[求助]镀AR出现的问题，大神们求指点。 [复制链接]

图一：同一伞从上到下的反射数据。不知道主要问题在哪里？ 8t"DQ Y-R  
   谢谢各位！！ [J#(k`@  
  图二：是与图二同一台机镀的另外一个工艺（除膜厚外，其他条件是一样的）的反射数据。 lDXH<W?  
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        图一是7层  LHLHLHL       H4\SIO2      1jb@nxRjO  
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      图二是 5层   LHLHL             H4\SIO2   ivk|-C'\  
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均匀性问题，建议使用修正板 <Th.}=  

ysc212:均匀性问题，建议使用修正板 y9 "!ys  
 (2017-06-20 09:34)  5we1q7  

*ZHk^d:  
恩   但是第二张图只是膜厚层数不同，差异就没有第一个大。是不是第一个膜系里面有些敏感层。谢谢回复。

个人感觉是膜层敏感度的原因，特别是光控进行镀膜时更容易发生这种现象

yzhuang:个人感觉是膜层敏感度的原因，特别是光控进行镀膜时更容易发生这种现象 (2017-06-27 11:20)  l]GLkE  

ktnsq&qNL  
我用的晶控，同样的修正版 膜料 镀出来的差异太大了，SIO2  H4是同一个修正板。

8KN0z<  
我建议你做一下图一的重复性，如果每炉差，但是情况不一样，那么是你的敏感层是H4，要么膜系结构优化一下，（图2是单峰结构，敏感度没那么高）要么控制H4的预熔与充氧量； YDO#Q= q%  
</Ja@%  
如果每炉都这样，那肯定是均匀性没做好，有条件的话  高低折射率的mask单独修一下； :D;BA  
\vsfY   
另外，SIO2的分布比一般的氧化物要差一点，可以选好一点的SIO2 uK1DC i  
:(E.sT"
R  

這很清楚的。 90X
<Qs  
IZn|1X?}\s  
若與圖一使用之MASK為同支， "MOM@4\  
!E#FzY!}Pl  
圖二看起來均勻性OK，即表示MASK為好的。 @vs+)aRa  
c>mTd{Abi  
至於圖一為什麼會這樣? 我認為是敏感層問題(薄層) M8(N9)N  
Z^wogIAV  
若想重複確認，可以鍍單一材料來看看他的5Q，答案即可得知。

均匀性的问题。。。。。影响均匀性的素较多

fly6947:我建议你做一下图一的重复性，如果每炉差，但是情况不一样，那么是你的敏感层是H4，要么膜系结构优化一下，（图2是单峰结构，敏感度没那么高）要么控制H4的预熔与充氧量；
如果每炉都这样，那肯定是均匀性没做好，有条件的话  高低折射率的mask单独修一下；
....... (2017-06-29 08:46)  R+r;V]-/
 

9s4>hw@u  
好的   ，谢谢指导。我回头试试。

johnyu:這很清楚的。
若與圖一使用之MASK為同支，
圖二看起來均勻性OK，即表示MASK為好的。 =>*9"k%m  
....... (2017-07-03 17:36)  ^f] 9^U{  

PNpH)'C|
 
好的   ，谢谢指导。我也觉得单层有薄层敏感度高的。很均匀的差别。