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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: XHuY'\;- 定义单向弯曲器件的材料 usiv`.
定义系统设置 5Cxh>,k 创建弧形波导 X%"P0P 插入输入平面 v)@EK6Nty 选择输出数据文件 IVD1mk 运行仿真 %&KJtKe 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 G)\s{qk Tyu]14L 1. 定义单向弯曲器件的材料 Ms5m.lX 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 2SU G/-P# 步骤 操作 bF %#KSVw 1) 从文件菜单中,选择新建。 -jsNAQ 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 g~_cYy V-a/%_D 图1.初始属性对话框 |M|'S~z 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 QC0^G,9. 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 Be+'&+ 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 }h<\qvCcU kvs^*X''Ep 图2.轮廓文件设计器 [0CoQ5:d?& 3) 创建以下介电材料: KquHc-fzqr 名称:包层(Cladding) j>~^jz: 折射率(Re :):1.442 %?+A.0]E xdp!'1n."g 4) 要保存资料,请单击“存储”。 Wq
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c/| `L`*jA+_ 5) 创建第二种介电材料: ?cr;u~-= r/=v;4.W 名称:波导层(Guide) %j=dKd> 折射率(Re :):1.45 gWA)V*}f @PuJre4!;L 6) 要保存资料,请单击“存储”。 9Q-/Yh ])}{GW 7) 创建以下通道: u7G@VZ Ux5 轮廓名称:通道1 le yhiL< 2D轮廓定义材料:波导(Guide) iZ#dS}VlJ 8) 要保存通道,请单击“存储”。 {g\Yy(r
9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 p%,:U8fOR 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI *MW)APw= 4][m!dsU 2. 定义系统设置 *3WK:0 要定义系统设置,请执行以下步骤。 \c>9f"jS_ 步骤 操作 AuUT 'E@E 1 点击默认波导标签 MBs]<(RJZ 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 SSycQ4[{o 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 ]B=B@UO@. 4 键入以下值: Ya*lq!
u 长度:800 =$Sf]L 宽度:50 'IBs/9=ZC 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 _IOeO 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 [J\5DctX;c 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 x68J [; jm 出现布局窗口(参见图3)。 \lCr~D5 7oA$aJQ 图3.布局窗口 }Xyu"P 3. 创建弧形波导 \D?6_
,O 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 LdR}v%EH 步骤 操作 cf1Ve\(YGI 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 irqlU 光标变成十字线。 g2;JJ} 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 'P32G?1C&p GBu&2} 图4.绘制一个弧形波导 ZJsc ?*@ 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 ~/Aw[>_; 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 vmAMlgZ8{< 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 Y fk[mo 出现弧形波导属性对话框(参见图5) -q&VV, 9H2^4D8 图5.弧形波导属性对话框 Ge@./SGT 5) 点击起始标签 -Vn9YeH+ 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): G5ebb6[+ 水平:0 !~04^( 垂直:-10 lDe9(5|)Q )I 4d_]& 图6.初始偏移值 rK)So#' 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 L-^vlP)Vu 激活表达式框(参见图7)。 {CR~G2Z <?&GBCe 图7.波导半径 _Z.lr\ 8) 键入以下值: ( u@[}! 表达式:4000 W tnZF]1:u 9) 单击终止选项卡。 %O%+TR7Z 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): mG7Wu{~=U Horizontal:800 $@FD01h.t3 垂直:-8 4wX{ N S6h=}
V) 图8终止偏移值 p H5IBIf' 11) 输入以下值: Vs]+MAL 宽度:4 VE&
?Zd~ 12) 点击“OK”。 Vg#s 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 *SzP7]1m n }7DL8 图9.修改的弧形波导 8js5/G+ 4. 插入输入平面 9.qI hg 要插入输入平面,请执行以下步骤。 R,C)|*ef 步骤 操作 XrYMv
WT 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 T3[\;ib} 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 [3nhf<O 输入平面出现(参见图10)。 HelC_%#^ [z]@<99/ 图10.输入平面 <^UB@'lCm 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 p^&' C_? 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 |VB}Kv
F@kOj*5,[ ...... p>Ju)o *qAF# 未完待续 zid?yuP 来源:讯技光电 X"(!\{ySI;
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