[求助]玻璃表面镀完膜后会产生类似麻点的均匀的灰点 [复制链接]

玻璃表面镀完膜后会产生类似麻点均匀分布的灰点，不同材质的玻璃镀出来严重程度不一样。求大神分析原因

第一要确认麻点是在膜层下，膜层中，还是膜层上。 =3EE-%eF!  
是镀膜前就有的，还是镀膜中飞上去的，还是镀膜后粘上去的。 i'3)5  
试着擦一下，能擦掉的是镀膜后粘上去的。 EQVa8xt/C  
然后剥一下，看看剥下来还有没有剩下膜层。有剩下的就是镀膜中飞上去的。 6$&%z Eh  
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镀膜前发生的，解决方法有： F
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彻底打扫机器，或者贴铝箔（每罩之间或者两三罩更换一下铝箔）  NArr2o2  
粗抽前的慢粗抽时间延长（一开始安全起见，抽到1000Pa后再打开主粗抽阀），慢粗抽阀开度调低。 v!j%<H`NI  
玻璃镀膜前放置区用离子风去除静电。玻璃镀膜前检查有无斑点。 [e7nW9\l  
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镀膜时发生的，检查一下膜料有无飞溅， fbW<c`LH  
如果有，需要改善熔料，降低镀膜速率，或者改用其他厂家的膜料。 $ qTv2)W1{  
电子枪是什么牌子的，二次电子是否有影响（二次电子射击到玻璃上，会产生静电导致玻璃吸附小颗粒） w,-4A o2x  
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镀膜后自己擦一下了。有需要的话延长慢泄气时间，减小慢泄气阀的开度。 J]5ZWo%  
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我们这边镀ar膜也出现了，在灯光下看是一种反光的0.1mm～0.5mm的亮点

首先要看基片表面是否干净，如果干净的话就要从机台方面去考虑了；电子枪灯丝是否使用时间过久，材料预融的程度是否充分，机台内部是否有零部件掉膜，这些都会影响成膜的外观。这一部分检查完后，看看工艺了，充氧的气体纯度够不，电子枪预蒸镀参数设置是否合理，一般要求电流缓慢爬升，光斑慢慢减小。

iuggtg:排除镜片没擦干净的影响外,往沉积速率有问题方向找原因.是什么问题造成沉积上去的是麻点颗粒而不是纳米级别的膜料. (2017-06-20 21:52)  %18%T{|$e  

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同一罩出来有些镜片不会而有些镜片就会，这又是为什么，会和玻璃本身的吸附能力有关呢？

排除镜片没擦干净的影响外,往沉积速率有问题方向找原因.是什么问题造成沉积上去的是麻点颗粒而不是纳米级别的膜料.

主要问题：1.机器内部脏；2 材料预熔不充分；3 膜料不纯 FMz>p1s|dK  

hit2011:玻璃和膜层上都可能产生吧 (2017-06-13 09:22)  Z
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膜层有关，怎么说

756340418:是白色灰点吗，可能离子源和中和器有问题了，需要保养了 (2017-06-13 09:11)  \:E=B1  

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类似麻点，我用的是电子枪不是离子源

玻璃和膜层上都可能产生吧