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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: z (N3oBW 定义单向弯曲器件的材料 U~~Y'R\NU 定义系统设置 R W=<EF& 创建弧形波导 9Tgl/}q) 插入输入平面 \2?p 选择输出数据文件 M18H1e@Al 运行仿真 $/\b`ID 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 ~R;9a"nr ?4X8l@fR 1. 定义单向弯曲器件的材料 +N161vo7 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 _(CuuP$`I 步骤 操作 ?'xTSAn 1) 从文件菜单中,选择新建。 @/S6P-4 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 N30w^W& v&6=(k{E@R 图1.初始属性对话框 'C
l}IDF 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 u
N%RB$G 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 Z_Gb9 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 {K{&__Nk lpW|GFG 图2.轮廓文件设计器 4Xna}7 3) 创建以下介电材料: pUvbIbg+ 名称:包层(Cladding) E$$pO.\ 折射率(Re :):1.442 h[5<S& OL,3Jh% x 4) 要保存资料,请单击“存储”。 5e!YYt> .YvE 5) 创建第二种介电材料: -Jo8jE~>V jzuOs,:R 名称:波导层(Guide) CgLS2 折射率(Re :):1.45 M`W%nvEDE Nhh2P4gH 6) 要保存资料,请单击“存储”。 dcFqK~ 3xhv~be 7) 创建以下通道: sGNVZx 轮廓名称:通道1 :!omog 2D轮廓定义材料:波导(Guide) btq`[gAF\ 8) 要保存通道,请单击“存储”。 #!IezvWf 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 n@LR? 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI `O-LM e tK<GU.+ 2. 定义系统设置 :n3)vK 要定义系统设置,请执行以下步骤。 +39Vxe:Oy 步骤 操作 B]PTe~n^ 1 点击默认波导标签 `={s*^Ta 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 ?[4!2T,Ca 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 B,sv! p+q5 4 键入以下值: >
,L'A;c} 长度:800 Mr}]P(4h 宽度:50 cD-.thHO 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 Luxo,Ve 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 9N9dQ}[:g 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 ;T0Y=yC 出现布局窗口(参见图3)。 lYlU8l5> !P7##ho0 图3.布局窗口 O*3x'I*a 3. 创建弧形波导 ?^z!yD\ 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 xO2S|DH{ 步骤 操作 I0 y+,~\ 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 sPCp20x:y8 光标变成十字线。 (fgX!G[W 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 )z0qKb\ 2Wlk] 图4.绘制一个弧形波导 ETP}mo 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 WA-`
*m$v 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 +"Pt? k 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 1y5]+GU'` 出现弧形波导属性对话框(参见图5) 8uyUvSB 0G/VbS 图5.弧形波导属性对话框 *|n::9 5) 点击起始标签 |H67ny&K^& 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): W~GbB:- 水平:0 q #f
U* 垂直:-10 W4yNET%l, T`g.K6$b 图6.初始偏移值 &z;;Bx0s 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 pv2_A 激活表达式框(参见图7)。 o5 6_t{< e";r_J3w 图7.波导半径 hWK}] gF 8) 键入以下值: `nccRy<l 表达式:4000 2Mc/ah 9) 单击终止选项卡。 zdCeOZ 6 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): uX{n#i,~L Horizontal:800 ;dl> 垂直:-8 i^ 9PiP|U !j8h$+:K 图8终止偏移值 hd~X c 11) 输入以下值: ~je#gVoUR 宽度:4 qu[ ~# 12) 点击“OK”。 "J]_B 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 BM*9d%m^ .5I!h ! 图9.修改的弧形波导 [B9'/: 4. 插入输入平面 r]eeKV,{p 要插入输入平面,请执行以下步骤。 -ea>}S 步骤 操作 ko2Kz
k 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 E
3b`GRay 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 4C^;lK 输入平面出现(参见图10)。 u-Pa:wm0- O"4Q=~Y 图10.输入平面 )/H=m7}1h 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 ryzz!0l 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 ]gYnw;W$ v8"plx=3 ...... i(9=` A} W O W4c& 未完待续 H8~<;6W 来源:讯技光电 43pQFDWa
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