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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: g(,^';j 定义单向弯曲器件的材料 G\B+bBz 定义系统设置 4IvT}Us#+ 创建弧形波导 "fW
}6pS 插入输入平面 h_SkX@"/- 选择输出数据文件 ./L)BLC i 运行仿真 vu#ZLq 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 ,Q0H)//~ &HtTh { 1. 定义单向弯曲器件的材料 _ElG&hyp 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 5pK
_-:? 步骤 操作 `csZ*$7 1) 从文件菜单中,选择新建。 O%N. ;Ve 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 KSHq0A6/q% `uH7~ r^ 图1.初始属性对话框 }W&9} 9p" 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 iq[IZdza 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 Ez-Q'v(9 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 , 2xv RBBmGZ 图2.轮廓文件设计器 j4+Px%sW 3) 创建以下介电材料: 51y#AQ@ 名称:包层(Cladding) ;_2+Y^Qb 折射率(Re :):1.442 HIx%c5^ x0:BxRx* 4) 要保存资料,请单击“存储”。 $mh\` c&FOt 5) 创建第二种介电材料: NzTF2ve( -; J6S 名称:波导层(Guide) #<ST.f@* 折射率(Re :):1.45 v(!:HK0oeT [[zNAq)" 6) 要保存资料,请单击“存储”。 ^$sqU 2#r4dr0 7) 创建以下通道: Pg{1' - 轮廓名称:通道1 _53~D= 2D轮廓定义材料:波导(Guide) /jGV[_Q=P 8) 要保存通道,请单击“存储”。 3?@6QcHl{ 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 w,$qsmR 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI RAP-vVh/C S2_(lS+R 2. 定义系统设置 I.GoY[u_% 要定义系统设置,请执行以下步骤。 f'H|K+bO 步骤 操作 n|LpM . 1 点击默认波导标签 TlRc8r| 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 }v4dOGc? 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 xLDD;Qm, 4 键入以下值: ,"XiI$Le 长度:800 8W?dWj 宽度:50 -THMTRFz 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 #j=yQrJ 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 mbGma 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 qq]Iy= 出现布局窗口(参见图3)。 8.Y|I5l7G Xq&BL,lS 图3.布局窗口 =R|XFZ, 3. 创建弧形波导 ]|+M0:2? 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 6CIzT. 步骤 操作 ,<r&]
eC 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 Np/\}J&IF 光标变成十字线。 FutS 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 =@?[.` >[,eK= 图4.绘制一个弧形波导 !W9:)5^X 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 yi>AogQ, 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 wz*iwd- 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 &Xqxuy
]J 出现弧形波导属性对话框(参见图5) d#H9jg15e ABX%oZ7[|o 图5.弧形波导属性对话框 A>1$?A8Q 5) 点击起始标签 kzDN(_<1 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): Kbf(P95+uL 水平:0 UI+6\ 3 垂直:-10 ^hmV?a:Y r(46jV.sD: 图6.初始偏移值 ,0. kg 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 aQtd6L+ J 激活表达式框(参见图7)。 MMs~f* 7upko9d/ 图7.波导半径 :~vodh 8) 键入以下值: |JxVfX8^ 表达式:4000 Gl1XRNyC 9) 单击终止选项卡。 ,=P&{38\q 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): SG&,o=I$ Horizontal:800 L(VFzPkY% 垂直:-8 %
/VCjuV '|[V}K5m/f 图8终止偏移值 m-vn5OX 11) 输入以下值: H@=oVyn/ 宽度:4 fRQ,Z 12) 点击“OK”。 ERpAV-Zf 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 .ybmJU*Hg &*=!B9OBI 图9.修改的弧形波导 A'DFY { 4. 插入输入平面 hul,Yd) Z 要插入输入平面,请执行以下步骤。 wtY)(ka 步骤 操作 $^ee~v;m4 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 I'4(Ibl+ 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 7__[=)(b2X 输入平面出现(参见图10)。 Q[biy{(b8 N}?|ik 图10.输入平面 9&n9J^3L 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 |Ns4^2 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 ""0Y^M2I FvpU] ...... P}v
;d] .gx^L=O: 未完待续 e= IdqkJ% 来源:讯技光电 {aY) Qv}
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