 7) 创建以下通道： wpp!H< ') 轮廓名称：通道1 QOgGL1)7- 2D轮廓定义材料：波导（Guide） giH# t< )W 8) 要保存通道，请单击“存储”。 %y\5L#T!> 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 ;jau gK f 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI e|W;(@$<
!VaC=I^{ 2. 定义系统设置 Jhj H_) 要定义系统设置，请执行以下步骤。 C:t?HLY)fG 步骤 操作 ur E7ZKdI 1 点击默认波导标签 ~%lA! tsek 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 +8W5amk.P| 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 2D:,( 4 键入以下值： lxCAZa\ 长度：800 |'&$VzA 宽度：50 o=#ym4hJ% 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 q6*i/"mN* 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 #?+[|RS| 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 6&5D4
V 出现布局窗口（参见图3）。 j^; P=L0= E|>-7k") 图3.布局窗口 %I9f_5BlT8 3. 创建弧形波导 vNs` Uk A 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 F+*fim'NK 步骤 操作 x_I*6? 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 Sk"hqF.2 光标变成十字线。 ?&zi{N 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 ji>LBbnHdE OiXO <1'$ 图4.绘制一个弧形波导 i-;#FT+ Xc
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 >Ut: -}CS 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 eub}+~_?[ 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 -9 .lF uI 出现弧形波导属性对话框（参见图5） YjnQ@IfIH m&b1H9ymd 图5.弧形波导属性对话框 <,0/BMz
5) 点击起始标签 wd f;LM 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： )ii aT~
] 水平：0 YlUh|sK7m 垂直：-10 QZG<sZ0" wkPj MmW+! 图6.初始偏移值 9_d# F'#F
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 f8SO:ihXL 激活表达式框（参见图7）。 ]" e'z :!D m,PP% 图7.波导半径 L C##em=Y
8) 键入以下值： &]LpG l 表达式：4000 h,B4Tg' 9) 单击终止选项卡。 [ `1` E1X 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： ab2Cn|F Horizontal：800 N8df1>mW 垂直：-8 ]\ !k a /% Fbu4GRgJ3 图8终止偏移值 %7 yQ0'P
11) 输入以下值： g 8uq6U 宽度：4 :j .:t 12) 点击“OK”。 M*qE)dZjS 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 kaQ NcMcq 64#Ri!RR} 图9.修改的弧形波导 n{<} <SVY 4. 插入输入平面 B|"/bQ 要插入输入平面，请执行以下步骤。 "adic?5 步骤 操作 0{%@"Fb0O 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 ,wM}h 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 _b/zBFa% 输入平面出现（参见图10）。 ]|PTZ1?j 9XtO#!+48 图10.输入平面 1\UU"
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 "_LqIW1 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 L7aVj&xM
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未完待续 \-]tvgA~& 来源：讯技光电 X e_djy'8
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