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    [求助]玻璃表面镀完膜后会产生类似麻点的均匀的灰点 [复制链接]

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    离线05俊
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 06-13
    玻璃表面镀完膜后会产生类似麻点均匀分布的灰点,不同材质的玻璃镀出来严重程度不一样。求大神分析原因
     
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    离线756340418
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    只看该作者 1楼 发表于: 06-13
    是白色灰点吗,可能离子源和中和器有问题了,需要保养了
    离线hit2011
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    只看该作者 2楼 发表于: 06-13
    玻璃和膜层上都可能产生吧
    离线05俊
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    只看该作者 3楼 发表于: 06-13
    回 756340418 的帖子
    756340418:是白色灰点吗,可能离子源和中和器有问题了,需要保养了 (2017-06-13 09:11)  -,/6 Wn'j  
    H&*&n}vh5y  
    类似麻点,我用的是电子枪不是离子源
    离线05俊
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    只看该作者 4楼 发表于: 06-13
    回 hit2011 的帖子
    hit2011:玻璃和膜层上都可能产生吧 (2017-06-13 09:22)  bS|h~B]rd  
    vXdI)Sx[  
    膜层有关,怎么说
    离线ysc212
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    只看该作者 5楼 发表于: 06-20
    主要问题:1.机器内部脏;2 材料预熔不充分;3 膜料不纯 mX @xV*  
    离线iuggtg
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    只看该作者 6楼 发表于: 06-20
    排除镜片没擦干净的影响外,往沉积速率有问题方向找原因.是什么问题造成沉积上去的是麻点颗粒而不是纳米级别的膜料.
    离线05俊
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    只看该作者 7楼 发表于: 06-22
    回 iuggtg 的帖子
    iuggtg:排除镜片没擦干净的影响外,往沉积速率有问题方向找原因.是什么问题造成沉积上去的是麻点颗粒而不是纳米级别的膜料. (2017-06-20 21:52)  )#025>$z  
    WQltUaF  
    同一罩出来有些镜片不会而有些镜片就会,这又是为什么,会和玻璃本身的吸附能力有关呢?
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    只看该作者 8楼 发表于: 07-22
    首先要看基片表面是否干净,如果干净的话就要从机台方面去考虑了;电子枪灯丝是否使用时间过久,材料预融的程度是否充分,机台内部是否有零部件掉膜,这些都会影响成膜的外观。这一部分检查完后,看看工艺了,充氧的气体纯度够不,电子枪预蒸镀参数设置是否合理,一般要求电流缓慢爬升,光斑慢慢减小。
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